研报评级☆ ◇688361 中科飞测 更新日期：2026-09-26◇ 通达信沪深京F10
★本栏包括【1.投资评级统计】【2.盈利预测统计】【3.盈利预测明细】【4.研报摘要】
【5.机构调研】
【1.投资评级统计】最新评级日期:2026-09-04
时间段 买入评级次数 增持评级次数 中性评级次数 减持评级次数 卖出评级次数 评级次数合计
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1月内 2 2 0 0 0 4
2月内 2 2 0 0 0 4
3月内 2 2 0 0 0 4
6月内 4 5 0 0 0 9
1年内 4 5 0 0 0 9
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【2.盈利预测统计】(近6个月)
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│财务指标 │ 2023年│ 2024年│ 2025年│2026年预测│2027年预测│2028年预测│
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│每股收益(元) │ 0.44│ -0.04│ 0.17│ 0.87│ 1.86│ 2.93│
│每股净资产(元) │ 7.53│ 7.62│ 14.62│ 15.45│ 17.29│ 20.19│
│净资产收益率% │ 5.82│ -0.47│ 1.15│ 5.65│ 10.85│ 14.72│
│归母净利润(百万元) │ 140.34│ -11.53│ 58.65│ 305.01│ 652.09│ 1027.41│
│营业收入(百万元) │ 890.90│ 1380.38│ 2053.30│ 3057.22│ 4590.56│ 6629.78│
│营业利润(百万元) │ 133.90│ -6.61│ 44.50│ 282.46│ 643.26│ 1012.00│
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【3.盈利预测明细】(近6个月)
日期 评级 评级变化 目标价 2026EPS 2027EPS 2028EPS 研究机构
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2026-09-04 买入 维持 --- 0.41 1.81 3.05 华创证券
2026-08-31 增持 维持 --- 0.56 1.83 2.85 平安证券
2026-08-30 买入 维持 420.79 0.72 1.37 2.34 华泰证券
2026-08-29 增持 维持 --- 0.68 1.99 3.06 东吴证券
2026-05-04 买入 维持 236.2 1.06 1.94 3.05 华创证券
2026-05-01 增持 维持 --- 1.05 1.96 2.98 东吴证券
2026-04-30 增持 维持 --- 1.12 1.78 2.76 光大证券
2026-04-26 买入 维持 210.96 1.14 2.01 3.15 华泰证券
2026-04-25 增持 维持 --- 1.08 2.03 3.11 华西证券
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【4.研报摘要】(近6个月)
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2026-09-04│中科飞测(688361)2026年半年报点评：Q2营收环比增长37.62%，明、暗场设备│华创证券 │买入
│实现批量销售 │ │
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事项：
2026年8月26日，公司发布2026年半年度报告：
1）2026H1：营业收入9.41亿元，同比+34.01%；毛利率46.12%，同比-8.19pct；归母净利润-1.27亿元，上年同期为-
0.18亿元；扣非归母净利润-1.92亿元，上年同期为-1.10亿元；
2）2026Q2：营业收入5.45亿元，同比/环比+33.57%/+37.62%；归母/扣非归母净利润-0.59/-0.76亿元，环比分别减
亏0.09/0.40亿元。
评论：
Q2营收环比增长37.62%，规模效应推动扣非亏损收窄。Q2公司实现营收5.45亿元，同比+33.57%、环比+37.62%，收入
延续快速增长；扣非归母净利润为-0.76亿元，亏损环比收窄34.91%，收入放量对期间费用的摊薄开始体现。Q2毛利率为4
4.92%，同比-6.67pct、环比-2.85pct，主要受到产品销售结构波动及新产品推广初期定价策略影响。公司继续保持较高
研发投入，Q2研发费用同比+19.95%至1.98亿元，但研发费用率由Q1的46.26%降至36.33%，四项期间费用率由74.03%降至5
6.52%。
合同负债较年初+66%至9.40亿元续创新高，存货备货34亿元采购备货全面加速。26H1末合同负债9.40亿元，较年初5.
65亿元增长66.34%，主要系业务规模增长，合同预收账款增加；存货34.01亿元，较年初+26.0%，预付款项较年初+91.8%
，采购备货全面加速。我们认为三项指标或共振指向在手订单饱满、下半年收入确认有充足保障。海外拓展亦获突破性进
展：无图形检测设备已实现对海外先进封装客户的销售并出货海外先进制程客户开展产线验证，图形晶圆检测设备已通过
多家海外先进封装客户产线验证并实现批量销售。
明、暗场设备实现批量销售，行业景气上行强化成长确定性。H1公司面向成熟制程的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备
已通过国内客户产线验证并实现批量销售，先进制程产品持续推进客户验证并取得部分订单；暗场纳米图形晶圆缺陷检测
设备已通过多家国内逻辑、存储及先进封装客户验证并实现批量销售，面向尖端制程的新一代样机亦已完成开发。行业层
面，据SEMI预测，受AI基础设施投资加速及HBM相关投资拉动，2026年全球半导体设备市场规模同比增长超23%至1,659亿
美元；据YOLE统计，中国大陆检测量测设备市场预计2026年增长35.9%至60.5亿美元，行业增速显著上修，公司作为国内
全品类平台型龙头核心受益。
投资建议：下游晶圆厂积极扩产，量检测设备国产替代空间广阔，公司作为国内量检测设备领军厂商有望深度受益。
我们调整公司2026-2028年营业收入预测为30.82/46.98/70.07亿元（前值为31.91/46.42/66.45亿元），考虑到公司新产
品验证导入与海外市场拓展仍处高投入阶段，研发费用维持高强度增长,叠加新品放量初期收入结构变化致毛利率承压,将
2026-2028年归母净利润预期调整为1.46/6.39/10.73亿元（前值为3.7/6.8/10.67亿元），维持“强推”评级。
风险提示：新产品研发不及预期；行业竞争加剧；国际贸易形势变化；下游晶圆厂扩产不及预期。
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2026-08-31│中科飞测(688361)研发投入和市场投入上持续加大，受益设备国产化 │平安证券 │增持
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事项：
公司公布2026年半年报，2026年上半年公司实现营收9.41亿元（34.01%YoY），归属上市公司股东净利润-1.27亿元（
-594.32%YoY）。
平安观点：
研发投入和市场投入上持续加大，提供全面覆盖的检测和量测设备供应保障：2026年上半年公司实现营收9.41亿元（
34.01%YoY），归属上市公司股东净利润-1.27亿元（-594.32%YoY）。2026年上半年公司毛利率和净利率分别是46.12%（2
025H1为54.31%）和-13.54%（2025H1为-2.61%）。2026上半年为支撑公司长期可持续高质量发展、持续攻坚关键核心技术
以及进一步发掘客户需求，公司在研发投入和市场投入上持续加大，整体人员数量持续扩充，所产生的支出抵消了本期业
绩增长带来的影响。同时，受公司产品销售结构波动以及新产品推广初期定价策略的影响，导致26上半年内综合毛利率同
比下降，影响了公司的短期盈利水平。在设备产品方面，公司凭借过往在光学检测技术、大数据检测算法和自动化软件领
域的自主研发和不断创新，在多项半导体质量控制设备关键核心技术上达到国际领先水平，形成了集成电路制造过程中所
有关键工艺环节所需的主要种类设备产品组合，使得公司能够为不同类型的集成电路客户提供全面覆盖的检测和量测设备
供应保障，支持客户的量产工艺需求和未来工艺研发需求。
国内半导体质量控制设备领域的先行者，稳步推进各系列设备产业化进程：作为国内半导体质量控制设备领域的先行
者，公司能够为半导体行业客户提供涵盖三大核心技术路线的十三大系列设备产品、智能软件产品和相关服务的全流程良
率管理解决方案。其中明场及暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备等十一大系列设备已经批量量产并在国内头部客户产线应用
，技术指标全面满足国内主流客户工艺需求，市占率稳步快速增长；晶圆平整度量测设备已出货国内头部HBM客户开展产
线工艺验证和应用开发；电子束关键尺寸量测设备已完成样机研发，正在进行客户样片的工艺验证和应用开发中。软件产
品方面，三大系列智能软件已全部应用在国内头部客户，并不断提高在不同应用领域的覆盖度，结合质量控制设备产品组
合，使得客户能够准确测量并且集中管理和分析芯片制造过程中产生的所有检测、量测等良率相关数据，有效地提升半导
体制造良率和产品性能公司坚持自主研发和自主创新原则，将核心技术能力的持续提升作为自身发展的重要战略。2026年
1-6月公司研发投入达38,117.78万元，较2025年1-6月同比增长33.55%。2026上半年公司在持续保持高水平的研发投入进
一步巩固和提升公司核心技术实力的同时，继续发挥公司在销售和客户服务的竞争优势，为客户提供全方位的产品和服务
解决方案，同时紧跟客户的关键工艺技术创新所带来的检测和量测需求，进一步提高产品的先进性，加深与客户合作的紧
密度和深度。
投资建议：2025年全球半导体设备销售额达到1,347亿美元。得益于AI基础设施投资的加速，以及支持更高计算密度
、HBM相关投资和日益复杂的器件架构所需的前沿逻辑、先进存储和先进封装投资的增加，SEMI预测2026年全球半导体设
备市场规模同比增长超过23%，达到1659亿美元，并预计在2027年、2028年继续攀升至2012亿美元和2295亿美元。基于公
司财报及订单交付节奏，我们调整公司26/27年盈利预测，新增28年盈利预测，预计2026-2028年公司实现归母净利润1.98
亿元、6.46亿元、10.05亿元（26/27年原值为2.50亿元、3.98亿元），对应当前股价的市盈率分别为644倍、198倍、127
倍。在设备产品方面，公司凭借过往在光学检测技术、大数据检测算法和自动化软件领域的自主研发和不断创新，在多项
半导体质量控制设备关键核心技术上达到国际领先水平，形成了集成电路制造过程中所有关键工艺环节所需的主要种类设
备产品组合，维持公司“推荐”评级。
风险提示：1）下游需求可能不及预期：若整体宏观经济及半导体行业持续波动、产业政策发生不利变化，公司产品
涉及的下游应用需求下降，可能对公司的销售收入和经营业绩产生不利影响。2）市场竞争加剧的风险：如果未来公司技
术迭代创新和产品升级换代未达到预期，难以满足市场需求的最新变化，可能会使得公司在市场竞争中处于不利地位，逐
渐丧失市场竞争力，对公司未来业务发展造成不利影响。3）技术迭代的风险：公司所处的集成电路设计行业具有技术密
集型的特征，市场需求的不断升级、产品技术的持续迭代是行业的发展重要规律。如果未来公司技术迭代创新和产品升级
换代未达到预期，难以满足市场需求的最新变化，可能会使得公司在市场竞争中处于不利地位，逐渐丧失市场竞争力，对
公司未来业务发展造成不利影响。
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2026-08-30│中科飞测(688361)收入高增，明、暗场实现批量销售 │华泰证券 │买入
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中科飞测发布半年报，2026年H1实现营收9.41亿元（yoy+34.01%），归母净利-1.27亿元（yoy-594.32%），扣非净利
-1.92亿元（yoy-73.79%）。其中Q2实现营收5.45亿元（yoy+33.57%，qoq+37.62%），归母净利-5947.57万元，1H26毛利
率46.12%（yoy-8.19pct）。公司为国内量检测设备核心供应商，产品覆盖无图形、图形晶圆缺陷检测及量测设备，并拥
有良率管理、缺陷自动分类、光刻套刻分析三大软件产品，软硬件结合增强客户黏性。展望未来，公司有望持续受益于先
进制程和存储扩产，维持“买入”。
1H26：营收持续增长，研发与市场投入导致利润短期承压
1H26公司营收9.41亿元（yoy+34.01%），其中检测设备收入6.41亿元（yoy+50.46%），毛利率47.97%；量测设备收入
2.66亿元（yoy+3.89%），毛利率39.14%。1H26毛利率46.12%（yoy-8.19pct），归母净利-1.27亿元（yoy-594.32%），毛
利率下滑主要受产品结构以及新产品推广期定价策略影响。1H26研发投入3.81亿元（yoy+33.55%），研发费用率40.51%（
yoy-0.14pct），公司短期利润承压。Q2营收5.45亿元（yoy+33.57%，qoq+37.62%），归母净利-0.59亿元，环比亏损收窄
，毛利率44.92%（yoy-6.67pct，qoq-2.85pct）。
设备加速向海外拓展，明、暗场设备实现批量销售
公司无图形、图形晶圆缺陷检测设备和三维形貌、薄膜膜厚量测设备加速向海外客户拓展，已实现对海外先进封装客
户的销售。其中无图形晶圆缺陷检测设备、薄膜设备已出货至海外先进制程客户开展产线验证。套刻精度量测设备第四代
产品已出货多家国内头部客户开展产线验证，光学衍射套刻精度量测设备验证进展顺利。公司明场纳米图形晶圆缺陷检测
设备成熟制程产品已实现批量销售，先进制程产品已获得部分客户订单；暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备已实现批量销售
，前沿工艺产品已完成样机研发；光学关键尺寸量测设备第二代产品已小批量出货至国内多家头部客户产线验证。
公司提供“光学+电子束+X光”一站式良率管理解决方案
公司在全面覆盖光学技术的基础上，进一步拓展至电子束以及X光技术领域。公司能够为先进逻辑、先进存储以及HBM
2.5D/3D封装等前沿领域客户提供一站式良率管理解决方案。十三大系列设备面向全部种类集成电路客户需求。在电子束
类设备领域，电子束关键尺寸量测设备已完成样机研发，正在进行客户样片的工艺验证和应用开发中。在X光类设备领域
，目前高深宽比刻蚀结构量测设备、硅通孔铜填充空隙量测设备已通过国内头部存储客户产线验证。公司开发的三大系列
智能软件已全部应用在国内头部客户，并不断提高在不同应用领域的覆盖度。
盈利预测与估值
设备公司收入确认节奏呈现前低后高趋势，但费用分布相对均匀，我们预计公司下半年收入有望大幅增长，利润有望
扭亏为盈。公司产品快速导入，我们上调2026/27/28年营业收入预测0.00%/10.36%/17.41%至30.78/49.38/76.33亿元，但
考虑到毛利率波动影响，我们下调公司26-28年毛利率假设2.15pct/1.15pct/1.05pct，对应下修2026/27/28年归母净利润
（-36.25%/-31.28%/-25.40%）至2.54/4.84/8.23亿元。可比公司2027年Wind一致预期PS均值为15.8倍。考虑量检测国产
化率低且公司切入电子束及X光检测市场，看好公司成长性，给予公司2027年30倍PS，目标价420.79元（目标价前值：210
.96元，对应24倍2026年PS），维持“买入”。
风险提示：全球半导体下行周期，半导体设备需求不及预期，行业竞争加剧。
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2026-08-29│中科飞测(688361)2026年中报点评：短期盈利承压，明暗场已实现批量销售 │东吴证券 │增持
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检测业务高速增长，盈利能力阶段性承压：2026H1公司营业收入为9.41亿元，同比+34.0%，主要系公司在突破核心技
术、推进产业化和迭代升级各系列产品的过程中取得重要成果，其中检测设备收入6.41亿元，同比+50.5%，占比68.2%，
量测设备收入2.66亿元，同比+3.9%，占比28.2%，服务及其他收入0.33亿元，同比+65.5%，占比3.6%；归母净利润为-1.2
7亿元，同比亏损扩大，主要系公司研发投入和市场投入持续加大、人员数量持续扩充、产品销售结构波动以及新产品推
广导致综合毛利率同比下降；扣非归母净利润为-1.92亿元，同比亏损扩大。Q2单季营业收入5.45亿元，同比+33.6%，环
比+37.6%；归母净利润-0.59亿元，同比亏损扩大，环比减亏；扣非归母净利润-0.76亿元，同比亏损扩大，环比减亏。
毛利率同比回落，费用管控整体稳定：2026H1，公司毛利率46.1%，同比8.2pct，其中检测设备毛利率48.0%，同比-1
4.2pct，量测设备毛利率39.1%，同比-2.1pct，服务及其他毛利率66.9%，同比+13.9pct；销售净利率为-13.5%，同比-10
.9pct；期间费用率为63.9%，同比-0.4pct，其中销售费用率为10.0%，同比+1.5pct，管理费用率为12.9%，同比-0.4pct
，研发费用率40.5%，同比-0.1pct，财务费用率为0.5%，同比-1.3pct。Q2单季度毛利率为44.9%，同比-6.7pct，环比-2.
9pct；销售净利率-10.9%，同比-10.1pct，环比+6.3pct。
合同负债与存货高增，经营现金流同比改善：截至2026H1，公司合同负债为9.40亿元，同比+54.8%，主要系本期业务
规模增长，合同预收账款增加；存货为34.0亿元，同比+49.8%。2026H1，公司经营活动净现金流为-1.90亿元，同比净流
出收窄，主要系公司加大合同收款力度，经营性现金流入同比增幅高于现金流出增幅，其中2026Q2经营活动净现金流为-1
.70亿元，同比净流出收窄，环比净流出加大。2026H1，公司研发投入3.81亿元，同比+33.6%，研发投入占比40.5%，同比
-0.1pct。
检测量测设备多点突破，先进制程与海外市场加速拓展：公司已形成“光学+电子束+X光”三大技术路线，覆盖先进
逻辑、先进存储及HBM/2.5D/3D先进封装等前沿领域，2026H1多款新品进入批量销售或头部客户验证阶段。（1）检测设备
：①成熟产品加速海外突破：无图形晶圆缺陷检测设备已实现海外先进封装客户销售，并出货海外先进制程客户验证；图
形晶圆缺陷检测设备已通过多家海外先进封装客户验证并实现批量销售。②纳米图形检测持续向先进制程突破：明场设备
成熟制程产品已实现批量销售，先进制程产品在国内头部逻辑、存储客户验证顺利并获得部分订单；暗场设备已在国内头
部逻辑、存储及先进封装客户实现批量销售，出货及订单快速增长。（2）量测设备：①光学量测加速放量及海外拓展：
三维形貌量测设备已通过多家海外先进封装客户验证并实现批量销售，膜厚量测设备实现海外先进封装客户销售并进入海
外先进制程客户验证；第二代光学关键尺寸量测设备实现小批量出货。②电子束/X光新品打开先进制程与HBM增量：电子
束关键尺寸量测设备完成样机研发并推进头部客户验证；高深宽比刻蚀结构量测及硅通孔铜填充空隙量测设备已通过国内
头部存储客户产线验证。（3）良率管理软件：三大系列智能软件已全部应用于国内头部客户，与检测、量测设备协同形
成全流程良率管理闭环。
盈利预测与投资评级：考虑到产品放量仍需一定周期，我们下调公司2026年归母净利润为2.4（原值3.7），上调公司
2027/2028年归母净利润为7.0（原值6.9）/10.8（原值10.4）亿元，当前市值对应2026-2028年动态PE分别为533/182/119
X，维持“增持”评级。
风险提示：下游需求波动风险、市场竞争加剧风险。
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2026-05-04│中科飞测(688361)2025年报及2026年一季报点评：下游扩产带动合同负债持续│华创证券 │买入
│高增，公司全品类布局长期空间广阔 │ │
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事项：
2026年4月25日，公司发布2025年报；2026年4月29日，公司发布2026年一季报：
1）2025年公司实现营收20.53亿元，同比+48.75%；毛利率49.93%，同比+1.03pct；归母净利润0.59亿元，扭亏为盈
；扣非归母净利润-1.23亿元，同比减亏1.25%；
2）26Q1公司实现营收3.96亿元，同比+34.63%/环比-53.50%；毛利率47.77%，同比-10.31pct/环比+0.73pct；归母净
利润-0.68亿元，同比-354.28%/环比-192.65%；扣非归母净利润-1.16亿元，同比-168.55%/环比-767.30%。
评论：
Q1收入保持同比增长，研发高投入和产品结构波动导致短期利润承压。26Q1收入同比+34.63%延续同比增长趋势，环
比-53.50%属设备行业典型的Q4冲量后Q1回落的季节性特征；毛利率47.77%同比下降10.31pct，主要系一季度营收规模较
小情况下产品结构波动所致，环比25Q4毛利率基本持平。亏损同比扩大的核心原因是研发投入大幅增加——26Q1研发费用
1.83亿元（同比+52.2%），研发费用率46.26%（同比+5.35pct），系为加快打破国外企业在国内市场的垄断局面，进一步
加大新产品及现有产品向更前沿工艺的迭代升级的战略性投入。
Q1合同负债环比大增56%至8.81亿元，在手订单饱满度显著提升。26Q1末合同负债8.81亿元，较25Q4末的5.65亿元环
比增长55.8%，反映下游晶圆厂扩产及先进工艺升级带动的检测量测设备采购需求持续旺盛。存货30.02亿元（环比+11.2%
），备货同步加速，指向后续收入确认有充足保障。2025全年来看，检测设备收入13.64亿元（同比+38.52%），量测设备
收入6.23亿元（同比+72.71%），量测设备增速显著快于检测设备，软件产品首次贡献收入0.13亿元。境外收入同比增长8
31.48%至0.55亿元，海外拓展取得突破性进展。
下游扩产+检测量测需求随制程升级倍增，公司全品类布局卡位国产替代核心赛道。随着制程向更先进节点推进、3DN
AND层数增加及HBM封装复杂度提升，单位产能所需检测量测步骤持续增加，根据YOLE数据，2025年全球检测量测设备市场
规模已达190.9亿美元，其中中国大陆市场44.5亿美元，而该领域仍由KLA等海外厂商主导。在贸易摩擦与供应链安全诉求
持续强化背景下，国产替代正迎来加速窗口。公司2025年在全面覆盖光学检测量测设备的基础上，正式推出电子束及X光
新产品，形成"光学+电子束+X光"三大技术路线一站式良率管理方案，是国内稀缺的全品类覆盖的平台型标的，凭借区位
优势、定制化服务及供应稳定性，正处于国产化红利的核心受益位置，市占率有望持续提升。
投资建议：下游晶圆厂积极扩产，量检测设备国产替代空间广阔，公司作为国内量检测设备领军厂商有望深度受益。
我们维持公司2026-2027年营业收入预测为31.91/46.42亿元，新增2028年营业收入预测为66.45亿元，考虑到规模效应释
放及产品结构优化，将2026-2027年归母净利润预期由3.62/5.92亿元上调为3.70/6.80亿元，新增2028年归母净利润预测
为10.67亿元。参考可比公司估值及公司业绩的成长性，给予公司2026年0.57倍PSG，对应目标价为236.2元，维持“强推
”评级。
风险提示：新产品研发不及预期；行业竞争加剧；国际贸易形势变化；下游晶圆厂扩产不及预期。
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2026-05-01│中科飞测(688361)2025年报&2026一季报点评：营收持续增长，先进制程量检 │东吴证券 │增持
│测设备验证进展顺利 │ │
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2025年营收高增，净利润扭亏为盈：2025年公司实现营收20.53亿元，同比+48.75%，其中检测设备营收13.64亿元，
同比+38.52%，量测设备营收6.23亿元，同比+72.71%，软件营收0.13亿元；归母净利润为0.59亿元，扭亏为盈，主要受益
于营收规模增长、研发投入占比下降带动盈利水平提升，扣非净利润为-1.23亿元，同比-1.25%。2026Q1单季营收为3.96
亿元，同比+34.63%，环比-53.5%；归母净利润为-0.68亿元，同比亏损幅度扩大，环比转负；扣非归母净利润为-1.16亿
元，同比亏损幅度扩大，环比转负，我们认为随着公司先进设备批量交付，业绩将充分释放。
25年盈利能力改善，26Q1营收结构变动影响毛利率同比：2025年公司毛利率为49.93%，同比+1.03pct，其中检测设备
毛利率为53.29%，同比+0.77pct，量测设备毛利率为41.91%，同比+4.38pct，软件毛利率为54.59%；销售净利率为2.86%
，同比+3.69pct；期间费用率为50.55%，同比-4.95pct，其中销售/管理/研发/财务费用率分别为7.40%/10.33%/31.95%/0
.87%，同比-0.3/-1.5/-4.1/+0.9pct。研发投入维持高位但占营业收入比例下降，2025年研发费用达6.56亿元，同比+31.
95%。2026Q1单季毛利率为47.77%，同比10.31pct，环比+0.73pct，主要系公司销售结构季度波动结合一季度营收规模较
小影响各盈利产品占比，导致综合毛利率同比波动；销售净利率为17.16%，同比-12.07pct，环比-25.77pct。
合同负债快速增长，经营活动现金净流出同比收窄：截至2026Q1末公司合同负债为8.81亿元，与2025年末比+55.8%，
主要系订单规模持续增长；存货为30.02亿元，与2025年末比+11.2%；2026Q1公司经营活动净现金流为-0.2亿元，同比环
比净流出均收窄。
平台化布局产品线持续丰富，更先进制程研发验证进展顺利:1)无图形晶圆检测设备:量产型号已覆盖1Xnm及以上工艺
节点。2)图形缺陷检测设备:广泛应用于逻辑、存储、先进封装等领域，其中用于具备三维检测功能的设备与HBM等先进封
装的3DAOI设备通过国内头部客户验证，在国内企业的绝对领先优势进一步巩固。2Xnm明场纳米图形晶圆缺陷检测设备、
暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备的研发进展顺利。3)三维形貌量测设备：支持2Xnm及以上制程，应用在HBM等新兴先进封
装领域的三维形貌量测设备也通过多家国内头部客户验证，在国内企业的绝对领先优势进一步巩固。4)薄膜膜厚量测设备
：已覆盖国内先进工艺和成熟工艺的主要集成电路客户，金属薄膜膜厚量测设备为新增长点，订单量持续稳步增长，市占
率不断提升，测量精度更高的新一代介质薄膜膜厚量测设备已通过多家国内主流客户验证。5)套刻精度量测设备：90nm及
以上工艺节点的设备已实现批量销售，2Xnm设备已通过国内头部客户产线验证，获得国内领先客户订单。6)明场纳米图形
晶圆缺陷检测设备系列在头部客户验证，进展顺利。暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备已通过多家国内头部逻辑及存储客户
产线验证并实现批量销售；7)关键尺寸量测设备：2Xnm产品研发进展顺利，已完成客户端验证，实现对国内主流客户销售
。8)良率管理、缺陷分类、光刻套刻分析系统已陆续交付客户。
盈利预测与投资评级：考虑到下游行业高景气，公司新产品放量，我们上调公司2026/2027年归母净利润为3.7/6.9（
原值3.6/5.0）亿，预计公司2028年归母净利润为10.4亿元，当前市值对应2026-2028年动态PE分别为178/96/63X，维持“
增持”评级
风险提示：晶圆厂资本开支不及预期，设备研发验证进度不及预期。
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2026-04-30│中科飞测(688361)2025年年报及2026年一季报点评：25年营收与盈利能力改善│光大证券 │增持
│，持续加强前沿产品研发提升竞争力 │ │
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事件：公司发布2025年年报及2026年一季报。2025年，公司实现营业收入20.5亿元，同比增长48.8%，归母净利润0.6
亿元，同比扭亏为盈，扣非归母净利润-1.2亿元，同比少亏1.3%。2026年Q1，公司实现营收4.0亿元，同比增长34.6%，归
母净利润-0.7亿元，亏损同比扩大354.3%。
点评：25年营收保持高速增长，期间费率改善明显：2025年，公司营收同比大幅增长，主要得益于公司在核心技术、
客户资源、产品覆盖广度及深度等方面的全面竞争优势进一步增强带来订单增长；受营收增长带来的规模效应以及产品结
算结构等影响，公司综合毛利率同比稳步提升1.0pct至49.9%，其中量测设备结算毛利率同比提升明显，同时，期间费率
明显优化，期间费率同比下降5.0pct至50.5%，其中研发费率同比下降4.1pct至32.0%；归母净利润和扣非归母净利润同比
表现皆改善，发展趋势向好，但扣非归母净利润同比仍未扭亏，盈利能力仍有提升空间。2026年Q1，公司营收同比延续快
速增长趋势，单季度归母净利润环比由盈转亏，主要因公司人员扩张，经营投入增加，短期各项期间费用同比有所上升，
营收增长反映相对滞后，同时，因不同盈利水平的产品结算结构短期波动影响，综合毛利率同比下降10.3pct至47.8%。
完善产品矩阵，拓展市场空间，新产品验证进展顺利：2025年，分产品看，公司检测设备实现营收13.6亿元，同比增
长38.5%，毛利率53.3%，同比提升0.8pct；量测设备实现营收6.2亿元，同比增长72.7%，毛利率41.9%，同比提升4.4pct
；公司在全面覆盖晶圆制造光学检测与量测设备种类的基础上，进一步推出多款基于电子束及X光检测技术的新产品，形
成十三大系列设备的产品矩阵，拓宽了公司的产品市场空间，能够为先进逻辑、先进存储以及HBM2.5D/3D封装等前沿领域
客户提供更为全面的一站式良率管理解决方案，进一步提升市场竞争力；公司的暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备等新产品
已通过多家国内头部逻辑及存储客户产线验证并实现批量销售，第四代无图形晶圆缺陷检测设备、第三代套刻精度量测设
备等现有系列升级迭代产品收入贡献亦增长明显。
盈利预测、估值与评级：考虑到公司拓宽产品线，新设备验证进展顺利，我们上调公司2026-2027年归母净利润预测
为3.9/6.2亿元（分别上调7.8%、8.4%），新增公司2028年归母净利润预测为9.7亿元，公司始终专注于高端半导体质量控
制领域，随着新产品及现有产品升级迭代产品逐步验证通过，收入贡献不断增长，未来经营规模及盈利能力持续向好，维
持“增持”评级。
风险提示：新产品验证进度不及预期，下游客户需求放缓、晶圆厂资本开支不及预期等。
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2026-04-26│中科飞测(688361)光学+电子束+X光一站式布局领先 │华泰证券 │买入
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中科飞测发布年报，2025年实现营收20.53亿元（yoy+48.75%），归母净利5865.26万元，扭亏为盈。其中Q4实现营收
8.52亿元（yoy+49.94%，qoq+70.47%），归母净利7335.10万元。公司为先进逻辑、先进存储以及HBM2.5D/3D封装等前沿
领域客户提供覆盖“光学+电子束+X光”三大核心技术路线的一站式良率管理解决方案，同时拥有良率管理、缺陷自动分
类、光刻套刻分析三大软件产品形成完整的质量控制设备和智能软件相结合的良率管理闭环。展望2026年，我们有望看到
国内先进制程及存储积极扩产，中科飞测作为量检测赛道核心供应商有望持续受益，维持“买入”评级。
25全年回顾：营收高增，毛利率稳步向好，利润扭亏为盈
25年公司营收20.53亿元（yoy+48.75%），综合毛利率49.93%（yoy+1.03pct）。暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备、第
四代无图形晶圆缺陷检测设备、第三代套刻精度量测设备等升级迭代贡献增长。检测设备营收13.64亿元（yoy+38.52%）
，占比66.43%，毛利率53.29%（yoy+0.77pct）；量测设备营收6.23亿元（yoy+72.71%），占比30.36%，毛利率41.91%（y
oy+4.38pct）；软件营收0.13亿元，占比0.61%，毛利率54.59%。25年公司研发费用率31.95%（yoy-4.12pct），归母净利
润0.59亿元，实现扭亏为盈。期末合同负债5.65亿元，存货26.99亿元，订单持续增长。
覆盖“光学+电子束+X光”三大技术路线，软件应用进展顺利
公司十三大系列设备涵盖光学、电子束以及X光等多种类设备，光学类八大系列设备已经批量量产，产品市占率稳步
快速增长；明场纳米图形晶圆缺陷检测设备已批量出货至多家头部客户开展产线工艺验证和应用开发，晶圆平整度量测设
备已出货头部HBM客户开展产线工艺验证和应用开发。电子束关键尺寸量测设备已完成样机研发，正在进行客户样片的工
艺验证和应用开发。X光类设备目前高深宽比刻蚀结构量测设备已通过国内头部存储客户验证；硅通孔铜填充空隙量测设
备已出货头部存储客户进行工艺验证和应用开发。公司开发的三大系列智能软件已全部应用在国内头部客户。
明暗场纳米图形晶圆缺陷检测进展顺利，电子束/X光开拓新市场
公司暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备已通过多家国内头部逻辑及存储客户产线验证并实现批量销售，出货机台数量快
速增长，明场设备目前小批量出货到多家国内头部客户产线上进行工艺开发与应用验证工作。2025年，公司正式推出多款
基于电子束及X光检测技术的新产品，构建“光学+电子束+X光”三大技术路线一站式解决方案，同时拥有良率管理、缺陷
自动分类、光刻套刻分析三大软件产品，软硬件结合增强客户黏性。根据YOLE数据，2025年中国大陆半导体量检测设备市
场规模达到44.5亿美元，后续有望看到设备国产替代进程加速，中科飞测作为核心国产供应商有望持续受益。
盈利预测与估值
考虑收入确认节奏的波动，我们调整26-27年收入预测（2.5%/2.1%）为30.8/44.7亿元，对应调整公司26-27年归母净
利润预测（1.7%/-2.4%）为3.98/7.04亿元。下游芯片制造商加速扩产拉动半导体设备高景气，近期板块估值整体上升，
可比公司2026年Wind一致预期PS均值为12.4倍。考虑公司所处赛道国产化率低，同时公司切入电子束及X光检测设备进一
步扩展市场空间，看好公司成长性，给予公司2026年24倍PS，目标价210.96元（目标价前值：132.9元，对应15.5倍2026
年PS），维持“买入”。
风险提示：全球半导体下行周期，半导体设备需求不及预期，行业竞争加剧。
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2026-04-25│中科飞测(688361)2025年营收兑现高增，电子束等新品持续丰富产品线 │华西证券 │增持
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事件概述
公司发布2025年报。
传统优势稳固+新品加速验证，2025年营收兑现高增
2025年公司收入20.53亿元，同比+48.75%，其中Q4为8.52亿元，同比+49.94%，符合指引。分产品看：1）检测设备：
收入13.64亿元，同比+38.52%，其中无图形、图形晶圆缺陷等在国内企业保持绝对优势，销售持续快速增长，而报告期内
暗场晶圆缺陷检测设备实现批量销售；2）量测设备：收入6.23亿元，同比+72.71%，其中套刻、三维形貌保持绝对优势，
OCD、膜厚等市占率不断提升。截至2025年末，公司存货/合同负债为26.99/5.65亿元，同比+54.50%/-10.14%，我们推测
公司新接订单高增，订单交付加快，后续随着明场、OCD、电子束等新品持续突破，看好公司收入加速增长。
规模效应逐步显现，盈利拐点已经出现
2025年公司归母/扣非净利润为0.59/-1.23亿元，归母净利润实现扭亏、扣非归母净利润同比增长1.25%，公司盈利水
平有所改善。其中Q4归母/扣非归母净利润0.73/0.17亿元，同比+81.74%/+1248%，符合指引。
2025年公司销售净利率为2.86%，同比+3.69pct；Q4净利率为8.61%，同比+1.5pct，具体来看：1）毛利端：2025年毛
利率为49.93%，同比+1.03pct，其中检测设备/量测设备毛利率53.29%/41.91%，同比+0.77pct/+4.38pct，其中量测设备
毛利率提升明显，推测系先进制程占比提升；2）费用端：2025年期间费用率为50.55%，同比-4.95pct，其中研发费用率
同比-4.12pct，主要系规模效应。2025年研发费用高达6.56亿元，占营收比重高达31.95%，仍显著高于行业平均水平；3
）公司计提信用和资产减值损失-1.2亿元，较去年同期损失0.66亿元，明显压制利润表现。
明暗场取得积极进展，光学+电子束+X光三大技术全面覆盖
1）公司原先9大系列设备继续稳固竞争优势，其中市场最关注的暗场检测设备通过验证并实现批量销售，明场检测设
备已批量出货至多家国内头部客户开展产线工艺验证和应用开发。2025年公司新增电子束CD-SEM、高深宽比刻蚀结构量测
设备（X光）、硅通孔铜填充空隙量测设备（X光）、晶圆平整度量测设备，已出货至头部存储客户验证，其中高深宽比刻
蚀结构量测设备通过存储客户验证，形成“光学+电子束+X光”一站式方案能力，产品覆盖度及深度全面提升；2）量检测
环节国产化率仅10%，为最急迫环节。2025年公司定增落地，上海及深圳募投项目稳步推进，持续扩充先进产能，进一步
夯实公司竞争力，引领国产替代加速。
投资建议
考虑研发投入等加大，我们调整2026-2027年公司营收预测为30.73和44.05亿元（原值为30.78和44.21亿元），分别
同比+50%、+43%，同时新增2028年营收预测为61.67亿元，同比+40%；调整2026-2027年归母净利润预测为3.79和7.09亿元
（原值为6.18和8.54亿元），分别同比+546%、+87%，同时新增2028年归母净利润预测为10.87亿元，同比+53%；对应2026
-2027年EPS预测为1.08和2.03元（原值为1.77和2.44元），新增2028年EPS预测为3.11元。2026/4/24日股价167.62元对应
PE分别为155、83和54倍，维持“增持”评级。
风险提示
新品拓展不及预期、下游客户扩产不及预期等。
【5.机构调研】(近6个月)
参与调研机构：42家
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2026-08-31│中科飞测(688361)2026年8月31日-9月10日投资者关系活动主要内容
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关于2026年上半年收入和订单构成情况。
答：
2026年上半年，公司收入及订单结构整体正在发生积极变化：
产品结构方面，新产品暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备自2025年末以来，持续通过多家国内头部逻辑、存储以及先进
封装客户验证并实现销售，成为上半年收入以及订单的重要增长引擎，成为订单结构中占比最大的产品；另外面向先进制
程的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备获得头部客户的部分订单，其他系列产品订单占比被不同程度稀释。
客户结构方面，受2025年HBM、2.5D/3D封装订单集中确认收入影响，先进封装收入占比阶段性超过35%；订单方面，
前道制程在订单结构中占比超过80%，其中存储占比显著提升，全年前道制程的收入占比预计逐步回升至正常水平。
工艺节点方面，先进制程收入占比约60%，在订单结构中占比超过了80%，未来先进制程的收入贡献有望进一步增长。
关于新产品验证进展。
答：
公司持续推进新产品的研发与产业化，目前公司已推出涵盖光学、电子束、X光三大核心技术的十三大系列设备，覆
盖半导体量检测设备市场容量的70%以上，其中十一大系列设备已通过国内头部客户产线验证并实现销售。上半年面向成
熟制程的明场设备、基于X光技术的硅通孔铜填充空隙量测设备已通过国内头部客户验证，面向先进制程的明场纳米图形
晶圆缺陷检测设备产线验证进展顺利，各项关键性能指标以及长期运行稳定性上表现优异，预计年内有希望看到更多积极
的验证结果；晶圆平整度量测设备在国内头部HBM客户产线验证进展顺利，预计年内有希望看到更多的成果；电子束关键
尺寸量测设备已出货到头部客户产线验证。
关于各系列设备产业化进展。
答：
公司目前十三大系列设备全面覆盖国内最先进制程客户产线以及HBM、2.5D/3D封装的扩产需求，并在全面推进面向国
内更先进制程工艺的研发与产业化过程中取得重大突破，进一步巩固公司在先进制程以及HBM、2.5D/3D封装领域的国内显
著领先优势。具体来看：
（1）在国内最先进制程领域，十三大系列设备已出货国内头部客户产线验证。其中公司在暗场纳米图形晶圆缺陷检
测设备、无图形晶圆缺陷检测设备、套刻精度量测设备、金属膜厚量测设备、高深宽比铜填充空隙量测设备等多款设备是
目前在国内先进制程领域唯一具备量产交付能力的国产供应商；
（2）面向国内下一代先进工艺节点，十一大系列设备已经推出研发样机，其中无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆
缺陷检测设备、三维形貌量测设备、介质/金属膜厚量测设备等五大系列设备已经通过国内头部客户验证并实现销售；套
刻精度量测设备、光学关键尺寸量测设备、晶圆平整度量测设备、高深宽比刻蚀结构量测设备、硅通孔铜填充空隙量测设
备等五大系列设备已经出货客户产线验证；暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备目前在场内测试中，预计将尽快出货至客户产
线验证。
上半年毛利率波动的原因及未来展望。
答：
上半年毛利率相比往年有一定波动，主要受毛利率相对较低的先进封装业务收入占比提升，以及部分新产品市场导入
初期定价相对较低两方面短期影响。
展望全年，结合目前在手订单结构，前道制程以及先进制程订单占比超过80%，全年前道制程收入占比有望回归正常
区间，先进制程收入贡献进一步提高，全年以及未来毛利率有望保持较高水平。
关于收入及利润未来展望。
答：
上半年收入同比增速放缓，主要受正常季节性波动以及客户验收、收入确认节奏影响。同时，为满足业务持续增长需
要，公司进一步加大新产品及现有产品向更前沿工艺的研发和产业化投入，研发、销售及客户服务人员规模同步提升，带
动职工薪酬、研发用材料费、市场推广费等研发及销售相关费用同比较大幅度增长；叠加毛利率受产品结构阶段性影响，
上半年归母净利润出现亏损。
结合当前在手订单及新产品验证进展，全年收入有望保持较高增长水平。随着规模效应逐步显现，下半年利润有望环
比改善。
展望未来，基于与头部客户就未来需求的沟通，以及公司在国内先进制程、HBM、2.5D/3D封装等前沿领域的产品布局
和客户覆盖等方面的全面领先优势，公司对全年订单及未来收入保持较高增速有信心。随着规模效应逐步显现，研发及销
售等各项费用占收入的比例预计整体呈稳步下降趋势，公司盈利水平长期向好。
关于海外市场的拓展情况及未来展望。
答：
公司积极将各系列产品推广到更广泛的海外客户端并取得初步成果。目前公司无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺
陷检测设备、三维形貌量测设备、介质膜厚量测设备等多系列设备已通过多家海外先进封装客户的产线验证并实现批量销
售；无图形晶圆缺陷检测设备、介质膜厚量测设备等多系列设备已出货至海外先进制程客户开展产线验证，推动海外订单
规模持续增长。2026年上半年，公司实现海外收入超过5,000万元，未来还有很大增长空间。凭借性价比以及定制化服务
等优势，公司对未来海外收入的持续增长充满信心。
关于核心零部件供应稳定性。
答：
长期以来，公司在设备整机的研发和产业化进程中，同时会进行 大量的投入与国产零部件供应商开展技术合作。目
前公司在上游零部件国产化方面成效显著，能够满足各系列设备面向国内最先进制程客户的量产需求以及向更先进制程工
艺的研发需求，通过持续与国产供应商就未来生产需求进行前瞻性沟通，能够确保供应链能够在设备完成研发后顺利转入
大规模量产，为客户持续稳定供货。
除以上问题外，其余交流内容已在之前发布的投资者关系活动记录表或定期报告等公告中披露，本次不再重复披露。
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参与调研机构：175家
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2026-04-28│中科飞测(688361)2026年4月28日投资者关系活动主要内容
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深圳中科飞测科技股份有限公司于2026年4月28日在中科飞测办公室举行投资者关系活动，参与单位名称及人员有详
见附件1《与会单位名单，上市公司接待人员有陈鲁董事长、总经理，古凯男董事会秘书，周凡女财务总监。 查看原文
https://data.tdx.com.cn/zxfile/pdf_tb_news_jgdyxx/202604/84415688361.pdf
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