研报评级☆ ◇688037 芯源微 更新日期：2026-11-11◇ 通达信沪深京F10
★本栏包括【1.投资评级统计】【2.盈利预测统计】【3.盈利预测明细】【4.研报摘要】
【5.机构调研】
【1.投资评级统计】最新评级日期:2026-11-05
时间段 买入评级次数 增持评级次数 中性评级次数 减持评级次数 卖出评级次数 评级次数合计
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1周内 0 1 0 0 0 1
1月内 0 1 0 0 0 1
2月内 0 2 0 0 0 2
3月内 1 4 0 0 0 5
6月内 4 4 0 0 0 8
1年内 9 8 0 0 0 17
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【2.盈利预测统计】(近6个月)
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│财务指标 │ 2023年│ 2024年│ 2025年│2026年预测│2027年预测│2028年预测│
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│每股收益(元) │ 1.82│ 1.01│ 0.36│ 0.87│ 1.99│ 3.39│
│每股净资产(元) │ 17.26│ 13.39│ 13.85│ 14.58│ 16.05│ 18.40│
│净资产收益率% │ 10.53│ 7.54│ 2.57│ 5.98│ 12.31│ 18.11│
│归母净利润(百万元) │ 250.63│ 202.81│ 71.71│ 175.60│ 402.49│ 685.17│
│营业收入(百万元) │ 1716.97│ 1753.61│ 1948.49│ 2455.00│ 3506.00│ 4899.38│
│营业利润(百万元) │ 279.44│ 221.78│ 65.09│ 189.40│ 441.58│ 753.53│
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【3.盈利预测明细】(近6个月)
日期 评级 评级变化 目标价 2026EPS 2027EPS 2028EPS 研究机构
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2026-11-05 增持 维持 --- 0.06 1.00 2.25 招商证券
2026-09-21 增持 维持 --- 0.76 2.00 3.21 招商证券
2026-09-06 买入 维持 --- 0.89 2.58 4.87 长江证券
2026-08-27 增持 维持 --- 1.01 1.98 3.23 东吴证券
2026-08-25 增持 维持 --- 1.05 2.23 3.18 华西证券
2026-07-21 买入 首次 --- 1.10 1.93 3.35 首创证券
2026-07-09 买入 维持 --- 1.00 1.99 3.32 中邮证券
2026-06-05 买入 维持 --- 1.09 2.24 3.73 长江证券
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【4.研报摘要】(近6个月)
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2026-11-05│芯源微(688037)26Q3营收快速增长，前道清洗及涂胶显影业务持续拓展 │招商证券 │增持
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26Q3公司实现营收4.37亿元，同比+55.56%/环比-22.76%归母净利润-0.63亿元，扣非归母净利润-0.75亿元。前道涂
胶显影新机型验证及导入进展顺利，预计2027年陆续起量；前道化学清洗高端SPM机台通过头部客户验证并获得重复性订
单，中低端产品持续拓展；后道临时键合、解键合及Frame清洗机等新品逐步放量。随着存量订单持续交付及新产品产业
化推进，公司收入规模有望进一步提升。维持“增持”投资评级。
26Q3营收同比高增，新签订单持续增长支撑业务拓展。26Q3实现营收4.37亿元，同比+55.56%/环比-22.76%；毛利率2
2.38%，同比-7.74pcts/环比-5.69pcts；归母净利润-0.63亿元，同比亏损扩大142.78%/环比由盈转亏；扣非归母净利润-
0.75亿元，同比亏损扩大70.79%/环比亏损扩大100.71%。收入增长主要受益于公司新签订单持续增长，以及交付、验收工
作推进；利润端主要受经营规模扩大带动成本费用增加、计入其他收益的政府补助减少影响。
新签订单持续增长，战略备货及国产零部件导入推进交付。26Q3公司单季度新签订单同环比均有较大幅度增长，前三
季度新签订单中前道、后道占比约为六成、四成，其中前道以清洗设备为主，后道以涂胶显影设备为主。随着下游客户扩
产，公司通过滚动预投、战略备货等方式应对核心零部件交期延长，同时加快国产零部件验证导入。预计四季度仍是全年
收入确认的主要阶段，存量订单资源较为充足。
前道涂胶显影新机型验证稳步推进，化学清洗产品客户渗透率持续提升。①前道涂胶显影：公司产品涵盖offline、I
-line、KrF及ArF浸没式等机型，offline、I-line、KrF等设备在多家客户端量产跑片数据良好，持续获得国内头部逻辑
、存储、功率客户订单；新一代涂胶显影机型客户端验证及导入进展顺利，预计2027年陆续起量。②前道化学清洗：高端
SPM设备已通过国内头部客户工艺验证，获得多家大客户重复性订单；公司采取“高带低”策略，在高端设备突破基础上
拓展中低端机型，化学清洗设备新签订单快速增长。③前道物理清洗：产品已成为国内逻辑、功率客户主力量产机型，高
产能物理清洗机通过存储客户验证并获得重复订单，持续推进产能及颗粒控制能力提升。
先进封装设备持续拓展客户，新型键合产品逐步放量。公司后道涂胶显影、单片式湿法设备持续获得国内封装龙头客
户批量重复性订单；临时键合机、解键合机及Frame清洗机等新产品已通过多家客户验证，进入产业化放量阶段，可覆盖2
.5D/3D先进封装相关工艺需求。同时，公司继续拓展其他键合设备新品类，并通过设计优化及供应链降本改善产品盈利水
平。化合物等小尺寸设备方面，公司4—8英寸涂胶显影及湿法设备已批量应用于射频、功率器件、光通信、MEMS及LED等
领域。
投资建议：公司前道涂胶显影新机型持续推进客户端验证，前道化学清洗设备获得重复性订单，后道先进封装新品逐
步放量。随着订单交付及验收推进，收入规模有望继续增长，关注新产品产业化、订单转化及成本费用管控进展。我们基
于26年前三季度财务数据，调整26-28年营收至20.17/33.35/47.28亿元，归母净利润至0.12/2.02/4.56亿元，对应PE为36
80.7/211.1/93.8倍，维持“增持”投资评级。
风险提示：下游晶圆厂扩产不及预期、设备验证及订单交付验收不及预期、零部件供应及国产化导入不及预期、产品
毛利率修复不及预期。
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2026-09-21│芯源微(688037)涂胶显影及化学清洗持续突破，先进封装新品加速放量 │招商证券 │增持
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公司26H1营业收入8.97亿元，同比+26.47%；归母净利润0.08亿元，同比-49.37%；扣非归母净利润-0.45亿元。前道
设备方面，新一代Track架构持续推进，高端SPM通过头部客户验证并获得重复订单，化学清洗进入较快放量阶段；后道设
备方面，临时键合/解键合全面量产，Frame清洗进入放量阶段，新品收入贡献有望持续提升。维持“增持”投资评级。
26H1营收保持较快增长，归母净利润同比承压。26H1公司营收8.97亿元，同比+26.47%；毛利率34.93%，同比-1.33pc
ts；归母净利润0.08亿元，同比-49.37%；扣非净利润-0.45亿元，同比减亏0.04亿元。非经常性损益包括政府补助0.57亿
元、金融资产公允价值变动及处置净收益0.11亿元。设备验收稳步推进带动收入增长；营业成本同比+29.11%、快于营收
增速，毛利率有所承压；同时业务扩张带动费用增长，叠加政府补助减少，利润端同比下滑。26Q2营收5.66亿元，同比+3
0.53%/环比+71.28%；毛利率28.07%，同比-9.44pcts/环比-18.62pcts；归母净利润0.05亿元，同比-0.07亿元/环比+0.01
亿元；扣非净利润-0.38亿元，同比-0.28亿元/环比-0.30亿元。
前道涂胶显影持续获得头部客户订单，新一代Track架构取得积极进展。26H1公司前道涂胶显影设备持续获得国内头
部逻辑、存储及功率客户订单，Offline、I-line、KrF等机台在多家客户端量产跑片数据良好。公司自动光学缺陷检测及
WEE边缘曝光升级技术均已通过客户验证并达到量产应用能力。新一代Track架构报告期内取得积极进展，机台采用对称式
并行堆叠架构、紧凑式总体布局及新一代自研调度方案，进一步提升晶圆传递效率，为整机高产能提供软硬件基础，同时
具备高产能、高稳定性、高可靠性、高度集成化及智能化等特点，可匹配未来更高产能光刻机需求。
前道化学清洗进入较快放量阶段，物理清洗进一步突破存储客户。26H1高端SPM机台通过国内头部客户工艺验证，颗
粒控制、刻蚀率及均一性、金属离子控制三项核心指标可对标海外龙头，并获得国内多家大客户重复性订单，新签订单实
现较快增长；产品整体工艺覆盖率超过90%，整体工艺产能可对标国际主流机台。物理清洗设备方面，26H1获得国内头部
客户批量订单，高产能机型通过存储客户验证并取得重复订单，同时在设备产能及26nm颗粒控制能力等核心指标上继续取
得突破。
先进封装新品加快放量，临时键合/解键合实现全面量产。26H1后道涂胶显影及单片式湿法设备继续获得封装龙头客
户批量重复性订单；临时键合、解键合设备继续获得国内多家客户订单，通过多家客户工艺验证并全面量产，Frame清洗
设备亦已通过客户验证并进入放量阶段。技术端，临时键合机的键合胶旋涂均匀性及键合TTV指标业内领先，解键合机采
用平顶化光斑及拉力保持+位移保持技术，临时键合/解键合机台整体达到国际先进水平。
投资建议：公司前道涂胶显影设备客户覆盖及产品成熟度稳步提升，新一代Track加快迭代；前道化学清洗高端SPM已
实现头部客户验证并取得重复订单，业务进入较快放量阶段；先进封装领域，临时键合/解键合全面量产，Frame清洗同步
放量。随着前道Track持续突破、化学清洗收入贡献提升及先进封装新品放量，公司产品结构有望进一步优化，成长动能
持续增强。我们调整26-28年营收至25.04/33.77/47.91亿元，归母净利润至1.54/4.35/7.78亿元，对应PE为477.5/181.7/
113.4倍，维持“增持”投资评级。
风险提示：下游晶圆厂资本开支不及预期、新产品客户验证及量产进度不及预期、行业竞争加剧、政府补助下降及费
用投入较高的风险。
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2026-09-06│芯源微(688037)前后道协同发展，订单有望加速增长 │长江证券 │买入
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事件描述
近日芯源微发布2026年半年度报告。
2026H1公司实现营收8.97亿元，同比增加26.47%；实现归母净利润0.08亿元，同比减少49.37%；实现扣非净利润-0.4
5亿元，同比增加8.87%。
2026Q2公司实现营收5.66亿元，同比增加30.53%；实现归母净利润0.05亿元，同比减少59.58%；实现扣非净利润-0.3
8亿元，同比减少297.04%。
事件评论
前后道设备协同发展，订单有望加速增长。公司2026H1新签订单保持快速增长，其中前道占比约60%，后道占比约40%
。在前道设备方面，2026年预计是公司前道涂胶显影设备新机型的验证大年，预计未来几年可持续受益于下游客户扩产及
国产化率提升；前道化学清洗机签单表现优秀，高端SPM机台已通过国内头部客户工艺验证，已获得国内多家大客户重复
性订单。在先进封装领域，公司后道先进封装用涂胶显影设备、单片式湿法设备已连续多年作为主流机型批量应用于国内
各主流先进封装厂，新产品临时键合机、解键合机、Frame清洗机等已顺利通过多家客户验证，开始进入逐步放量阶段。
全球半导体设备市场规模有望持续走强。Semi预计2026年全球半导体设备销售额约1,659亿美元，同比增加23.2%，其
中晶圆厂设备销售额约1,439亿美元，同比增加23.1%。全球半导体设备市场步入高增阶段，展望2028年，销售额有望增长
至2,295亿美元。按应用划分，晶圆代工和逻辑应用设备销售额仍然占据大份额，2026年预计同比增长18.9%至780亿美元
，2028年增长至1,047亿美元。存储领域设备增速更快，DRAM设备销售额预计2026年增长39.0%至388亿美元，2028年将达
到569亿美元；NAND设备销售额预计2026年增长30.7%至139亿美元，2028年将达到208亿美元。后道设备方面，SEMI预测半
导体测试设备销售额2026年将增长31%至153亿美元，较其2025年末预测数据显著上调；封装设备销售额2026年将增长9.6%
至67亿美元，与此前预测基本一致。预计到2028年，测试设备和封装设备的销售额将分别增长至208亿美元和86亿美元。A
I芯片封装及测试的复杂性推动了封测相关设备的规模提升。
竞争格局良好，多轮驱动增长。公司前道涂胶显影设备产品国内市场领先，随着产品的进一步升级迭代，国内市场份
额有望持续提升；前道清洗设备签单较为稳健，其中物理清洗机继续保持行业龙头地位，化学清洗机新品有望成为公司新
的业绩增长点；随着先进封装需求的增长，公司后道领域产品组合（涂胶显影、清洗、临时键合、解键合）增长前景可期
。我们预计公司2026-2028年实现归母净利润分别为1.79亿元、5.21亿元、9.84亿元，对应当前市值市盈率水平分别为417
x、143x、76x，维持“买入”评级。
风险提示
1、下游晶圆厂扩产节奏存在不确定性；
2、研发节奏存在不确定性。
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2026-08-27│芯源微(688037)2026年中报点评：营收稳步增长，看好公司前后道设备加速放│东吴证券 │增持
│量&突破 │ │
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营收实现稳步增长，利润端承压：2026年上半年营业总收入8.97亿元，同比+26.47%，主要系公司验收工作稳步推进
；归母净利润0.08亿元，同比49.37%，主要系公司经营规模扩大，员工人数呈现增长态势，导致薪酬、差旅费等费用同比
增加，以及2026H1计入其他收益的政府补助减少；扣非归母净利润-0.45亿元，同比亏损收窄。26Q2单季营业总收入5.66
亿元，同比+30.53%，环比+71.28%；归母净利润0.05亿元，同比-59.58%，环比+29.76%；扣非归母净利润-0.38亿元，同
环比亏损扩大。
盈利能力整体承压，费用率结构分化：2026H1毛利率为34.93%，同比1.33pct；销售净利率为0.97%，同比-0.48pct。
期间费用率为45.40%，同比-1.69pct，其中销售费用率为10.31%，同比+2.96pct；管理费用率为17.58%，同比-0.55pct；
研发费用率为15.35%，同比-3.27pct；财务费用率为2.14%，同比-0.83pct。研发投入合计1.53亿元，同比+16.22%，研发
投入占营业收入比例为17.11%，同比-1.51pct。26Q2单季毛利率为28.07%，同比-9.44pct，环比-18.62pct；销售净利率
为-0.26%，同比-3.15pct，环比-3.35pct。
经营性现金流净流出增加，存货规模持续增长：截至2026年6月末公司合同负债为6.78亿元，较年初-1.37%；存货为2
9.39亿元，较年初+24.21%。2026H1公司经营性现金流净额为-4.51亿元，同比净流出增加，主要系：随着在手订单增加以
及子公司业务逐渐步入正轨，致使采购业务付款增加；人员增加导致职工薪酬、差旅费等支出增加。26Q2单季经营性现金
流净额为-1.07亿元，同比净流出增加，环比净流出大幅收窄。
前道涂胶显影、清洗及先进封装新品协同放量：公司已形成前道涂胶显影、前道清洗、后道先进封装、化合物等小尺
寸设备四大业务板块。（1）前道涂胶显影设备：公司系国内少有的量产型前道涂胶显影设备供应商，已覆盖Offline、I-
line、KrF及ArF浸没式等多种工艺，2026H1持续获得国内头部逻辑、存储及功率客户订单，Offline、I-line、KrF机台量
产表现良好，新一代高产能涂胶显影机架构取得积极进展。（2）前道清洗设备：高端SPM化学清洗机已通过国内头部客户
验证，核心指标可对标海外头部厂商，并获得多家大客户重复订单、新签订单较快增长；前道物理清洗机获得国内头部客
户批量订单，高产能机型通过存储客户验证并获重复订单。（3）后道先进封装设备：涂胶显影及单片湿法设备持续获得
国内客户批量重复订单，并获多家海外客户认可；临时键合、解键合设备已通过多家客户验证并全面量产，Frame清洗设
备亦进入放量阶段。
盈利预测与投资评级：考虑到订单收入确认节奏，我们维持公司2026-2028年归母净利润预测为2.0/4.0/6.5亿元，当
前市值对应2026-2028年PE分别为371/189/116X，维持“增持”评级。
风险提示：下游需求波动风险、市场竞争加剧风险、研发不及预期。
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2026-08-25│芯源微(688037)26Q2收入增长提速，26H1新接订单大幅提升 │华西证券 │增持
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事件概述
公司发布2026年中报。
化学清洗机收入快速兑现，26Q2营收增长提速
2026H1公司实现收入8.97亿元，同比26.47%；其中Q2收入5.66亿元，同比+30.53%，环比提速，我们推测前道业务收
入占比持续提升，尤其新品化学清洗机进入较快放量阶段，成为营收增长的驱动力。截至26Q2末，公司存货/合同负债为2
9.39/6.78亿元，同比+33.10%/+34.41%，公司战略性新产品前道化学清洗机签单表现优秀，同时叠加后道封装行业高景气
度，我们推测26H1公司新签订单同比大幅提升，当前公司产品验收有序推进，后续营收端增长有望提速。
产品确收影响26Q2毛利率，盈利水平短期承压
2026H1公司归母净利润806万元，同比-49.37%，扣非后归母净利润为-4514万元，亏损同比缩小8.87%；26Q2归母净利
润455万元，同比-59.58%，扣非后归母净利润为-3757万元，亏损同比扩大297.04%。26H1销售净利率/扣非净利率为0.97%
/-5.03%，同比-0.48/+1.95pct。具体来看：1）毛利端：2026H1公司毛利率34.93%，同比1.33pct，其中Q2毛利率28.07%
，同比-9.44pct，单季度下降幅度较大推测系产品确收节奏影响。2）费用端：2026H1公司期间费用率为45.40%，同比-1.
69pct，其中销售/管理/研发/财务费用率同比+2.96/-0.55/-3.27/-0.83pct；Q2期间费用率同比-3.47pct，系25年以来首
次下降，反映规模效应开始显现。3）2026H1公司非经损益5320万元，同比减少1226万元，主要系政府补助减少，一定程
度压制利润表现。
化学清洗/后道封装等新品快速放量，前道track国产替代有望加速
公司是国内前道Track、清洗龙头企业，新品前道化学清洗快速放量，后道先进封装等产品线不断丰富，且北方华创
入主全面赋能，成长弹性可观。1）前道track：持续获得国内头部逻辑、存储、功率客户订单，客户认可度不断提升，国
产替代有望加速；2）前道清洗设备：战略性新产品前道化学清洗机已获得国内多家大客户重复性订单，新签订单较快增
长，高端SPM机台已通过国内头部客户工艺验证；前道物理清洗机获得国内头部客户批量订单，进一步夯实龙头地位；3）
先进封装设备：后道涂胶显影机及单片式湿法设备继续获得封装龙头客户批量重复性订单；新产品临时键合机、解键合机
、Frame清洗机等已顺利通过多家客户验证，开始进入逐步放量阶段。4）化合物等小尺寸设备：已作为主流机型批量应用
于国内各主流小尺寸厂商，成为客户端的主力量产设备。
投资建议
我们维持2026-2028年公司营收预测为25.00、32.30、43.25亿元，分别同比+28.3%、+29.2%、+33.9%；归母净利润预
测为2.12、4.51、6.42亿元，分别同比+196.1%、+112.2%、+42.4%；对应EPS为1.05、2.23、3.18元。2026/8/25日股价35
5.65元对应2026-2028年PE分别为338、161、113倍，维持“增持”评级。
风险提示
半导体行业景气下滑、新品拓展不及预期等。
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2026-07-21│芯源微(688037)公司简评报告：北方华创入主协同显著，期待核心设备放量 │首创证券 │买入
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事件：公司公告《2025年年度报告》和《2026年一季度报告》。
2025年公司营收实现稳健增长，2026Q1公司毛利率大幅提升。2025年公司实现营业收入19.48亿元，同比+11.11%；归
属于上市公司股东的净利润0.72亿元，同比-64.64%，受公司人员扩张、政府补助减少和计提资产减值等原因，2025年公
司净利润有所下滑。2026Q1公司实现营收3.31亿元，同比+20.08%；实现归母净利润0.04亿元，同比-24.70%，主要系公司
规模扩大导致成本费用增加，同时政府补助减少带来其他收益减少。2026Q1公司新签订单同比实现较高增长，夯实未来业
绩增长。盈利能力方面，2026Q1公司实现毛利率46.69%，同比+12.40pct。
北方华创入主后协同效应显著，新产品有望实现快速突破。2025年6月北方华创成为公司控股股东后，对公司实施全
面赋能，公司内部精细化管理水平显著改善。依托股东平台资源协同优势，公司集中核心资源攻坚前道track设备，力争
短期实现关键赛道跨越式突破；同时加速高端前道化学清洗设备客户端批量导入，并持续夯实自身在后道先进封装设备中
的行业地位。
卡位重要的涂胶显影设备，有望把握国产替代机遇。前道涂胶显影设备是晶圆制造核心设备，唯一配套光刻机联机工
艺，全球市场长期由海外垄断，目前国产化率仍然较低。供应链自主可控需求下，国内晶圆厂加速国产设备导入。公司作
为国内少有的可提供量产型前道涂胶显影机的厂商，2025年持续斩获头部晶圆厂订单，多款设备客户端量产验证表现优异
，客户认可度持续提升，替代放量可期。
盈利预测：公司卡位前道涂胶显影设备，有望借助集团资源实现快速导入。在下游需求的快速扩张下，公司化学清洗
、键合等设备需求亦有望提升，共同拉动公司未来成长。综合来看，2025年公司净利润受资产减值、政府补助减少、前期
大额研发人力投入三重因素压制，基数走低，2026年公司新签订单有望转化为收入，营收规模上行有望摊薄固定成本。同
时，2026Q1公司毛利率大幅上行，产品盈利中枢明显上移。我们预计公司2026/2027/2028年归母净利润分别为2.23/3.88/
6.77亿元，对应当前股价PE分别为281/161/93倍，首次覆盖，给予“买入”评级。
风险提示：下游扩产进度不及预期、产品研发不及预期。
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2026-07-09│芯源微(688037)前道化学清洗放量，新一代Track推进顺利 │中邮证券 │买入
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投资要点
立足涂胶显影赛道做优做强，快速提升国内市占率。2025年，公司前道涂胶显影机产品持续获得国内头部逻辑、存储
、功率客户订单，客户认可度不断提升；后道涂胶显影机及单片式湿法设备持续巩固国内领先优势，继续获得封装龙头客
户批量重复性订单。光刻技术持续向高产能、高精度方向演进，对与之配套工作的涂胶显影设备产能提升提出较高要求。
目前，公司高端前道涂胶显影机在复杂光刻工艺下已实现和全球主流光刻机联机量产工作。随着光刻机产能的不断提升，
公司已布局新一代涂胶显影机架构进行匹配，机台应用更高工艺精度的超薄成膜、超细线宽均一性、精细缺陷控制等技术
，目前该机台研发进展顺利，将尽快推动工艺验证及产业化销售。未来，公司将继续锚定全球主流光刻技术发展进程，持
续提升涂胶显影设备各项核心指标，加速高端涂胶显影设备的国产化替代进程。
实现化学清洗赛道跨越式发展，打开第二增长曲线。2025年度，公司实现营收19.48亿，同比增长11%，从收入构成来
看，化学清洗首次贡献收入，后续随着持续签单及交验节奏加快，预计化学清洗在收入中的占比也将持续提升。从签单结
构来看，2025年签单中化学清洗和后道先进封装相关产品占比较高，其中化学清洗占比快速提升。公司战略性新产品前道
化学清洗机适用于多种SPM工艺，同时可应用于沉积前清洗、蚀刻后清洗、离子注入后清洗、CMP后清洗等多种前段工艺和
后段工艺清洗进程，整体工艺覆盖率达90%以上；机台搭载独立开发的新一代高清洗效率低损伤射流喷嘴，洁净度已达到
先进制程所需水平。公司前道高端化学清洗机台经过客户端数月的量产跑片监控，在三大核心指标上可对标海外龙头。该
机台已成功通过客户工艺验证，获得国内客户高度认可。目前公司化学清洗机已获得国内多家大客户重复性订单，新签订
单实现较快增长。
围绕先进封装稳步布局，持续拓宽产品矩阵。目前，国内高精度临时键合设备市场长期被海外厂商高度垄断，针对Ch
iplet技术解决方案，公司提前布局自主研发的全自动临时键合及解键合机，可应用于InFO、CoWoS、HBM等2.5D、3D技术
路线产品，兼容国内外主流胶材工艺，能够适配60微米及以上超大膜厚涂胶需求，可实现高对准精度、高真空度环境、高
温高压力键合工艺，键合后产品TTV及翘曲度表现优异。自2021年起，公司即获得国内头部客户支持，和客户紧密合作，
前瞻性研发临时键合、解键合设备，是国内较早进入该领域的设备厂商。目前公司临时键合机、解键合机整体技术已达到
国际先进水平。2025年，该系列设备继续获得国内多家客户订单，顺利通过多家客户工艺验证并全面量产。此外，公司在
2.5D/3D先进封装领域布局的新产品Frame清洗设备，也已成功通过客户验证，进入逐步放量阶段。
投资建议
我们预计公司2026/2027/2028年分别实现收入25/34/46亿元，归母净利润分别为2/4/6.7亿元，维持“买入”评级。
风险提示
业绩大幅下滑或亏损的风险，下游客户扩产不及预期或产能过剩的风险，研发投入可能大幅增长的风险，供应商供货
不稳定或成本提升风险，应收账款回收风险，市场竞争加剧的风险。
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2026-06-05│芯源微(688037)清洗机放量增长，Track新机型进展顺利 │长江证券 │买入
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事件描述
近期芯源微发布2025年年度报告及2026年第一季度报告。
2025年公司实现营收19.48亿元，同比增加11.11%；实现归母净利润0.72亿元，同比减少64.64%；毛利率为35.39%，
同比减少2.3pct。
2026Q1公司实现营收3.31亿元，同比增加20.08%；实现归母净利润0.04亿元，同比减少24.70%；毛利率为46.69%，同
比增加12.4pct。
事件评论
从公司收入构成来看，化学清洗首次贡献收入，后续随着持续签单及交验节奏加快，预计化学清洗在收入中的占比也
将持续提升；后道及小尺寸收入占比基本持平，其中键合品类收入规模及占比大幅提升；前道Track收入规模有所增长，
随着新机型陆续推出并推进验证，将持续巩固国产细分龙头地位。
公司前道涂胶显影机产品持续获得国内头部逻辑、存储、功率客户订单，客户认可度不断提升；公司战略性新产品前
道化学清洗机签单表现优秀，高端SPM机台已通过国内头部客户工艺验证，获得国内客户高度认可，目前公司化学清洗机
已获得国内多家大客户重复性订单；前道物理清洗机成功获得国内头部客户批量订单，进一步夯实细分市场龙头地位；后
道涂胶显影机及单片式湿法设备持续巩固国内领先优势，报告期内，继续获得封装龙头客户批量重复性订单；新产品临时
键合机、解键合机、Frame清洗机等已顺利通过多家客户验证，开始进入逐步放量阶段。
竞争格局良好，多轮驱动增长。公司前道涂胶显影设备产品国内市场领先，随着产品的进一步升级迭代，国内市场份
额有望持续提升；前道清洗设备签单较为稳健，其中物理清洗机继续保持行业龙头地位，化学清洗机新品有望成为公司新
的业绩增长点；随着先进封装需求的增长，公司后道领域产品组合（涂胶显影、清洗、临时键合、解键合）增长前景可期
。我们预计公司2026-2028年实现归母净利润分别为2.19亿元、4.52亿元、7.53亿元，对应当前市值市盈率水平分别为266
x、129x、77x，维持“买入”评级。
风险提示
1、下游晶圆厂扩产节奏存在不确定性；2、研发节奏存在不确定性。
【5.机构调研】(近6个月)
参与调研机构：117家
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2026-10-29│芯源微(688037)2026年10月29日投资者关系活动主要内容
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一、介绍公司2026年前三季度经营情况
2026年三季度公司实现营业收入4.37亿元，同比增长55.56%，前三季度实现营业收入13.34亿元，同比增长34.73%。2
026年前三季度实现归母净利润-5499.65万元，前三季度经营活动产生的现金流量净额-4.47亿元。
研发方面，公司三季度研发投入超1亿元，单季度研发投入占营业收入的比例为23.78%。前三季度累计研发投入2.57
亿，累计研发投入占营业收入的比例为19.3%。研发投入处于较高水平。
签单方面，前三季度公司签单继续保持增长态势，三季度单季度签单同比环比均有较大幅度增长。存货、合同负债等
同步增长。
费用方面，由于签单向收入转化需要一定周期，叠加公司现阶段收入规模相对偏小，各项费用投入前置等因素，公司
整体费用率相对较高。
毛利率方面，封装品类对战略客户进行适当让利，产品订单毛利率有所下滑，未来将通过持续降本和精细化运营，助
推封装产品毛利率回到合理水平。此外，公司新产品化学清洗机签单高速增长，客户端渗透率快速提升，不同产品初期毛
利率差异较大，整体毛利率后续仍有较大提升空间。综合前述因素及收入结构，公司前三季度毛利率阶段性承压。
生产方面，行业景气度依然维持较高状态，客户端对机台需求的紧迫性和持续性强，公司整体生产处于超负荷状态，
正在加快推进客户订单交付，保障全年营收目标实现。
国产替代方面，海外厂商在半导体设备和零部件方面整体市占率仍然较高，公司所处的涂胶显影、化学清洗等领域国
产替代的空间很大，对未来几年的订单增长和市场份额提升充满信心，希望广大投资者能够继续支持芯源微的发展，公司
也将继续为投资者带来增量价值，感谢大家的参与！
二、互动交流
Q1：公司涂胶显影设备新机型进展及预期？
A1：公司前道涂胶显影设备新机型客户端验证及导入进展顺利，今年是公司新机型的验证大年，预计明年将开始陆续
起量。从签单结构来看，明年公司有望形成前道涂胶显影、前道化学清洗、后道先进封装三领域共振状态。
Q2：清洗设备的市场份额、未来展望及盈利水平？
A2：公司清洗设备采取“高带低”策略，先突破高端设备，填补国内高端清洗产品空白，在客户端整体市占率快速提
升。同时，也在积极推进中低端设备的销售，今年化学清洗机的新签订单中，已经有比较可观的一部分是中低端设备。清
洗设备的市场空间足够大，并且随着未来加工工艺精细化、高端化，清洗设备的用量、价值量及高端设备的需求量也将逐
步提升。考虑到公司产品切入客户端时间不长，部分清洗产品毛利率尚未达到理想水平，随着公司加快推进国产零部件的
验证和导入，产品毛利率预计将陆续修复。
Q3：四季度收入情况及产品交付展望？
A3：今年下游客户扩产积极，公司新签订单快速增长，交付压力陡增。公司通过滚动预投、战略预投等方式持续对核
心部件等开展战略性备货，缓解因物料拖期对机台交付产生的压力。同时也在加快对国产零部件的验证和导入，保证供应
链安全并降低成本。展望四季度，依然是公司全年收入确认的主要阶段，公司存量订单资源充足，能够保障全年交付目标
的实现。
Q4：全年签单和明年签单展望？
A4：公司预计明年下游客户扩产量级依然较大。后道市场规模随着端封装的发展持续提升，叠加公司对临时键合等新
品类的持续拓展，预计公司后道高端封装订单将持续增长。此外，公司前道产品整体市占率仍然较低，随着客户认可度的
不断提升，未来增长空间较大，将成为公司签单的主要来源。
Q5：公司分产品毛利率及整体毛利率预期？
A5：目前前道涂胶显影毛利率整体低于清洗，清洗的标准化程度相对较高。前道涂胶显影受光刻机限制，架构和工艺
复杂度高，现阶段毛利率整体较低，未来随着机台成熟度提升、出货量增加，毛利率预计可持续提升。后道先进封装产品
国内市占率稳步提升，对部分战略客户进行了适当让利，阶段性毛利率有所下滑，后续随着生产量级提升及设计降本，有
望推动毛利率水平改善。
Q6：新签订单结构及未来订单结构展望？
A6：前三季度公司新签订单中后道和前道大概为四六开。后道先进封装中传统优势产品后道涂胶显影设备占比较高，
其他为湿法清洗、湿法刻蚀及键合类设备。前道设备中清洗产品占比较高。未来随着前道产品陆续放量，其在新签订单中
的占比预计将继续提升。
Q7：公司零部件交期、储备情况及国产化进程？
A7：不同产品交期拉长情况有一定差异，前道产品本身复杂程度更高，交期延长程度略高于后道产品。公司正通过滚
动预投、战略备货等方式降低零部件交期对整体机台交付的影响。在国产替代方面，公司也在加快推进国产物料的验证导
入，未来几年国产物料占比将持续提升。
Q8：键合类设备的整体布局？
A8：键合类设备是增长弹性相对较高的领域，一是因为国产化率不是特别高，二是下游客户目前尚未启动大批量扩产
。在产品布局方面，芯源微目前产品品类有临时键合机、解键合机、Frame清洗机，并在研发其他键合新品类，积极给客
户提供整体化解决方案。
Q9：公司后道封装业务市占率及毛利率展望？
A9：公司后道设备在国内市占率提升较快。今年新签订单增长一是来源于客户扩产，二是公司市占率提升。同时，公
司对战略客户进行适当让利，以绑定明后年客户扩产需求。在后续降本方面，公司将通过设计及供应链端的降本，持续降
低机台生产成本。此外，公司与北方华创集团后道产品高度互补，未来集团化打包销售优势将非常明显，这也有助于签单
提升及毛利率稳定。
Q10：前三季度亏损原因？
A10：公司收入保持较快增长，毛利率阶段性承压；匹配订单增长，人员规模增加，人力成本增长；随客户端存量机
台增多，销售费用增长；由于新产品研发推进，研发费用保持增长；政府补助同比下降。整体上，公司目前利润阶段性承
压，这也是业务起量过程中必须经历的阶段。成本费用的投入与收入转化存在阶段性错配，公司将持续加强内部精细化管
理和成本管控，逐步提升盈利水平。
Q11：研发投入、期间费用及人员招聘未来展望？
A11：随着市场景气度持续、订单快速增长以及新产品研发布局，未来2-3年公司预计将持续保持人员招聘和研发投入
的合理增长。人员方面，2026年公司因订单快速增长，公司一定程度上加大了人员储备，2027年人员增长和人力成本增速
预计将有所放缓。研发投入方面，公司将继续聚焦前道涂胶显影、前道清洗、高端封装等核心赛道核心产品，持续加大研
发投入力度。费用方面，未来费用总额将保持一定程度增长，但随着收入体量提升，预计费用率将逐渐回归到合理水平。
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参与调研机构：1家
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2026-10-09│芯源微(688037)2026年10月9日投资者关系活动主要内容
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司于2026年10月9日在公司会议室举行投资者关系活动，参与单位名称及人员有参与
公司网上2026年半年度业绩说明会的投资者，上市公司接待人员有董事长董博宇先生，董事、执行委员会主席邓晓军先生
，董事、执行委员会委员、副总裁、财务总监张新超先生，执行委员会委员、副总裁、董事会秘书刘书杰先生，独立董事
李宝玉先生。 查看原文
https://data.tdx.com.cn/zxfile/pdf_tb_news_jgdyxx/202610/94979688037.pdf
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参与调研机构：1家
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2026-08-25│芯源微(688037)2026年8月25日投资者关系活动主要内容
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一、介绍公司2026年上半年经营情况
2026年上半年公司实现营业收入8.97亿元，同比增长26.47%。从收入构成上看，前道占比进一步提升，与后道高端封
装等传统优势业务基本上平分秋色，尤其是前道清洗，在公司收入构成中占比超过30%，作为公司第二增长曲线的重要性
日益凸显；另外，前道Track上半年也贡献一部分收入，今年前道Track主要工作还是新机型验证，验证通过后有望在明后
年持续提升市场份额。
利润方面，2026年上半年归母净利润806.22万元，同比有所下降，主要由营收增速不高，叠加期间费用增加、政府补
助减少等因素所致。
现金流方面，2026年上半年经营活动现金流量净额-4.51亿元，同比有所下降，主要由签单快速增长，物料备货采买
支出增加，同时人员增加导致支付员工薪酬等支出增加所致。
签单方面，上半年新签订单保持快速增长，无论是以HBM、CoWoS为代表的后道高端封装，还是新产品前道化学清洗，
新签订单同比都实现不错增长。从签单结构上看，后道与前道大概是四六开，前道占比继续提升。合同负债方面，6月末
公司合同负债同比持平，主要原因是上半年新签订单中，约50%集中在5至6月，受订单集中签约、预收款结转周期等影响
，截至6月末公司合同负债规模整体保持平稳，但进入7月份以后，随着订单陆续落地收款，合同负债余额将有所增长。
整体上看，随着北方华创成为公司的控股股东以来，公司的经营态势持续向好，尤其是新签订单增长非常明显，虽然
利润阶段性存在一定压力，但这是订单和收入放量过程必须要经历的阶段。后续公司将进一步做好整体效率提升及成本管
控，随着收入体量的持续提升，预计整体利润率将有所改善。希望广大投资者能够继续支持芯源微的发展，公司也将继续
为投资者带来增量价值，感谢大家的参与！
二、互动交流
Q1：公司化学清洗机签单情况如何？
A1：公司上半年前道清洗机签单表现亮眼。从签单构成来看，前道化学清洗机中大部分以高端设备为主，公司是国内
少有的在高端化学清洗设备市场可对标进口机台的厂商，在客户端的市占率也在持续提升。公司采取“高带低”的策略，
先突破国内客户最关心的“卡脖子”设备，再通过高端设备的切入带动客户端其他工艺道次清洗设备的市场份额。未来随
着公司设备在客户端的认可度逐步提升，预计前道化学清洗的签单规模也将持续提升。
Q2：如何展望下游存储客户扩产对公司业务的拉动？
A2：存储市场在未来几年预计依旧是高景气度赛道，今年上半年公司的前道签单中有很大部分来自于存储，尤其是头
部存储客户，未来存储市场将继续保持比较好的发展态势。从全年的展望来看，存储在下半年依然能够贡献公司较大占比
的签单来源。
Q3：公司上半年毛利率下降的原因？
A3：上半年公司前道产品毛利率同比有所提升，后道封装产品毛利率同比有所下降，这个跟确认收入的客户结构有关
系，针对部分战略客户，公司在后道设备销售时进行适当让利，该部分低毛利订单在上半年验收转化为收入后阶段性拉低
整体毛利率。但从中长期来看，在后道产品整体市占率提升到较高水平的同时，公司正在积极推动后道产品降本增效，保
障合理的毛利率水平。
Q4：前道涂胶显影机未来放量预期？
A4：国内前道涂胶显影设备市场中，海外设备占比仍然非常高，是国内比较“卡脖子”的领域。今年是公司前道涂胶
显影设备新机型的验证大年，预计未来几年可持续受益于下游客户扩产及国产化率提升。从订单到收入实现需要一定时间
，在收入端的反应通常相较于订单滞后6到12个月以上。
Q5：上半年公司经营现金流下降的原因？
A5：一是采购付款增加，上半年公司对核心物料进行战略备库，另外由于公司订单增长，物料下单增长。二是人员费
用和差旅费增加，上半年公司排产比较饱满，匹配订单增长和业务发展，前端设计、生产和客服员工人数有所增加。展望
全年来看，在今年订单高增，为保交付、增加备料及订单下料，同时战略性增加人员的背景下，全年现金流依然会有一定
压力。
Q6：公司明年的收入及签单预期？
A6：今年公司签单实现了较高增长，签单中将有大部分转化为明年收入。从各产品来看，前道track今年是验证大年
，预计明年订单贡献可陆续释放；前道化学清洗今年整体签单表现亮眼，未来几年随着国内清洗市场空间的提升及公司化
学清洗设备市占率的提升，收入及签单预计将持续受益；后道产品在国内HBM、CoWoS等高端封装的驱动下，市场空间将保
持增长态势，公司后道产品系列较为完整，包括涂胶显影、去胶、湿法刻蚀、湿法清洗、临时键合及解键合、frame清洗
等，后道产品将持续受益于后道市场增长。
Q7：公司是否有产能扩张的计划？
A7：从目前来看，公司整体生产压力比较大，一是场地的原因，公司正在有序进行产能扩张。二是人员的原因，订单
的设计、生产、装调，对人员整体压力较大，所以公司将匹配订单的增长，持续增加相关人员。
Q8：公司签单结构拆分？
A8：上半年公司新签订单中，后道约占40%，前道约60%。在前道订单中，大部分是前道化学清洗，其余是前道物理清
洗和前道track。化学清洗作为公司的第二增长曲线的重要性日益凸显，化学清洗产品得到客户认可并获得批量重复订单
，签单增速较快，收入转化效率较高。
Q9：公司零部件供应情况？
A9：公司零部件供应整体平稳，部分进口物料存在交期拉长的情况，但大部分物料供应平稳正常。公司应对部分交期
拉长的进口物料，会做一些战略备库和预投，以确保公司正常生产交付。
Q10：公司订单确收的高峰期是什么时间？
A10：根据历史情况，公司收入确认的高峰期大部分都在下半年，所以今年三季度和四季度将是公司收入确认的相对
高峰。
Q11：临时键合和解键合产品展望？
A11：临时键合和解键合是非常有前景的赛道，随着AI产业拉动及CoWoS、HBM、3DIC等高端封装蓬勃发展，对键合及
解键合设备的需求量比较大。目前主要是进口设备，但后续随着国产化率的提升及公司产品市占率的提升，公司产品签单
规模将持续提升。
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参与调研机构：1家
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2026-06-05│芯源微(688037)2026年6月5日投资者关系活动主要内容
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一、介绍公司2025年及2026年第一季度经营情况
尊敬的各位投资者、各位朋友们，大家上午好！欢迎大家参加芯源微2025年年度暨2026年第一季度业绩说明会。非常
感谢各位投资者朋友们对公司长期以来的关注和支持，同时也感谢上证路演中心对本次业绩说明会提供的技术支持和帮助
。
2025年度，公司实现营业收入19.48亿，同比增长11%。从收入构成来看，化学清洗首次贡献收入，后续随着持续签单
及交验节奏加快，预计化学清洗在收入中的占比也将持续提升；后道及小尺寸收入占比基本持平，其中键合品类收入规模
及占比大幅提升；前道Track收入规模有所增长，随着新机型陆续推出并推进验证，将持续巩固国产细分龙头地位。
利润方面，2025年度归母净利润7170.51万，同比有所下降，主要由营收增速不高，叠加期间费用增加、政府补助减
少等因素所致。
现金流方面，2025年度经营活动现金流量净额1.03亿，同比有所下降，主要由签单持续增长，物料备货采买支出大幅
增加，同时人员增加导致支付员工薪酬等支出等增加所致。
签单方面，2025年新签订单保持较快增长，尤其是新产品化学清洗机，已经全面导入国内多家头部晶圆厂，并获得了
部分客户的批量重复性订单，客户对于机台表现的认可度高，采买意愿强烈，预计化学清洗在未来几年仍将保持不错增长
。
合同负债方面，2025年末公司合同负债同比增长超50%，一定程度上也反映了签单的良好态势。
2026年第一季度，公司实现营业收入3.31亿，同比增长20%。归母净利润350.89万元，同比下降25%，主要由于公司规
模的不断扩大导致成本费用增加，叠加政府补助减少造成其他收益减少所致。一季度新签订单同比较高增长，签单态势良
好。
整体上看，随着北方华创在2025年6月成为公司控股股东并全面赋能以来，公司发生了很多新的变化，各方面管理精
细度都在稳步提升，公司正持续聚焦主要资源，力争在未来几年实现前道track的快速突破。同时，公司也将继续加大前
道化学清洗新品的客户端导入力度，并不断巩固在后道先进封装领域的领先优势，保障未来几年业务持续向好发展。谢谢
！
二、互动交流
Q1：展望2026，公司认为最主要的增长驱动力是什么？是否有新业务或新产品能成为重要的利润增长点？
A1：从半导体设备行业来看，随着下游电子、汽车、通信等行业需求的稳步增长，以及人工智能、云计算及大数据等
新兴领域的快速发展，集成电路产业面临着新型芯片带来的产能扩张需求，将持续推动半导体设备的资本开支，带来广阔
的市场空间。从公司产品来看，在涂胶显影设备方面，公司将继续紧盯全球光刻工艺发展新趋势，结合公司整体发展战略
，继续研发新一代可适应更高光刻机产能的涂胶显影架构；在前道化学清洗设备方面，目前高端产品陆续实现卡位并已经
开始放量，订单增速很快，公司将借助北方华创集团赋能，与集团产品协同配合，不断提升在客户端的市占率，提高产品
订单及收入规模；在后道产品方面，公司持续推出一系列新产品，如临时键合、解键合以及frame清洗等，这两年都有非
常好的表现，2025年收入占比大幅提升。随着客户在CoWoS、HBM以及3DIC等领域的深化布局，公司后道产品也将持续受益
。
Q2：技术创新和产业升级方面有哪些举措？
A2：半导体设备属于高度技术密集型行业，具有极高的技术壁垒和客户准入门槛。公司将提高自主创新能力作为公司
发展的第一要务，持续加大研发投入力度，研发费用连续多年保持在营业收入的10%以上。在涂胶显影相关技术方面，进
一步优化单元和整机设计，提高产品的可靠性、稳定性；在前道清洗方面，聚焦化学清洗与干燥技术的深度优化，进一步
提升产品的技术等级和应用范围，系统性提升清洗设备产能；在后道设备方面，研究解决键合、解键合关键技术，推进研
发和产业化进程。
Q3：公司如何根据自身优势和市场需求来制定和实施这些发展目标？
A3：公司专注于高端半导体专用设备领域，目前已形成前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先进封装设备、化合
物等小尺寸设备四大业务板块。公司通过持续的技术研发和供应链建设，提升公司的核心竞争力，增强团队的执行力和凝
聚力，不断开拓新产品、新领域，有效提升公司收入和利润规模，为股东创造价值。未来公司将积极加强技术人才团队、
知识产权和商业秘密体系建设，通过有效的内控和核心竞争力的提升，稳健发展并防范各种风险。
Q4：公开数据显示，近两年来，公司营业收入小幅增长，净利润却持续下滑，2025年扣非净利润首次出现亏损。今年
一季度，公司净利润同比下降24.70%，扣非净利润续亏，请问公司近年利润持续下降的原因是什么，是否还有进一步下滑
的风险，公司有没有明确的降费增效方案，从费用结构、投产节奏上扭转亏损的现状？前道涂胶显影、化学清洗等主力新
产品订单充足但收入确认滞后的周期还要多久落地兑现营收利润？
A4：公司新一代涂胶显影机、高端化学清洗机、先进封装新产品、核心零部件等研发投入及人才储备强度较大。同时
，公司新产品订单快速增长，对应投入的管理费用、销售费用持续增加。但公司新产品从研发、获得订单到转化成收入需
要一定周期，会有投入产出时间上的错配。另外叠加政府补助未如期到账、汇兑损失等因素，导致利润下滑。公司持续推
动信息化、数字化建设，落实精益化、全过程管理，以提高整体运营效率为目标，开展降本增效全员行动计划。2025年，
化学清洗首次贡献收入，后续随着持续签单及交验节奏加快，预计化学清洗在收入中的占比也将持续提升。公司将继续锚
定前道涂胶显影、前道清洗、后道先进封装三大核心主赛道，以客户为中心，持续提升产品竞争力及市场占有率，不断做
优做大经营体量。
Q5：数据显示，2025年公司计入损益政府补助近1亿元，占公司当期利润总额的 151.19%，扣非净利润亏损超1800万
元，今年一季度，同样依靠政府补助才实现账面微利，扣非净利润依旧是亏损的，请问当前公司主业盈利能力偏弱，利润
靠大额补助托底，是阶段性行业因素还是公司产品盈利模型存在长期隐患？若未来政府补助大幅缩减，是否会对公司持续
盈利带来影响？公司将通过哪些举措，实现主营业务经营层面的稳定盈利？
A5：公司目前收入规模尚小，且产品综合毛利率相对不高，同时为保障未来发展，持续加大人才引进及研发投入等，
未来随着规模的扩大，预计盈利会有所恢复。在公司产品方面，公司将围绕下游客户需求，立足涂胶显影主赛道，持续开
展技术研发及产品迭代，加快推进产品成熟化、标准化，持续提升机台稳定性及产能效率，为客户提供更具性价比和竞争
力的半导体装备产品及工艺整体解决方案。同时积极培育前道化学清洗、临时键合、解键合、Frame清洗等多款新产品，
开辟新的收入增长点。在供应链建设方面，公司将通过联合开发、自主研发、寻找替代供应商等方式降低核心部件成本，
巩固核心部件可控性，持续提升产品综合竞争力。在运营管理方面，逐渐降低销售、管理等费用率，优化运营管理，提高
经营质效。
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〖免责条款〗
1、本公司力求但不保证提供的任何信息的真实性、准确性、完整性及原创性等，投资者使
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性、安全性以及出错发生都不作担保。
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