研报评级☆ ◇688729 屹唐股份 更新日期：2026-03-25◇ 通达信沪深京F10
★本栏包括【1.投资评级统计】【2.盈利预测统计】【3.盈利预测明细】【4.研报摘要】
【5.机构调研】
【1.投资评级统计】最新评级日期:2025-12-15
时间段 买入评级次数 增持评级次数 中性评级次数 减持评级次数 卖出评级次数 评级次数合计
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6月内 0 2 0 0 0 2
1年内 0 2 0 0 0 2
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【2.盈利预测统计】(近6个月)
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│财务指标 │ 2022年│ 2023年│ 2024年│2025年预测│2026年预测│2027年预测│
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│每股收益(元) │ 0.14│ 0.12│ 0.20│ 0.22│ 0.30│ 0.42│
│每股净资产(元) │ 1.87│ 2.01│ 2.22│ 2.75│ 3.06│ 3.50│
│净资产收益率% │ 7.68│ 5.79│ 9.14│ 8.66│ 10.25│ 12.81│
│归母净利润(百万元) │ 382.52│ 309.42│ 540.80│ 656.18│ 867.85│ 1247.38│
│营业收入(百万元) │ 4762.63│ 3931.43│ 4632.98│ 5320.50│ 6361.50│ 8066.00│
│营业利润(百万元) │ 399.97│ 264.39│ 520.91│ 656.00│ 867.50│ 1246.00│
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【3.盈利预测明细】(近6个月)
日期 评级 评级变化 目标价 2025EPS 2026EPS 2027EPS 研究机构
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2025-12-15 增持 首次 --- 0.22 0.30 0.43 东北证券
2025-11-26 增持 首次 --- 0.22 0.29 0.41 东吴证券
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【4.研报摘要】(近6个月)
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2025-12-15│屹唐股份(688729)去胶热处理全球领先，刻蚀突破构筑新成长极 │东北证券 │增持
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事件：
2025年12月13日，集微咨询发布《2025中国半导体前道设备行业上市公司研究报告》。公司前三季度实现营业收入37
.96亿元，同比增长14.01%；实现归母净利润5.16亿元，同比增长22.73%。其中第三季度单季营收13.14亿元；归母净利润
1.68亿元，同比微降。
点评：
核心主业地位稳固，全球份额持续领先。公司承接MattsonTechnology核心技术，在干法去胶和快速热处理（RTP）领
域构建了深厚护城河，其中干法去胶设备全球市占率约35%，位居全球第二，在逻辑制程领域处于绝对领先地位；RTP设备
全球市占率约13%，毛利率长期维持在40%以上。随着针对存储客户开发的高性价比机型持续导入，以及Helios和Millios
系列RTP产品在晶圆翘曲控制上的技术优势加速释放，公司有望国产替代抢占海外巨头应用材料相关市场份额。
刻蚀赛道多点突破，打造全新增长极。刻蚀设备是公司从专用设备向平台型龙头跨越的关键变量。尽管目前全球市占
率基数较低，但公司差异化布局ICP技术路线成效显著，例如新推出的RENA-E高选择比刻蚀设备已获批量订单，针对先进
制程的原子层级表面处理设备Escala亦开始商业化导入。结合国内存储厂商强劲的扩产周期，预计刻蚀业务将深度受益于
国产化率提升与新品放量的双重共振，成为未来3至5年收入翻倍的核心引擎。
供应链本土化降本增效，前瞻备货彰显信心。公司境内业务毛利率显著高于境外，主要得益于国内完善的供应链体系
带来的成本优势。财务数据显示，公司前三季度经营性现金流为负，但这主要系公司为应对下游订单饱满及业务可持续增
长，主动将存货储备提升至36.90亿元所致。此外，公司持续维持高强度研发投入，研发费用率超14%，在保障技术迭代的
同时，通过北京亦庄基地的产能释放，将有效满足国内晶圆厂日益增长的高端设备需求。
盈利预测与投资评级：考虑到公司在去胶和热处理领域的全球领先地位，以及刻蚀设备带来第二成长曲线，预计公司
2025/2026/2027年归母净利润分别为6.60/8.84/12.75亿元，对应PE分别为116/86/60倍。首次覆盖，给予“增持”评级。
风险提示：晶圆厂扩产不及预期、新品验证不及预期、地缘政治风险
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2025-11-26│屹唐股份(688729)前道设备隐形冠军，平台化布局去胶、RTP、刻蚀设备 │东吴证券 │增持
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平台化布局三大设备平台，国产替代与国际化双轮驱动：屹唐股份成立于2015年，是一家专注于集成电路前道核心装
备的高端制造企业。公司致力于干法去胶（DryStrip）、干法刻蚀和等离子体表面处理（DryEtchandPlasmaSurfaceTreat
ment）及快速热处理（RTP）等关键设备的研发与制造，产品广泛应用于先进晶圆制造工艺，客户涵盖中芯国际、台积电
、三星、英特尔等全球领先的集成电路制造企业。在“半导体设备国产替代”趋势下，公司凭借技术积累与平台化布局，
已成长为全球前道设备领域具有代表性的中国企业。
公司在干法去胶设备技术积累深厚，全球市占率第二：公司干法去胶产品历经三十余年研发与应用沉淀，核心产品涵
盖Suprema?、Hydrilis?HMR及Optima?系列，具备工艺窗口宽、颗粒污染小、成本结构优等显著特点，广泛应用于晶圆制
造前道去胶工艺环节，适配DRAM、3DNAND、逻辑芯片等多类晶圆平台，并已形成从常规去胶、选择性去胶到先进刻蚀后清
洗的完整产品谱系。2023年公司干法去胶设备以34.60%的全球市场份额位居全球第二，仅次于韩国厂商PSK。
快速热处理设备（RTP）技术先进，市场份额位居全球第二：公司核心产品包括Helios?系列（常规RTP）与Millios?
系列（毫秒级退火），针对先进逻辑芯片、DRAM和存储器件量产而设计。设备采用晶圆双面加热、氩气水壁电弧灯与闪光
灯退火等核心技术，能够有效控制先进制程中的热应力和图形保形性问题。设备性能参数处于国际主流水平，在10nm及以
下节点具有良好兼容性，已在DRAM、3DNAND等存储产线及高性能逻辑芯片产线完成验证并实现规模化应用。2023年公司RT
P设备以13.05%的市场份额位居全球第二。
平台化技术布局刻蚀设备，挤入全球前十：公司干法刻蚀和等离子体表面处理产品布局以paradigmE?、Novyka?、REN
A-E?、Hydrilis?XT系列及Escala?表面处理和材料改性设备为主，覆盖通用刻蚀、选择性刻蚀及原子层级表面处理等多类
场景。产品具备优异的等离子均匀性、刻蚀一致性与器件兼容性。设备已在晶圆制造前道工艺中实现规模化应用，成功进
入多家国内外头部客户供应链，具备强适配能力与国产替代潜力。2023年，公司以0.21%的市占率位列全球干法刻蚀设备
市场第九，在泛林半导体、东京电子、应用材料三大国际巨头合计83.95%的高度垄断市场中跻身少数具备量产能力的厂商
之列。
盈利预测：我们预计屹唐股份2025-2027年归母净利润分别为6.5/8.5/12.2亿元，2025-2027年当前股价对应动态PE分
别为109/84/58倍；公司去胶设备&快速热处理设备业务全行业领先，因此给予一定估值溢价，首次覆盖给予“增持”评级
。
风险提示：产品进展不及预期风险，下游需求不及预期风险，市场竞争加剧风险。
【5.机构调研】(近6个月)
参与调研机构：1家
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2025-10-16│屹唐股份(688729)2025年10月16日投资者关系活动主要内容
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投资者关系活动主要内容
1、139*****982 问屹唐股份副总裁兼财务总监谢妹：有传言公司通过收购做大做长产业链的计划，但此次上市筹集
资金太少，如果收购半导体企业会再次增发股份吗？同时公司如何改善经营现金流不足的问题？
答：尊敬的投资者朋友，您好！公司将通过内生增长和外延并购并举的方式促进公司发展，公司将根据实际资金需求
合理进行资本运作规划。
2、131*****736 问屹唐股份董事长张文冬：公司在全球拥有中国、美国、德国三大研发制造基地。请问管理层，在
当前全球贸易格局下，公司如何优化跨基地的协同运营和供应链管理，以提升整体效率并抵御潜在风险？未来是否有计划
进一步深化本土化供应链以保障交付稳定性？
答：尊敬的投资者朋友，您好！公司坚持植根中国的国际化经营策略，在全球范围内合法合规运营，以优质的产品和
服务满足境内外客户对高端半导体设备的广泛需求。未来公司将持续推进供应链多元化、本土化策略，保障供应链体系的
安全性和稳定性。
3、131*****736 问屹唐股份董事长张文冬：恭喜公司上半年实现强劲的利润增长。投资者也非常关注盈利质量，能
否请管理层分享一下经营性现金流的匹配情况？同时，公司在开拓新兴市场方面取得了成效，这是否带来了客户结构的显
著变化？与这些新客户的合作深度和回款情况如何？
答：尊敬的投资者，您好！2025 年 1-6 月公司经营活动产生的现金流量净额为-5.20 亿元，同比下降 214.09%，主
要是公司为业务的可持续增长提前储备关键存货所致。报告期内公司不断开拓新客户，导入新机型，加强与客户合作的深
度和广度，客户回款情况良好。
4、159*****281 问屹唐股份董事、总裁兼首席执行官陆郝安：目前国内半导体设备企业北方华创、中微等都在往平
台型企业发展，对此公司有何应对策略？
答：尊敬的投资者朋友，您好！公司具有干法去胶设备、快速热处理设备、 干法刻蚀及等离子体表面处理设备在内
的三类具有国际竞争力的成熟集成电路设备产品线，未来公司将持续加大研发投入，充分发挥核心技术优势，通过自主研
发或投资并购进一步丰富公司的产品组合。
5、185*****406 问屹唐股份董事、总裁兼首席执行官陆郝安：陆总裁您好，请问贵公司在技术含量更高，价值含量
更大的干法刻蚀设备的上有没有什么新突破，与国内干法刻蚀设备龙头企业在未来有没有什么优势？
答：尊敬的投资者朋友，您好！公司干法刻蚀设备是基于公司独特的等离子体源等技术进行的开发，公司采用差异化
的研发策略，在 2025 年半年报中已经披露了 Rena-E（主要应用于钝化层刻蚀）和 Escala（主要应用于表面处理和材料
改性）两款新产品，公司将持续加大在干法刻蚀设备领域的研发投入，不断开发并导入具有竞争力的新产品。
6、139*****982 问屹唐股份董事长张文冬：请您介绍一下诉讼进展情况
答：尊敬的投资者朋友，您好！公司将根据法院进一步的通知开展工作，若有需要及时公告的信息，公司将及时发布
公告。感谢您的关注。
7、186*****883 问屹唐股份董事、总裁兼首席执行官陆郝安：请问陆总裁，截止 2025年 9月 30 日，2025年公司的
去胶设备、热处理设备、刻蚀设备各出货量多少台了？
答：尊敬的投资者朋友，您好！我们2025 年三季度报告尚未披露，请关注我们后续的公开披露信息。谢谢！
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