屹唐股份：2025年度暨2026年第一季度业绩说明会投资者关系活动记录表
北京屹唐半导体科技股份有限公司投资者关系活动记录表证券代码：688729 公司简称：屹唐股份
北京屹唐半导体科技股份有限公司
投资者关系活动记录表
编号：2026-001
| 投资者关系活动类别 | 业绩说明会 |
| 活动主题 | 屹唐股份2025年度暨2026年第一季度业绩说明会 |
| 时间 | 2026-05-15 - 13:00-14:00 |
| 地点/方式 | 上证路演中心 https://roadshow.sseinfo.com 网络文字互动 |
| 参会人员 | 董事长：张文冬、董事、总裁兼首席执行官：陆郝安、独立董事：王汇联、独立董事：戈峻、独立董事：金雨青、副总裁兼财务总监：谢妹、董事会秘书：单一 |
| 投资者关系活动主要内容介绍 | 投资者关系活动主要内容 1、150*****202问屹唐股份董事、总裁兼首席执行官陆郝安：快速热处理、干法刻蚀业务增速亮眼，后续是否会加大研发投入，拓展更多前道设备品类实现平台化发展？ 董事、总裁兼首席执行官陆郝安答:尊敬的投资者，您好！公司通过持续研发投入，对现有干法去胶、快速热处理、干法刻蚀及等离子体表面处理设备持续开展技术改进升级，不断提升产品的竞争力，保持产品先进性。面向国内外新老客户对高端集成电路设备的多样化需求，成功研发多款技术领先的新型集成电路设备。 快速热处理设备方面，公司借助在高温快速热处理、等离子体源及超高产出设备平台等领域的技术积累，已开展新的研发工作，包括开发新一代常压快速热处理设备、先进低压快速热处理设备、新型快速热处理设备（包括具备低热预算且具有选择性加热的新一 |
金属薄膜电阻率降低，裂缝修复，增强钨薄膜选择性沉积，增强可流动化学气相沉积介质薄膜致密度等。该设备已通过多家关键客户技术验证并实现重复量产订单，客户需求在持续增长，公司将持续推进该设备在更多客户进行量产验证。除了上述已量产的新产品之外，为了更好地满足国内外客户对于干法刻蚀及等离子体表面处理设备的广泛需求，进一步提升公司在干法刻蚀及等离子体表面处理设备领域的可服务市场规模，公司目前已开展多项新型干法刻蚀及等离子体表面处理设备研发项目，部分项目已完成产品研发，即将开展客户端验证。
附件：公告原文