恒运昌：投资者关系活动记录表(2026-004)

匹配器,推动客户结构多元化。

3.请介绍一下等离子体射频电源系统的技术壁垒

回答:等离子体射频电源系统作为半导体设备核心零部件,是半导 体设备技术更迭和制程演进的重要承载,在半导体工艺和芯片结构 日趋复杂的背景下,半导体设备商对核心零部件厂商的要求更为严 苛,包括对产品的可靠性、稳定性和一致性及核心零部件厂商的研 发能力、技术实力。等离子体射频电源系统作为薄膜沉积设备、刻 蚀设备等半导体设备的核心零部件,技术要求极高,包括在纳米尺 寸级别上精准控制等离子体的刻蚀过程、在纳秒时间级别上和复杂 环境中精准且稳定的控制等离子体的变化。技术要求极高主要由于 其直接关系到薄膜沉积、刻蚀等环节中等离子体的浓度、均匀性和 稳定性等,进而影响晶圆制造工艺的能力、良率和效率。新进入者 没有长时间的技术积累和经验沉淀,是无法达到这样的技术要求, 更无法满足先进制程的需求。等离子体射频电源系统生产的一致性 和稳定性要求极高,量产难度大。半导体设备及零部件行业具有" 精确复制"的要求,以保障晶圆厂在产能快速扩张下的芯片品质, 因此等离子体射频电源系统的量产必须确保高度稳定和可重复的生 产工艺,且需经过精密的校准和严格的测试流程,以确保性能的一 致性和长期稳定性。

4.请介绍一下衡量公司主营产品或核心技术的最关键指标或维度

回答:衡量公司主营产品或核心技术的最关键指标或维度主要有且 不包括:调谐时间、调谐频率重复性、功率精度、开启响应时间、 关闭响应时间、功率重复性、脉冲上升时间、脉冲下降时间等。公 司以技术发展、行业需求为双导向,建立了"基石技术+产品化支撑 技术"的技术体系,并基于三大基石技术"等离子体电源全数字测量 技术"、"等离子体电源全数字环路控制技术"、"等离子体电源 高效功放技术",结合半导体设备中应用,特别是先进制程中更快 速、更精准、更稳定的应用诉求和实现难点,发展出八大支撑技术

实现了对高端等离子体射频电源系统的先进设计、测量和控制等 难题的突破。

5.请介绍一下公司主要产品的特点

半导体行业遵循"一代技术、一代工艺、一代设备"的产业规律, 等离子体射频电源系统等核心部件需要得到半导体设备商及晶圆厂 的双重验证,需要经历功能验证、上机验证、工艺验证、晶圆厂生 产验证等多个验证环节,验证程序复杂、验证难度大、验证周期长

公司主营产品半导体级等离子体射频电源系统具有多品种、小批 量等特点,通常需配合下游客户产线需求进行工艺调整,相关产品 通过客户端验证后进行标准化供货,产品定制化程度较高。历经十 年,公司先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列等离子体射 频电源系统,成功打破了美系两大巨头在国内长达数十年的垄断格 局,填补国内空白。公司研发的最新一代等离子体射频电源系统 Cedar系列产品,锚定更先进制程前沿领域,目前处于验证阶段。

6.请介绍一下公司的维修技术服务

回答:等离子体射频电源系统在晶圆厂使用过程中会出现老化、故 障等问题,需要及时进行维修、更换。但受国际地缘政治形势影响

国内主要晶圆厂无法向原海外设备供应商申请采购备件或维修服 务,导致生产可持续性出现较大风险。公司为此承接了进口等离子 体射频电源系统的原位替换及维修的业务。同时,公司将通过建设

募投项目"营销及技术支持中心"在各晶圆制造集群区域投入检测 设备及运营人员可以更好的服务终端晶圆厂商,减少信息误差和设

备维修时差,并前瞻性布局技术研发。

7、请介绍一下公司的产能规划 随着公司业绩规模不断扩大,产能持续增加。公司2022至2025年上 约公司产能的问题,公司将在现有生产模式的基础上,在沈阳新建 半年的产能利用率均超过100%。对现有生产场地和设备不足严重制 半导体射频电源产业化中心,在深圳扩建半导体与真空装备核心零

部件智能化生产运营基地,提高产品生产效率,扩大公司产销规模

满足不断增长的市场需求并解决公司产能瓶颈问题,提升公司整

体运营效率,促进公司业绩增长,稳定公司的行业地位以及进一步

提升核心竞争力。

8、公司2025年的业绩情况如何? 回答:公司根据相关法律法规及监管要求履行信息披露义务。公司

业绩情况请以公司届时披露的2025年定期报告及2026年一季报为准

以上如涉及公司所处行业发展趋势、公司发展规划等相关内容,不代表公司或公司管理层对行 业发展、公司发展或业绩的预测和承诺,不构成公司或公司管理层对投资者的实质性承诺,敬 请广大投资者注意投资风险。