芯碁微装：海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行部分限售股上市流通的核查意见

海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司

首次公开发行部分限售股上市流通的核查意见海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐机构”）作为合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）首次公开发行股票并上市以及2022年度向特定对象发行A股股票的持续督导保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等有关规定，对芯碁微装首次公开发行部分限售股上市流通的事项进行了核查，具体情况如下：

一、本次限售股上市类型

根据中国证券监督管理委员会于2021年2月1日出具的《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2021〕350号），合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）获准向社会公开发行人民币普通股30,202,448股，并于2021年4月1日在上海证券交易所科创板上市。公司首次公开发行股票完成后，总股本为120,800,000股，其中有限售条件流通股为96,244,929股，占公司发行后总股本的79.67%，无限售条件流通股为24,555,071股，占公司发行后总股本

20.33%。

本次上市流通的限售股为公司首次公开发行部分限售股,涉及限售股股东数量4名，为公司控股股东、实际控制人、董事长程卓及其控制的企业，限售期为自公司股票上市之日起36个月，该部分限售股股东对应的股份数量为51,207,490股，占公司股本总数的38.97%，该部分限售股将于2024年4月1日起上市流通。

二、本次上市流通的限售股形成后至今公司股本数量变化情况

2023年8月4日，公司向特定对象发行的10,497,245 股股份在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完毕股份登记，公司总股本由120,800,000 股增加至131,297,245 股。

公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分第一期归属股票 121,841股于2023 年9月13日上市流通。本次限制性股票归属后，公司总股本由131,297,245 股增加至 131,419,086 股。

三、本次上市流通的限售股的有关承诺

本次限售股上市流通的有关股东承诺具体如下：

（一）控股股东、实际控制人、董事长程卓承诺：

1、自公司股票上市之日起36个月内，不转让或者委托他人管理本人直接和间接持有的公司首次公开发行上市前已发行的股份，也不由公司回购该部分股份。

2、在本人担任公司董事、监事或高级管理人员期间，每年转让的股份不超过本人直接或间接持有公司股份总数的25%，在离职后6个月内不转让本人直接或者间接持有的公司股份。

3、本人所持公司股票在上述股份锁定期限届满后2年内减持的，减持价格不低于发行价（若公司在首次公开发行上市后至本人减持期间发生派发股利、送红股、转增股本等除息、除权行为，发行价将作相应调整）；若公司首次公开发行上市后6个月内股票价格连续20个交易日的收盘价均低于发行价，或者公司首次公开发行上市后6个月期末收盘价低于发行价（若公司在首次公开发行上市后6个月内发生派发股利、送红股、转增股本等除息、除权行为，收盘价格将作相应调整），本人直接、间接所持公司股份的锁定期在原有锁定期限的基础上自动延长6个月。

（二）实际控制人、控股股东程卓控制的合肥亚歌半导体科技合伙企业（有限合伙）、合肥纳光刻企业管理咨询合伙企业（有限合伙）、合肥合光刻企业管理咨询合伙企业（有限合伙）分别承诺：

1、自公司股票上市之日起36个月内，不转让或者委托他人管理本企业直接和间接持有的公司首次公开发行上市前已发行的股份，也不由公司回购该部分股份。

2、本企业所持公司股票在上述股份锁定期限届满后2年内减持的，减持价格不低于发行价（若公司在首次公开发行上市后至本单位减持期间发生派发股利、送红股、转增股本等除息、除权行为，发行价将作相应调整）；若公司首次公开发行上市后6个月内股票价格连续20个交易日的收盘价均低于发行价，或者公司首次公开发行上市后6个月期末收盘价低于发行价（若公司在首次公开发行上市后6个月内发生派发股利、送红股、转增股本等除息、除权行为，收盘价格将作相应调整），本企业直接、间接所持公司股份的锁定期在原有锁定期限的基础上自动延长6个月。截至本核查意见出具日，前述股东均严格履行了相应的承诺事项，不存在承诺未履行从而影响本次限售股上市流通的情况。

四、控股股东及其关联方资金占用情况

公司不存在控股股东及其关联方占用资金情况。

五、本次上市流通的限售股情况

（一）本次限售股上市流通的数量为51,207,490股，占公司总股本的

38.97%。

（二）本次限售股上市流通日期为2024年4月1日

（三）限售股上市流通明细清单：

（四）限售股上市流通情况表：

六、保荐机构核查意见

经核查，保荐机构认为：

芯碁微装本次限售股上市流通符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律法规及规范性文件的规定；本次限售股股东均已严格履行了相关承诺；本次解除限售股份数量、上市流通时间等均符合有关法律、行政法规、部门规章、有关规则和股东承诺；芯碁微装关于本次限售股份上市流通的信息披露真实、准确、完整。综上所述，保荐机构对芯碁微装本次首次公开发行部分限售股上市流通事项无异议。（以下无正文）

（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行部分限售股上市流通的核查意见》之签字盖章页）

海通证券股份有限公司

年 月 日