研报评级☆ ◇688361 中科飞测 更新日期：2026-03-25◇ 通达信沪深京F10
★本栏包括【1.投资评级统计】【2.盈利预测统计】【3.盈利预测明细】【4.研报摘要】
【5.机构调研】
【1.投资评级统计】最新评级日期:2026-01-16
时间段 买入评级次数 增持评级次数 中性评级次数 减持评级次数 卖出评级次数 评级次数合计
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3月内 0 1 0 0 0 1
6月内 3 6 0 0 0 9
1年内 17 17 0 0 0 34
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【2.盈利预测统计】(近6个月)
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│财务指标 │ 2022年│ 2023年│ 2024年│2025年预测│2026年预测│2027年预测│
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│每股收益(元) │ 0.05│ 0.44│ -0.04│ 0.43│ 1.15│ 1.81│
│每股净资产(元) │ 2.37│ 7.53│ 7.62│ 11.65│ 12.79│ 14.60│
│净资产收益率% │ 2.06│ 5.82│ -0.47│ 4.21│ 10.05│ 13.80│
│归母净利润(百万元) │ 11.74│ 140.34│ -11.53│ 150.24│ 402.21│ 634.61│
│营业收入(百万元) │ 509.24│ 890.90│ 1380.38│ 2078.65│ 3061.40│ 4289.88│
│营业利润(百万元) │ 12.99│ 133.90│ -6.61│ 150.95│ 407.84│ 644.02│
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【3.盈利预测明细】(近6个月)
日期 评级 评级变化 目标价 2025EPS 2026EPS 2027EPS 研究机构
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2026-01-16 增持 首次 --- 0.51 1.17 1.81 华源证券
2025-12-19 增持 首次 --- 0.42 1.13 1.82 东北证券
2025-11-16 买入 维持 --- 0.37 1.19 1.84 长江证券
2025-11-10 增持 首次 --- 0.52 1.17 2.05 西部证券
2025-11-05 增持 维持 --- 0.29 1.03 1.46 东吴证券
2025-11-03 买入 维持 149.2 0.26 1.03 1.69 华创证券
2025-11-02 买入 维持 132.9 0.44 1.12 2.06 华泰证券
2025-11-01 增持 维持 --- 0.25 0.71 1.14 平安证券
2025-10-31 增持 维持 --- 0.80 1.77 2.44 华西证券
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【4.研报摘要】(近6个月)
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2026-01-16│中科飞测(688361)半导体量检测设备深耕者，丰富品类助力自主可控 │华源证券 │增持
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大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。公司提供涵盖设备产品、智能软件产品和相关服务的全流程良率管理解
决方案，客户群体广泛覆盖逻辑、存储、功率半导体、MEMS等前道制程企业，碳化硅、氮化镓、砷化镓等化合物半导体企
业，晶圆级封装和2.5D/3D封装等先进封装企业，大硅片等半导体材料企业以及刻蚀设备、薄膜沉积设备、CMP设备等各类
制程设备企业。公司于2023年登陆科创板上市，2024年量检测设备出货达1000台。
全球半导体量检测设备市场规模持续增长，中国大陆市场高速发展。检测和量测包括光学检测技术、电子束检测技术
和X光量测技术等。应用光学检测技术的设备可以较好实现高精度和高速度的均衡，并且能够满足其他技术所不能实现的
功能，因此采用光学检测技术设备占多数。根据QYResearch预测，2023年全球半导体量测和检测市场销售额达到152.9亿
美元，预计2030年将达到277.6亿美元，2024-2030年CAGR=8.1%。得益于中国半导体全行业的蓬勃发展和国家对半导体产
业持续的政策扶持，行业下游晶圆厂在关键工艺节点上持续推进，产能持续扩张。根据VLSI数据统计，2020年至2024年中
国大陆半导体检测与量测设备市场规模CAGR=27.73%。
核心技术不断突破，产品迭代升级取得积极进展。公司拥有九大系列设备和三大系列软件产品。九大系列设备面向全
部种类集成电路客户需求，其中，七大系列设备已批量量产，并在国内头部客户产线应用，技术指标全面满足国内主流客
户的工艺需求，各系列产品市占率稳步快速增长，此外，其他两大系列设备已完成样机研发，并已批量出货至多家国内头
部客户，开展产线工艺验证和应用开发。三大系列智能软件已全部应用在国内头部客户，有效提升半导体制造良率和产品
性能。
盈利预测与评级：预计2025-2027年中科飞测归母净利润分别为1.78、4.11、6.35亿元，同比分别扭亏为盈、增长131
.17%、增长54.68%，对应PE分别为388、168、109倍。我们选取中微公司、北方华创、拓荆科技作为可比公司。中科飞测
专注于高端半导体质量控制领域，提供设备、智能软件、相关服务的全流程良率管理解决方案，首次覆盖，给予“增持”
评级。
风险提示：下游需求波动的风险、国际贸易摩擦的风险、技术升级迭代的风险
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2025-12-19│中科飞测(688361)营收延续强劲增长，量测设备迈入高端替代新周期 │东北证券 │增持
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事件：2025年12月3日，中科飞测公告拟使用1.67亿元募集资金置换前期自筹资金，用于四大半导体质量控制设备项
目投入及发行费用支付，推动国产检测设备产业化进程。
点评：营收规模快速扩张，盈利短期受存货减值扰动。公司前三季度实现营业收入12.02亿元，同比增长47.92%；归
母净利润亏损0.15亿元，亏损同比收窄。毛利率同比提升4.28个百分点至51.97%，表明高价值量先进制程产品占比正在提
升。营收高增主要受益于国内半导体设备国产化进程加速及公司产品覆盖度提升，归母净利润为负主要系公司为应对订单
增长大幅备货，导致存货规模激增至25.36亿元，进而使得资产减值损失计提增加，叠加研发费用维持高位所致。
高端新品验证顺利，先进封装设备受益AI浪潮。公司正从成熟量测向高难度的图形晶圆检测突破，目前明场、暗场纳
米图形晶圆缺陷检测设备已完成样机研发，其中暗场设备进展顺利，正推动订单规模持续增长，明场设备正处于客户验证
关键期。在AI算力需求爆发推动下，公司针对HBM及先进封装领域的3DAOI设备及三维形貌量测设备已通过国内头部客户验
证，订单稳步增长。此外，公司自主研发的第三代套刻精度量测设备已在1Xnm产线实现量产应用，性能指标全面对标国际
领先竞品。
在手订单充沛饱满，高强度研发构筑长期壁垒。截至三季度末，公司存货同比增长63.1%，合同负债保持在5.68亿元
的高位，高水位的存货与合同负债预示着未来业绩的确定性释放。公司坚持高强度研发投入，前三季度研发费用达4.40亿
元，同比增长31.32%，研发费用率超30%。
通过“设备+软件”的双轮驱动，公司的良率管理、缺陷分类等软件产品与硬件设备形成数据闭环，极大地增强了客
户黏性。公司作为量检测赛道的国产领军者，有望持续受益于百亿级美元市场的国产替代红利。
盈利预测与投资评级：考虑到公司正处于高强度研发与市场扩张期，且在手订单充足，预计公司2025/2026/2027年营
业收入分别为20.68/30.28/43.17亿元，对应PS分别为25/17/12倍。鉴于量测检测设备在半导体制造中的核心地位及公司
在明暗场检测领域的稀缺性突破，首次覆盖，给予“增持”评级。
风险提示：晶圆厂扩产不及预期、新品验证不及预期、供应链风险
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2025-11-16│中科飞测(688361)研发维持高水平投入，定增落地助力未来产能扩张 │长江证券 │买入
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事件描述
近期中科飞测发布2025年三季度报告。
2025Q3公司实现营业收入5.00亿元，同比增长43.30%；归母净利润为0.04亿元，同比减少77.33%；扣非净利润为-0.3
0亿元，同比减少188.66%；毛利率为48.69%，同比减少0.95pct。
2025Q1-Q3公司实现营业收入12.02亿元，同比增长47.92%；归母净利润为-0.15亿元，同比增长71.67%；扣非净利润
为-1.40亿元，同比减少11.61%；毛利率为51.97%，同比增长4.28pct。
事件评论
成熟产品持续升级迭代，新产品进展顺利。公司明场纳米图形晶圆缺陷检测设备出货及订单数量快速增长，已覆盖多
家国内头部逻辑及存储客户，验证进展顺利，获得客户对测试数据积极的反馈；暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备出货及订
单数量快速增长，已覆盖多家国内头部逻辑及存储客户，验证进展顺利，预计很快可以实现收入及订单增长；无图形晶圆
缺陷检测设备、薄膜膜厚量测设备应用在国内最先进制程产线的设备已经通过验证并实现销售，面向更先进制程的无图形
晶圆缺陷检测设备已经出货到国内头部客户进行验证；最新一代套刻精度量测设备已经实现批量出货并实现销售，全面覆
盖国内头部客户；图形晶圆缺陷检测设备包括3DAOI设备、三维形貌量测设备、套刻精度量测设备等应用在HBM领域的设备
都已经通过多家国内头部客户的验证。
定增顺利落地，助力研发与产能扩张。2025年10月公司完成向特定对象发行股票，最终发行数量为28,571,428股，募
集资金约25亿元，发行价格为87.5元/股。公司本次募集资金投向上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化项目、
总部基地及研发中心升级建设项目及补充流动资金等项目。其中高端半导体设备研发产业化项目拟使用募集资金11.8亿元
，将进一步提升公司高端前沿工艺设备产业化能力，优化公司产品产能战略布局，进一步提升公司研发测试技术能力，进
一步提高公司核心技术成果转化和产业化应用能力，不断推动公司产品技术升级迭代，持续增强公司核心竞争力。
公司的成长一方面来源于国产替代的持续推进，另一方面来自于先进制程对于量检测设备需求的提升。由于美国对华
半导体出口管制措施依旧严格，在国内晶圆厂扩产意愿提升的背景之下，核心设备的替代需求更加强烈。近年随着研发投
入力度加大，公司新产品落地节奏加速，尤其是先进型号进展顺利，进一步促进了订单规模增长。随着规模化效应的显现
，公司未来盈利能力有望持续提升，预计2025-2027年归母净利润为1.29亿元、4.18亿元、6.46亿元，对应PE分别为341x
、105x、68x，维持“买入”评级。
风险提示
1、下游晶圆厂扩产节奏存在不确定性；2、研发节奏存在不确定性。
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2025-11-10│中科飞测(688361)首次覆盖报告：半导体量检测设备"破局者"，领│西部证券 │增持
│航先进制程扩产新征程 │ │
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【核心结论】
中科飞测是国内领先的半导体质量控制设备与软件提供商，聚焦晶圆前道与先进封装的质量控制核心赛道。2025H1公
司实现营业收入7.02亿元，同比增长约51.39%。后续随着国内先进制程晶圆代工扩产，资本开支上升+设备国产化率将提
升。我们预测25-27年公司有望实现营业收入20.61/31.28/44.13亿元，实现归母净利润1.84/4.11/7.18亿元。当前股价对
应25-27年PS为23.17/15.27/10.82倍，首次覆盖给予“增持”评级。
【核心逻辑】
国产前后道量检测设备龙头，广泛覆盖国内主要晶圆厂、封测厂。2024年底，公司交付量突破千台，覆盖全球66.6%
的质量控制设备市场空间。公司量检测设备已广泛应用在中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微
电等国内主流集成电路制造产线。公司有望显著受益于国内晶圆厂扩产，加速导入国产量检测设备，订单及收入规模实现
快速增长。
前道量检测设备国产化率低，高弹性有望带来高增长。根据光刻人的世界公众号统计，截至2025年9月，中国半导体
量检测设备国产化率16.4%，较2023年提升5.2个百分点。国产设备已覆盖28nm及以上制程主要工艺环节，并在部分细分领
域实现14nm节点的技术突破。虽然与国际领先厂商在先进制程环节仍存在约2–3代差距，但本土厂商正快速缩小差距。中
科飞测已具备28–14nm节点及先进封装领域的批量交付能力，部分产品进入验证阶段，标志着国产设备正从“补位”走向
“并跑”。
公司不断拓展量检测产品线，先进制程设备放量可期。公司在深紫外成像、缺陷识别算法等方面持续突破，正向14nm
、7nm及先进封装场景扩展并推进电子束关键尺寸量测等前瞻项目；先进制程明场光学、暗场光学前道量检测设备有望逐
步由验证阶段进入放量阶段，进一步打开公司成长空间。
风险提示：下游晶圆厂扩产不及预期风险，竞争格局恶化风险，上游核心零部件短缺风险，技术迭代不及预期风险
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2025-11-05│中科飞测(688361)2025三季报点评：营收持续高增，先进制程量检测设备研发│东吴证券 │增持
│验证进展顺利 │ │
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25Q1-Q3营收高增，亏损陆续收窄：2025Q1-Q3公司实现营收12.02亿元，同比+47.9%，主要系公司产品覆盖度提升，
出货量提升；归母净利润为-0.15亿元，亏损同比收窄，主要受益于营收规模增长以及费用率整体下降，扣非净利润为-1.
40亿元，同比-11.6%。Q3单季营收为5.00亿元，同比+43.3%，环比+22.4%；归母净利润为0.04亿元，同比-77.3%，环比+2
07.7%；扣非归母净利润为-0.3亿元，同比亏损幅度加大，主要系资产减值损失计提较去年同期有所增加。
盈利能力同比改善，研发投入仍维持高位：25Q1-Q3公司毛利率为51.97%，同比+4.28pct；销售净利率为-1.22%，同
比+5.2pct；期间费用率为57.97%，同比-4.7pct，其中销售/管理/研发/财务费用率分别为7.60%/12.33%/36.62%/1.19%，
同比-0.7/-0.5/-4.6/+1.0pct。研发投入维持高位，25Q1-Q3研发费用达4.40亿元，同比+31.3%。Q3单季毛利率为48.69%
，同比-1.1pct，环比-2.9pct；销售净利率为0.73%，同比-3.9pct，环比+1.6pct。
存货同比增长，负现金流环比收窄：截止25Q3末，公司存货为25.36亿元，同比+63.1%；合同负债为5.68亿元，同比-
18.6%。Q3公司经营活动净现金流为-2.36亿元，环比收窄。
平台化布局产品线持续丰富，更先进制程研发验证进展顺利：1）无图形晶圆检测设备：量产型号已覆盖2Xnm及以上
工艺节点，1Xnm设备通过多家头部逻辑/存储客户验证，截至25H1公司累计交付超300台，覆盖超100余家客户，同时第四
代产品已出货至国内头部客户产线验证；2）图形缺陷检测设备：广泛应用于逻辑、存储、先进封装等领域，其中用于具
备三维检测功能的设备与HBM等先进封装的3DAOI设备通过国内头部客户验证，2Xnm明场纳米图形晶圆缺陷检测设备、暗场
纳米图形晶圆缺陷检测设备的研发进展顺利，截至25H1末，公司累计交付超400台，覆盖50余家客户；3）三维形貌量测设
备：支持2Xnm及以上制程，截至25H1累计交付超200台设备，覆盖近50家客户，应用在HBM等新兴先进封装领域的三维形貌
量测设备也通过多家国内头部客户验证，期间订单稳步增长；4）薄膜膜厚量测设备：已覆盖国内先进工艺和成熟工艺的
主要集成电路客户，金属薄膜膜厚量测设备为新增长点，订单量持续稳步增长，市占率不断提升，测量精度更高的新一代
介质薄膜膜厚量测设备已通过多家国内主流客户验证；5）套刻精度量测设备：90nm及以上工艺节点的设备已实现批量销
售，2Xnm设备已通过国内头部客户产线验证，获得国内领先客户订单，测量精度更高的新一代设备已开展产线验证，进展
顺利。6）明/暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备系列已陆续开始在头部客户验证；7）关键尺寸量测设备：2Xnm产品研发进
展顺利，已完成客户端验证。8）良率管理、缺陷分类、光刻套刻分析系统已陆续交付客户。
盈利预测与投资评级：考虑到订单验收节奏，我们调整公司2025-2027年归母净利润分别至1.0/3.6/5.1（原值：2.2/
3.6/5.1）亿元，当前市值对应动态PE分别为409/116/83倍，基于公司在半导体量测设备领域的高成长性，维持“增持”
评级。
风险提示：晶圆厂资本开支不及预期，设备研发验证进度不及预期。
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2025-11-03│中科飞测(688361)2025年三季报点评：量测设备放量与结构优化并进，研发强│华创证券 │买入
│化成长确定性 │ │
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事项：
2025年10月30日，公司发布2025年三季报：
1）2025Q1-Q3公司实现营业收入12.02亿元，同比+47.92%；毛利率51.97%，同比+4.28pct；归母/扣非归母净利润-0.
15/-1.40亿元，同比减亏71.67%/增亏11.61%；
2）2025Q3公司实现营业收入5.00亿元，同比/环比+43.30%/+22.43%；毛利率48.69%，同比/环比-0.95pct/-2.90pct
；归母净利润0.04亿元，同比/环比-77.33%/扭亏；扣非归母净利润-0.30亿元，同比/环比增亏188.66%/减亏55.85%。
评论：
设备放量+结构优化带动业绩稳健增长，存货影响导致单季利润短期波动。受益于量测设备国产化加速推进，公司在
核心技术、客户资源与产品覆盖广度方面的竞争优势持续强化，市场认可度不断提升，销售规模保持高增长。2025Q3公司
实现营业收入5亿元（YoY+43.30%，QoQ+22.43%），前三季度累计营收12.02亿元（YoY+47.92%），延续稳健增长态势。25
年以来多系列新设备实现批量出货，先进制程产品占比提升带动毛利率同比提升4.28pct至51.97%。营收扩张带来显著规
模效应，整体费用率下降，前三季度归母净亏损同比明显收窄。Q3受存货上升影响，公司计提资产减值损失同比增加，短
期拖累利润表现；展望后续，随着新品加速放量、现有产品去库并持续迭代，盈利能力有望稳步修复。
下游扩产+国产替代共振，量检测设备需求持续释放。AI算力建设与汽车电子需求共振推动全球晶圆厂扩产，据SEMI
预计，2025年全球半导体月产能将增长7%至3,370万片，再创历史新高，其中中国大陆增速最快（YoY+14%至1,010万片/月
）。量测设备作为晶圆制造良率管理核心环节，将伴随扩产周期迎来量价齐升的机遇。当前全球市场仍由KLA等海外厂商
主导，而在贸易摩擦与供应链安全诉求强化背景下，国产替代迎来加速窗口，公司凭借区位优势、定制化服务能力及供应
稳定性，正处于国产化红利的核心受益位置，市占率有望持续提升。
持续高研发投入巩固技术壁垒，DRAGONBLOOD-800批量出货先进制程产线，性能全面对标国际领先。2025年前三季度
公司研发投入4.40亿元（YoY+31.32%），持续加大前沿工艺与新产品研发力度，构建差异化竞争壁垒。作为国产量测设备
龙头，公司面向逻辑、存储、功率、化合物半导体及先进封装客户，提供覆盖设备、智能软件及配套服务的全流程良率管
理解决方案。自主研发的第三代套刻精度量测设备DRAGONBLOOD-800已在1Xnm产线实现量产应用，累计出货近百台，性能
参数与市占率均居国内绝对领先优势，指标全面对标国际领先品牌。同时，公司基于AI与大数据技术研发的光刻套刻分析
反馈系统与量测设备协同应用，可显著提升光刻工艺监控与优化能力，助力客户进一步提高良率水平。
投资建议：下游晶圆厂积极扩产，量检测设备国产替代空间广阔，公司作为国内量检测设备领军厂商有望深度受益，
但考虑新产品确收节奏仍在爬坡期、库存消化尚需时间，短期利润端仍受压制，我们将公司2025-2027年营业收入预测由2
0.76/30.33/41.98亿元调整为20.76/31.91/46.42亿元，2025-2027年归母净利润预期由1.81/2.96/4.81亿元调整为0.91/3
.62/5.92亿元。参考可比公司估值及公司业绩的成长性，给予公司2026年0.36倍PSG，对应目标价为149.2元，维持“强推
”评级。
风险提示：新产品研发不及预期；行业竞争加剧；国际贸易形势变化；下游晶圆厂扩产不及预期。
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2025-11-02│中科飞测(688361)明暗场、光学关键尺寸设备进展顺利 │华泰证券 │买入
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中科飞测Q3实现营收5.00亿元（yoy+43.30%，qoq+22.43%），归母净利365.59万元（yoy-77.33%，qoq+207.72%）。2
025年Q1-Q3实现营收12.02亿元（yoy+47.92%），归母净利-1469.85万元（yoy+71.67%）。公司市占率不断提升，收入高
速增长，但因公司持续加大研发投入，资产减值损失计提增加，净利率短期承压。公司七大系列检测和量测设备已实现批
量量产并在国内头部客户产线应用，公司明、暗场纳米图形晶圆检测设备目前已完成样机研发，小批量出货到多家国内头
部客户产线上进行工艺开发与应用验证工作。展望2026年，我们有望看到国内先进制程及存储积极扩产，中科飞测作为量
检测赛道核心供应商有望持续受益，维持“买入”评级。
3Q25回顾：营收稳定增长，利润受资产减值影响
25年前三季度，公司实现营业收入12.02亿元，同比增长47.92%，主要系公司在核心技术等方面优势体现，市场认可
度提升，销售规模增长。3Q25毛利率为48.69%，同比-0.95pct，环比-2.9pct，主要因产品组合变化以及新产品确收产生
费用；3Q25研发费用率为30.96%，同比-5.75pct，环比-9.5pct，受益于营收增长，整体费用率下降。受存货规模上升影
响，资产减值损失计提增加，3Q25归属于上市公司股东的净利润同比-77.33%，未来随着公司收入增长，盈利水平有望逐
步改善。截至3Q25公司合同负债5.7亿元，存货25.4亿元，保持高位，反映公司订单持续增长。
设备持续迭代，先进逻辑、存储、先进封装等客户订单持续增长
公司七大系列检测和量测设备已实现批量量产并在国内头部客户产线应用，其中1）无图形晶圆缺陷检测设备累计交
付超300台，第三代无图形晶圆缺陷检测设备销售规模快速增长，第四代产品已出货至国内头部客户产线验证；2）图形晶
圆缺陷检测设备累计交付超400台，三维形貌量测设备累计交付超200台，且应用在HBM等新兴先进封装领域的3DAOI设备及
三维形貌设备自2024年通过国内头部客户验证以来，公司该系列订单规模的持续增长；3）薄膜膜厚量测设备竞争力持续
提升，套刻精度量测设备已实现批量销售，且该两类产品新一代测量精度更高的产品客户持续验证中。
展望：明暗场、光学关键尺寸设备进展顺利，国产替代加速
公司明、暗场纳米图形晶圆检测设备目前已完成样机研发，正积极开展国内多家主流客户的多种复杂图形工艺样片的
验证测试，并小批量出货到多家国内头部客户产线上进行工艺开发与应用验证工作，其中暗场设备进展顺利，推动订单规
模的持续增长。公司拥有良率管理、缺陷自动分类、光刻套刻分析三大软件产品，软硬件结合增强客户黏性。展望未来，
SEMI预计中国大陆预计将继续领先全球300mm设备支出，2026至2028年间投资总额将达940亿美元，受益于国家政策的持续
推动，后续有望看到设备国产替代进程加速，中科飞测作为量检测赛道核心供应商有望持续受益。
盈利预测与估值
考虑到收入确认节奏的波动，我们下调25-27年收入预测（-26.23%/-23.87%/-9.22%）为20.1/30.0/43.8亿元，因加
大研发及资产减值损失，对应下调公司25-27年归母净利润预测（-26.23%/-23.87%/-9.22%）为1.54/3.92/7.21亿元。可
比公司2026年Wind一致预期PS均值为9.0倍，设备自主可控有望加快，考虑公司所处赛道国产化率低，成长性高，给予公
司2026年15.5倍PS，目标价132.9元（最新股本目标价前值：92.1元，对应15.5倍2025年PS），维持“买入”。
风险提示：全球半导体下行周期，半导体设备需求不及预期，行业竞争加剧。
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2025-11-01│中科飞测(688361)国内量测领先企业，产品持续放量 │平安证券 │增持
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事项：
公司公布2025年三季报，2025年前三季度公司实现营收12.02亿元（47.92%YoY），归属上市公司股东净利润-0.15亿
元（71.67%YoY）。
平安观点：
研发投入持续，产品种类日趋丰富：2025年前三季度公司实现营收12.02亿元（47.92%YoY），归属上市公司股东净利
润-0.15亿元（71.67%YoY）。2025年前三季度整体毛利率和净利率分别是51.97%（4.28pctYoY）和-1.22%（5.17pctYoY）
。公司作为国内高端半导体质量控制设备行业领先企业，为了加快打破国外企业在国内市场的垄断局面，在新产品及新工
艺上保持持续研发投入，2025年前三季度公司研发费用率为37%。公司专注于高端半导体质量控制领域，为半导体行业客
户提供涵盖设备产品、智能软件产品和相关服务的全流程良率管理解决方案：1）在设备产品方面，公司通过在光学检测
技术、大数据检测算法和自动化软件领域的自主研发和不断创新，在多项半导体质量控制设备关键核心技术上达到国际领
先水平，形成了集成电路制造过程中所有关键工艺环节所需的主要种类设备产品组合；2）在智能软件产品方面，公司将
人工智能和大数据技术应用到半导体质量控制数据上，形成了一系列提升高端半导体制造良率的软件产品，这些软件产品
能够在检测和量测设备的基础上进一步为客户在良率管理中赋能，形成完整的质量控制设备和智能软件相结合的良率管理
闭环，为客户实现最大化的质量控制对良率管理的提升效果。
专注于高端半导体质量控制领域，充分受益半导体设备国产化：半导体质量控制贯穿集成电路制造的关键环节，对芯
片生产的良品率的影响至关重要。公司主要产品进展：1）无图形晶圆缺陷检测设备：公司第三代无图形晶圆缺陷检测设
备自2024年通过多家国内头部逻辑及存储客户验证以来，销售规模快速增长，同时第四代产品已出货至国内头部客户产线
验证，进一步巩固该系列产品在国内企业的绝对领先优势，并推动订单规模的持续增长。2）图形晶圆缺陷检测设备：应
用在HBM等新兴先进封装领域的3DAOI设备自2024年通过国内头部客户验证以来，公司该系列产品在国内企业的绝对领先优
势进一步巩固。3）三维形貌量测设备：支持不同制程工艺中的三维形貌测量，设备重复性精度可以满足不同客户需求，
产品广泛应用于国内集成电路前道及先进封装客户。4）明场纳米图形晶圆缺陷检测设备：公司目前已完成适用于逻辑芯
片、存储芯片等应用领域的设备样机研发，正积极开展国内多家主流客户的多种复杂图形工艺样片的验证测试，并小批量
出货到多家国内头部客户产线上进行工艺开发与应用验证工作。5）暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备系列：公司目前已完
成适用于逻辑芯片、存储芯片等应用领域的设备样机研发，正积极开展国内多家主流客户的多种复杂图形工艺样片的验证
测试，并小批量出货到多家国内头部客户产线上进行工艺开发与应用验证工作，目前设备验证按计划进行当中，目前进展
顺利。随着制程越来越先进、工艺环节不断增加，行业发展对工艺控制水平提出了更高的要求，制造过程中检测设备与量
测设备的技术要求及需求量持续提升。公司作为国内领先的半导体量测设备企业，充分受益半导体设备国产化。
投资建议：基于公司财报及订单交付节奏，我们调整公司盈利预测，预计2025-2027年公司实现归母净利润0.87亿元
、2.50亿元、3.98亿元（原值为2.12亿元、3.51亿元、5.01亿元），对应当前股价的市盈率分别为459倍、159倍、100倍
。质量控制设备为集成电路生产过程中的核心设备之一，是保证芯片生产良品率的关键。公司在光学检测技术方面积累深
厚，在国内集成电路制造市场广泛应用，市场认可度稳步提升，维持“推荐”评级。
风险提示：1）下游需求可能不及预期：若整体宏观经济及半导体行业持续波动、产业政策发生不利变化，公司产品
涉及的下游应用需求下降，可能对公司的销售收入和经营业绩产生不利影响。2）市场竞争加剧的风险：如果未来公司技
术迭代创新和产品升级换代未达到预期，难以满足市场需求的最新变化，可能会使得公司在市场竞争中处于不利地位，逐
渐丧失市场竞争力，对公司未来业务发展造成不利影响。3）技术迭代的风险：公司所处的集成电路设计行业具有技术密
集型的特征，市场需求的不断升级、产品技术的持续迭代是行业的发展重要规律。如果未来公司技术迭代创新和产品升级
换代未达到预期，难以满足市场需求的最新变化，可能会使得公司在市场竞争中处于不利地位，逐渐丧失市场竞争力，对
公司未来业务发展造成不利影响。
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2025-10-31│中科飞测(688361)Q3营收快速增长，明／暗场设备验证正常推进 │华西证券 │增持
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事件概述
公司发布2025年三季报。
订单快速确认收入，25Q3营收端延续快速增长
2025Q1-3公司收入12.0亿元，同比+48%，其中Q3为5.0亿元，同比+43%，延续较好增长势头，符合市场预期。营收规
模持续扩张，主要系核心技术突破顺利，在客户、产品覆盖度等全面竞争优势进一步增强，相关订单快速确认收入。截至
2025Q3末，公司存货/合同负债为25.4/5.7亿元，分别同比+63%/-19%，存货保持高速增长，我们判断公司在手订单仍然充
足。展望未来，随着明/暗场在先进客户验证突破在即，看好收入端、新接订单保持快速增长势头。
毛利率稳定+费用率下降，减值&投资收益影响利润端表现
2025Q1-3公司归母净利润-1470万元，亏损同比收窄，其中Q3为369万元，实现扭亏；2025Q1-3扣非归母净利润-1.4亿
元，其中Q3为-2962万元，同比-189%。2025Q3公司净利率/扣非净利率为0.7%/-5.9%，同比3.9pct/-3.0pct，盈利水平有
所承压，具体分析：1）毛利端：25Q3公司毛利率为48.7%，同比-1.0pct，环比2.9pct，毛利率总体稳定，波动推测系产
品确认结构影响；2）费用端：25Q3公司期间费用率48.6%，同比9.0pct，主要系规模效应，其中研发费用率为31%，公司
保持高强度研发投入；3）25Q3公司计提信用减值损失0.3亿元，较24Q3同期0.1亿元大幅提升，影响净利率3.8pct；其他
收益（政府补助为主）影响净利率7.7pct，以上两项是影响盈利水平的主要因素。
公司引领量检测进口替代，为板块投资弹性大标的
1）量/检测设备市场间大&国产化率低，KLA等美企业占据主要市场份额，KLA最新市值已达1600亿美元。公司除六大
类成熟产品外，纳米图形晶圆缺陷检测设备、暗场纳图形晶圆检测设备、关键尺寸量测设备等新产品线目前进展顺利，电
子束关键尺寸
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