研报评级☆ ◇688785 恒运昌 更新日期：2026-10-10◇ 通达信沪深京F10
★本栏包括【1.投资评级统计】【2.盈利预测统计】【3.盈利预测明细】【4.研报摘要】
【5.机构调研】
【1.投资评级统计】最新评级日期:2026-09-01
时间段 买入评级次数 增持评级次数 中性评级次数 减持评级次数 卖出评级次数 评级次数合计
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2月内 0 1 0 0 0 1
3月内 1 1 0 0 0 2
6月内 1 1 0 0 0 2
1年内 1 1 0 0 0 2
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【2.盈利预测统计】(近6个月)
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│财务指标 │ 2023年│ 2024年│ 2025年│2026年预测│2027年预测│2028年预测│
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│每股收益(元) │ 1.57│ 2.79│ 2.24│ 2.00│ 2.78│ 3.72│
│每股净资产(元) │ 10.58│ 13.39│ 15.76│ 34.08│ 35.98│ 38.53│
│净资产收益率% │ 14.86│ 20.82│ 14.23│ 5.85│ 7.75│ 9.65│
│归母净利润(百万元) │ 79.83│ 141.54│ 113.84│ 135.24│ 187.88│ 251.42│
│营业收入(百万元) │ 325.27│ 540.79│ 529.47│ 684.50│ 885.50│ 1106.00│
│营业利润(百万元) │ 87.49│ 159.33│ 122.04│ 146.50│ 207.00│ 277.00│
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【3.盈利预测明细】(近6个月)
日期 评级 评级变化 目标价 2026EPS 2027EPS 2028EPS 研究机构
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2026-09-01 增持 维持 --- 2.28 3.15 4.24 华西证券
2026-08-05 买入 首次 --- 1.72 2.40 3.19 中邮证券
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【4.研报摘要】(近6个月)
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2026-09-01│恒运昌(688785)2026H1点评：先进制程新品&新客户逐步导入，看好射频电源 │华西证券 │增持
│龙头快速成长 │ │
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事件概述
公司发布2026年半年度报告。
射频电源稳步放量，先进制程新品&新客户逐步导入
2026H1公司实现营收2.8亿元，同比-8.5%；其中Q2为1.5亿元，同比-5.3%，主要系公司部分客户根据自身经营及生产
节奏动态调整对公司的采购进度。分业务：1）自研产品：以射频电源系统为主，26H1收入2.4亿元，同比-5.9%，部分5nm
产品小批量试产，新客户屹唐、菲沃泰等逐步放量；2）引进产品：以真空泵、质量流量计等零部件为主，收入0.3亿元，
同比-29.6%，系海外采购周期延长；3）技术服务：收入428万元，同比+167%，系国内晶圆厂被美国商务部列入实体清单
后公司承接大量需求。26H1公司在研产品不断扩大，积极推进重点客户新品突破；当前产能利用率达102%，随着IPO募投
达产，看好后续收入端增长提速。
毛利率出色且稳步提升，扩产、研发等费用影响利润表现
2026H1公司实现归母净利润/扣非归母净利润分别为0.52/0.50亿元，同比-24.5%/-22.3%；其中Q2为0.35/0.33亿元，
同比分别+1.3%/+4.1%，单季度有所改善，符合市场预期。2026H1公司净利率/扣非净利率为18.8%/18.1%，同比分别-4.0p
ct/-3.2pct，盈利水平承压。具体来看：1）毛利端：26H1公司毛利率为49.9%，同比+0.9pct，其中射频电源系统毛利率5
4.4%，同比基本持平，保持出色毛利率水平；2）费用端：26H1公司期间费用率为28.5%，同比+4.6pct，其中销售/管理/
研发/财务分别同比+0.7/+1.8/+2.2/-0.02pct，主要系公司扩充高端销售人才、大力投入研发等。
先进制程新品等巩固龙头地位，真空类平台打开空间
1）射频电源是刻蚀、薄膜等核心零部件，少数在先进制程&3D堆叠趋势下具有通胀属性的零部件，根据弗若斯特沙利
文数据，2026年国内半导体射频电源市场规模约80亿元，主要由海外厂商MKS、AE、霍廷格和AIHEN等垄断，国产替代空间
广阔；2）全球零部件供应链紧张，国产替代加速，公司5nm及以下产品小批量试产，头部设备商招标竞争力出色；3）公
司战略围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案，目前引进产品主要为真空泵、质量流体计等，完善电气类零部件
平台化布局。
投资建议
我们维持公司2026-2028年营收预测为7.20、9.75、12.30亿元，分别同比+36%、+35%、+26%；归母净利润为1.54、2.
13、2.87亿元，分别同比+35%、+38%、+35%；对应EPS为2.28、3.15和4.24元，2026/9/1股价262.69元对应PE分别为115、
83和62倍。考虑公司所处赛道稀缺，维持“增持”评级。
风险提示
下游扩产不及预期、新品不及预期等。
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2026-08-05│恒运昌(688785)加速射频电源产业化，打造等离子体工艺部件平台 │中邮证券 │买入
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等离子体工艺核心零部件整体解决方案厂商，持续拓展产品矩阵。2025年公司实现营收5.29亿元，以来自自研产品的
收入为主，主要客户为拓荆科技、宏大真空、中微公司、北方华创、微导纳米等。2026Q1公司实现营收1.24亿元。截至公
司2025年年度报告披露日，公司持有尚未交付的在手订单共约1.57亿元。作为国内极少数实现批量交付半导体级等离子体
射频电源系统的企业，公司已实现对拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商的批
量供货。除半导体设备企业外，公司也已通过国内头部晶圆厂的准入审核。此外，公司还在积极推进其他多款等离子体射
频电源、匹配器、远程等离子源的后续验证工作。历经十余年，公司先后推出CSL、Bestda、Aspen/Basalt、Cedar四代产
品系列等离子体射频电源系统。截至2025年年底，公司第四代等离子体射频电源系统Cedar系列处于验证状态，该产品将
射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等功能，可支撑更先进制程
。同时，公司还将积极推动主营业务产品向光伏、显示面板、精密光学等领域的拓展，不断提升公司产品性能与质量，并
拓宽公司产品品类，致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。
半导体工艺与芯片架构升级，带动射频电源技术迭代与量价齐升。半导体制程持续迭代，薄膜沉积、刻蚀工艺精细度
与复杂度不断提升，持续拉高等离子体射频电源系统技术门槛。等离子体射频电源历经多代发展，由早期变压器、电子管
搭配固定匹配网络架构，演进为开关电源与自动调谐匹配方案，并进一步走向数模混合、全数字化控制，输出波形从连续
波拓展至脉冲信号。在平面器件逼近物理极限、行业转向三维芯片架构的背景下，射频电源成为实现3D芯片制造的关键支
撑；随着3DNAND堆叠层数增加、FinFET器件持续微缩，工艺要求持续升级，以高堆叠3DNAND70:1高深宽比刻蚀为例，需要
射频电源利用多射频与同步脉冲调控离子能量及表面电荷，实现微秒级功率精准监测与快速调谐。半导体工艺标准持续升
级不断丰富等离子体射频电源的工艺体系，拓宽整机厂商工艺窗口，推动该部件在半导体设备中的价值占比上行。全球半
导体设备市场规模千亿美元，伴随制程迭代与芯片结构复杂化，刻蚀、薄膜沉积等设备需求稳步增长；等离子体射频电源
作为核心零部件，直接决定等离子体浓度、均匀性与稳定性，深刻影响晶圆制造工艺水平、良率与生产效率。下游设备需
求扩容叠加工艺持续复杂化，单台刻蚀、沉积设备搭载等离子体射频电源的数量与单机价值占比将同步提升。
投资建议
我们预计公司2026/2027/2028年分别实现收入6.49/7.96/9.82亿元，归母净利润分别为1.16/1.63/2.16亿元，首次覆
盖，给予“买入”评级。
风险提示
技术创新风险，技术人才流失与核心技术泄密的风险，研发投入未取得预期效果的风险，市场竞争地位变化的风险，
客户集中的风险，产能无法满足业务发展的风险，半导体行业周期性波动风险，宏观环境风险。
【5.机构调研】(近6个月)
参与调研机构：49家
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2026-09-18│恒运昌(688785)2026年9月18日投资者关系活动主要内容
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1. 请问公司2026半年度的业绩情况如何？
回答：报告期内，公司实现营业收入 27,836.07 万元，主要系公司部分客户根据自身经营及生产节奏动态调整对公
司的采购进度。公司作为半导体核心零部件企业，订单一般随客户验证及量产逐步释放，公司一方面根据市场需求释放速
度及公司发展规划进行了适度的产能预增，另一方面积极推进新技术突破和重点客户新产品研发与验证导入。公司下半年
产能布局也在持续推进中。2. 请介绍一下公司最新一代产品Cedar系列及其他新产品的研发进展
回答：Cedar系列将射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等
功能，可支撑更先进制程。公司第四代等离子体射频电源系统Cedar系列截至2026半年度已有部分机型小批量试产；公司
在研项目之一“Jade系列匹配器”截至2026半年度处于样机设计中。公司新增在研项目“AI Model-Based RF
Impedance Matching System”截至2026半年度已完成模型开发并在持续完善中。公司将采取双轮驱动策略持续丰富
产品布局。通过内生研发，持续优化现有产品，提升性能与质量，并拓宽产品品类；同时，借助外部并购等战略举措，公
司致力于发展成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。
3. 请介绍一下射频电源和匹配器的功能作用及其关键程度
回答：射频电源的核心功能是高频电能转换与输出，通过产生高频电场，在晶圆反应腔体内将特定工艺气体电离，激
发并维持高活性、高能量的等离子体，并利用等离子体的特殊性能实现薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等复
杂半导体工艺。电源失效将导致工艺完全中断，属于系统级关键组件，其频率稳定性、功率精度直接影响等离子体状态；
匹配器的核心功能是阻抗匹配，通过调节网络中的可变电容和电感，实现等离子体射频电源内部阻抗、传输线阻抗和负载
阻抗三者的匹配，从而实现功率最大化输出。匹配失效会导致能量反射，引发电源过载损坏或工艺波动。
4. 请介绍一下公司的技术服务业务
回答：公司技术服务主要系为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修服务。等离子体射频电源系统在晶圆
厂使用过程中会出现老化、故障等问题，需要及时进行更换或维修。国内主要晶圆厂被列入实体清单后，无法继续向原海
外设备供应商采购备件或申请维修服务，公司为此承接了部分进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修业务。5. 请
介绍一下目前的行业发展情况
回答：根据SEMI数据，2026年第二季度全球半导体设备出货金额同比增长23%，达到405.3亿美元，环比增长11%。据
弗若斯特沙利文数据统计，中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场从2020年到2024年，市场规模由42.7亿元增长
至65.6亿元，年均复合增长率达到 11.3%。中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场仍呈现海外巨头高度垄断的
竞争格局。等离子体射频电源系统技术壁垒高、研发投入大、研发周期长、生产的“精确复制”要求极高，因而国产化率
低。根据弗若斯特沙利文统计，2024 年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%。
6. 请问公司的射频电源和匹配器都是成套出售的吗？
回答：半导体设备厂商在采购等离子体射频电源和匹配器时，会根据工艺路径和稳定性、供应链安全、库存、各家供
应商技术水平及特点等情况，外购同一厂商的等离子体射频电源和匹配器或外购不同厂商的等离子体射频电源和匹配器，
一般使用同一家供应商射频电源和匹配器的数量比例不固定。该情况主要基于供应链安全考虑，避免单一供应商依赖导致
的断供风险；以及基于半导体保密性的考虑，为避免单一供应商通过长期合作而逐步掌握设备商完整的技术布局，设备厂
商通常会选择多个供应商。因此，客户根据自身需求，可单独向公司采购等离子体射频电源或匹配器，亦可以同时采购等
离子体射频电源和配套的匹配器。此外，公司等离子体射频电源无需与同系列的匹配器产品配套使用，同系列中的等离子
体射频电源和匹配器亦不会有固定的配套关系。
7. 请介绍一下公司报告期内的研发进展
回答：公司一直以来高度重视研发工作，结合行业发展趋势和客户需求持续推进技术创新，不断加大研发投入。报告
期内，公司研发费用4,575.24万元，同比增长5.64%，占营业收入比例达16.44%；截至报告期末，公司研发人员达164人。
报告期内，公司新增一项产品化支撑技术“匹配器宽频扫频匹配技术”。公司不断通过内生研发优化现有产品并拓宽产品
品类，不断完善研发管理机制和创新激励机制，优化研发环境；同时，密切追踪最新的技术及发展趋势，开展对先进技术
、先进工艺的研究，为技术突破和产品升级提供重要的基础和保障。
8. 请介绍一下公司报告期内的产能情况及产能未来布局？
回答：公司2026半年度的产能利用率达到 102.46%。公司通过多个措施提升产能：截至2026年7月底，子公司恒运昌
真空技术（沈阳）有限公司已通过客户验厂，下半年将逐步释放产能，公司将持续助力其实现从试产到量产的转换；公司
也在同时推进深圳产能建设，包括不断挖掘现有产能潜力、新增租赁场地以扩大产能建设。未来，公司将重点推进半导体
与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目的建设，这些都将有助于后续产能的释放，为公司产能持续提升奠定基础
。
9. 请介绍一下公司募投项目的最新进展？
回答：截至2026半年度报告披露日，沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目已通过客户验厂审核。营销及技术支持
中心项目中的北京恒运昌已处于正式运营阶段，上海恒运昌、武汉恒运昌分别于2026年4月及7月注册成立。半导体与真空
装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目和营销及技术支持中心项目的合肥中心处于前期
准备阶段。
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参与调研机构：1家
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2026-09-16│恒运昌(688785)2026年9月16日投资者关系活动主要内容
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1、公司在调研中明确屹唐股份、菲沃泰等新客户“逐步导入放量”。请问这两家H1是否已产生营收？从导入到批量
交付的周期预期？券商交流提到的屹唐（预计2027年前五大）、菲沃泰（2026首次前五），H1是否已开始小批量供货?
回答:尊敬的投资者，您好！报告期内，公司实现营业收入27,836.07万元，包括自研产品24,272.21万元，公司营收
结构以现有头部客户为主；同时，屹唐股份、菲沃泰等新客户也在逐步导入放量中。报告期内，公司所承接的研发产品数
量不断扩大。随着合作产品数量尤其是验证导入中的产品数量的不断增加，公司主要客户的新增定制需求均在不断增加。
公司将持续加大研发投入力度，承接更多客户的需求。感谢您的关注！
2、自2021年起已实现真空电容、陶瓷电容国产化；券商交流称第三代及以后用碳化硅、LDMOS，控制芯片和高速采样
芯片国产化，第四代C档已100%国产化、瞄准5nm以下。请问：第四代C档的“100%国产化”是通过客户验证的结论，还是
公司内部设计口径？整机国产化率（含外购结构件）当前多少？
回答:尊敬的投资者，您好！公司自2021年开始，先后在上游采购中实现了真空电容、陶瓷电容、MCU以及SiCMOS、LD
MOS、部分ADC和FPGA等元器件的国产化，确认上游元器件的全国产化方案并先后在多种定制产品中实现了国产化应用，持
续推进元器件的全面国产化验证工作。在研发过程中公司结合技术参数、客户要求、物料来源等因素综合考量原材料的选
型，通过有针对性的研发设计调整，不断提高产品的性能和品质。在采购过程中，公司积极推进国产化率的提升，注重使
用本土元器件，以促进国产替代。感谢您的关注！
3、请问公司主要客户为拓荆科技，拓荆科技25年年报、26年半年报收入都有大幅增长，对应零部件采购应该同步增
长，公司收入没有相应变化，主要什么原因，谢谢
回答:尊敬的投资者，您好！主要原因系公司部分客户根据自身经营及生产节奏动态调整对公司的采购进度。公司作
为半导体核心零部件企业，订单一般随客户验证及量产逐步释放，公司一方面根据市场需求释放速度及公司发展规划进行
了适度的产能预增，另一方面积极推进新技术突破和重点客户新产品研发与验证导入。感谢您的关注！
4、公司除射频电源外，直流电源、RPS也在发力；MFC传感器处于样品改造升级阶段。请问这几条非射频电源产品线
的H1营收量级？MFC传感器样品改造完成后是否已有送样客户？
回答:尊敬的投资者，您好！报告期内，公司持续推进自研产品矩阵中等离子体射频电源系统（等离子体射频电源及
匹配器）、远程等离子体源、射频离子源、等离子体直流电源、滤波器、阻抗调整器等产品项目的进度；公司在研项目“
MFCMEMS传感器项目”已达到样品升级改造阶段；公司将持续加大技术研发投入、积极拓展技术应用领域，探索更多行业
场景，形成多元化产品矩阵，并致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。关于以上产品
的研发进展情况请留意公司在官方渠道披露的相关公告。感谢您的关注！
5、连续三年超负荷运行，产能瓶颈已成业务拓展隐患。公司产能利用率达到102.46%，请问公司未来是否有扩产计划
？
回答:尊敬的投资者，您好！公司2024年度、2025年度、2026半年度的产能利用率分别达到111.24%、98.51%、102.46
%。公司通过多个措施提升产能：截至2026年7月底，子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司已通过客户验厂，下半年将
逐步释放产能，公司将持续助力其实现从试产到量产的转换。公司也在同时推进深圳产能建设，包括不断挖掘现有产能潜
力、新增租赁场地以扩大产能建设。未来，公司将重点推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目的建设
，这些都将有助于后续产能的释放，为公司产能持续提升奠定基础。感谢您的关注！
6、公司产品矩阵覆盖CSL、Bestda、Aspen/Basalt、Cedar四代，Bestda支持28nm、Aspen覆盖7-14nm。请问H1各代产
品的营收结构？第三代仍是主力收入来源还是已被Cedar部分替代?
回答:尊敬的投资者，您好！本报告期内，公司实现营业收入27,836.07万元，包括自研产品24,272.21万元，主要以
拓荆科技、中微公司、微导纳米、北方华创等客户为主。感谢您的关注！
7、沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目已通过客户验厂审核；券商交流提到2027年七八月才形成稳定产能、年
底深圳+沈阳规划产能2.5万台。请问：沈阳基地设计产能多少台？H1已投入的设备/人员规模？从验厂到稳定量产的爬坡
曲线公司如何预期？
回答:尊敬的投资者，您好！沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目通过在沈阳购置厂房，引进先进的软件、硬件
生产设备，招募专业技术人才，实施半导体级等离子体射频电源系统产业化建设项目。项目建成达产后，公司将进一步扩
大半导体级等离子体射频电源、匹配器的生产规模。本项目的建设期为3年（36个月），报告期内，沈阳半导体射频电源
系统产业化建设项目按计划稳步推进中。感谢您的关注！
8、Cedar系列将射频电源与匹配器合二为一，部分机型已小批量试产，可支撑更先进制程。请问：小批量试产对应的
是7nm还是5nm以下节点？薄膜沉积领域已小批量出货的机型，验证客户是哪家、处于POC还是批量导入？预计何时从“小
批量”跨到“规模化放量”？
回答:尊敬的投资者，您好！截至2026年半年度，公司新一代等离子体射频电源系统Cedar系列将射频电源和匹配器整
合为一体化平台，产品可支撑5纳米及以下更先进制程，已处于部分机型小批量试产阶段。公司将持续推进该系列产品的
验证。感谢您的关注！
9、报告期末拓荆科技应收账款9376万元、占应收及合同资产余额74.23%。请问H1对拓荆科技确认收入多少？该客户
动态调整采购节奏的具体表现是订单延后还是减量？下半年对其出货能否回到去年同期水平？
回答:尊敬的投资者，您好！报告期内，公司实现营业收入27,836.07万元，包括自研产品24,272.21万元，主要以拓荆
科技、中微公司、微导纳米、北方华创等客户为主。公司与拓荆科技合作历史长、合作关系稳固，报告期内，公司所承接
的研发产品数量不断扩大，随着合作产品数量尤其是验证导入中的产品数量的不断增加，公司主要客户的新增定制需求均
在不断增加，在手订单充盈。感谢您的关注！
10、H1境外收入几乎为零；德国子公司CSLVacuumScienceandTechnologyGmbH承载海外研发、技术融合、市场拓展职
能，但境外资产仅233.30万元。请问德国子公司H1是否签下首单？海外拓展是先攻设备商还是晶圆厂？MKS等海外对手的
供应链动态是否带来替代机会？
回答：尊敬的投资者，您好！为进一步拓展海外市场、搭建海外研发平台、建设海外购销系统、推进国际化进程，公
司于2025年11月在德国以境外直接投资的方式设立全资子公司CSLVacuumScienceandTechnologyGmbH（德国恒运昌）。在
未来发展规划上，子公司德国恒运昌将作为恒运昌承担海外研发、技术融合、市场拓展三大职能，是恒运昌全球化布局中
的重要战略支点，德国恒运昌目前处于早期投入阶段，尚未形成规模收入。感谢您的关注！
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参与调研机构：11家
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2026-09-09│恒运昌(688785)2026年9月9日投资者关系活动主要内容
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1. 请问公司2026半年度的业绩情况如何？
回答：报告期内，公司实现营业收入 27,836.07 万元，主要系公司部分客户根据自身经营及生产节奏动态调整对公
司的采购进度。公司作为半导体核心零部件企业，订单一般随客户验证及量产逐步释放，公司一方面根据市场需求释放速
度及公司发展规划进行了适度的产能预增，另一方面积极推进新技术突破和重点客户新产品研发与验证导入。公司归属于
上市公司股东的净利润及归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润分别为5,235.05万元、5,033.52万元，除前述
营业收入略有下降外，主要系公司全面提升运营管理水平，持续推进研发投入和各类型人才引进，导致相关人员费用有所
增长；同时受政府补助较去年同期减少以及公司按照会计准则要求计提相应的资产减值损失增加所影响。结合公司截至报
告期末的在手订单情况及下半年产能布局，公司2026年营收有望保持良好态势。
2. 请介绍一下公司最新一代产品Cedar系列及其他新产品的研发进展
回答：Cedar系列将射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等
功能，可支撑更先进制程。截至2026上半年，公司第四代等离子体射频电源系统Cedar系列的部分机型已小批量试产；公
司在研项目“MFC MEMS 传感器项目”已达到样品升级改造阶段；公司于报告期内新增一在研项目“AI Model-BasedRF Im
pedance Matching System”，截至报告期末处于完成模型开发并持续完善中的阶段。
报告期内，公司持续推进自研产品矩阵中等离子体射频电源系统（等离子体射频电源及匹配器）、远程等离子体源（
其在自有的独立腔室中通过等离子体射频电源系统将气体电离形成等离子体，再将产生的等离子体传输到晶圆所在的反应
腔）、射频离子源（一种由一个或多个等离子体射频电源、匹配器及感应线圈等组成的用于激发等离子体的模块化装置）
、等离子体直流电源（通过产生直流电场以激发和维持等离子体的电源）、滤波器（应用在诸如加热盘、静电卡盘、热偶
的供电线路中，用于射频隔离、稳定射频等离子体的阻抗）、阻抗调整器（大多应用在等离子体腔体内硅片托盘的阻抗调
整，控制等离子体托盘的接地阻抗）等产品项目的进度。
公司将持续加大技术研发投入、积极拓展技术应用领域，探索更多行业场景，形成多元化产品矩阵，并致力于成为围
绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。
3. 请介绍一下公司的核心技术及衡量公司主营产品技术水平的关键指标
回答：历经十余年的持续研发、不断创新和积累，针对半导体设备尤其是先进制程中对高速、精准、稳定性能的严苛
需求及技术瓶颈，公司构建了以‘基石技术+产品化支撑技术’为核心的技术架构，并基于‘等离子体电源全数字测量技
术’、‘等离子体电源全数字环路控制技术’及‘等离子体电源高效功放技术’三大基石技术，并衍生出九大产品化支撑
技术。衡量公司主营产品或核心技术的关键指标包括但不限于：调谐时间、调谐频率重复性、功率精度、开启响应时间、
关闭响应时间、功率重复性、脉冲上升时间、脉冲下降时间等。
4. 请问公司的射频电源和匹配器都是成套出售的吗？
回答：半导体设备厂商在采购等离子体射频电源和匹配器时，会根据工艺路径和稳定性、供应链安全、库存、各家供
应商技术水平及特点等情况，外购同一厂商的等离子体射频电源和匹配器或外购不同厂商的等离子体射频电源和匹配器，
一般使用同一家供应商射频电源和匹配器的数量比例不固定。该情况主要基于供应链安全的考虑，避免单一供应商依赖导
致的断供风险；以及基于半导体保密性的考虑，为避免单一供应商通过长期合作而逐步掌握设备商完整的技术布局，设备
厂商通常会选择多个供应商。因此，客户根据自身需求，可单独向公司采购等离子体射频电源或匹配器，亦可以同时采购
等离子体射频电源和配套的匹配器。
5. 请介绍一下公司报告期内的研发进展
回答：公司一直以来高度重视研发工作，结合行业发展趋势和客户需求持续推进技术创新，不断加大研发投入。报告
期内，公司研发费用4,575.24 万元，同比增长 5.64%，占营业收入比例达 16.44%；截至报告期末，公司研发人员达164
人。截至报告期末，公司已授权专利共345 项，包括发明专利 144 项，实用新型专利 98 项，外观设计专利103 项。报
告期内，公司新增一项产品化支撑技术“匹配器宽频扫频匹配技术”。公司不断通过内生研发优化现有产品并拓宽产品品
类，不断完善研发管理机制和创新激励机制，优化研发环境；同时，密切追踪最新的技术及发展趋势，开展对先进技术、
先进工艺的研究，为技术突破和产品升级提供重要的基础和保障。
6. 请介绍一下公司报告期内的客户拓展情况
回答：报告期内，公司实现营业收入 27,836.07 万元，包括自研产品24,272.21 万元，公司营收结构以现有头部客
户为主；同时，屹唐股份、菲沃泰等新客户也在逐步导入放量中。报告期内，公司所承接的研发产品数量不断扩大。随着
合作产品数量尤其是验证导入中的产品数量的不断增加，公司主要客户的新增定制需求均在不断增加。公司将持续加大研
发投入力度，承接更多客户的需求。
7. 请介绍一下公司上游元器件国产化的最新进展？
回答：公司等离子体射频电源系统等自研产品所使用的主要原材料包括电容、电阻、芯片等电子元器件、功率模块等
电气件以及钣金件等结构件。自 2021 年起，公司先后实现真空电容、陶瓷电容等元器件的国产化应用。公司结合产品设
计，在采购中积极推进国产化率的提升，注重使用本土元器件，以促进国产替代。
8. 请介绍一下公司报告期内的产能情况及产能未来布局？
回答：公司2024 年度、2025 年度、2026 半年度的产能利用率分别达到 111.24%、98.51%、102.46%。公司通过多个
措施提升产能：截至2026年7月底，子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司已通过客户验厂，下半年将逐步释放产能。
公司将持续助力其实现从试产到量产的转换；公司也在同时推进深圳产能建设，包括不断挖掘现有产能潜力、新增租赁场
地以扩大产能建设。未来，公司将重点推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目的建设，这些都将有助
于后续产能的释放，为公司产能持续提升奠定基础。
9. 请介绍一下公司募投项目的最新进展？
回答：截至2026半年度报告披露日，沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目已通过客户验厂审核。 营销及技术支
持中心项目中的北京恒运昌已处于正式运营阶段，上海恒运昌、武汉恒运昌分别于2026年4月及7月注册成立。半导体与真
空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目和营销及技术支持中心项目的合肥中心处于前
期准备阶段。公司将密切关注行业发展趋势及市场需求变化，在确保项目质量与预期效益的前提下，加快推进募投项目建
设。
10. 请介绍一下公司的“2026年限制性股票激励计划”？
回答：为完善长效激励机制，吸引和留住优秀人才，充分调动核心员工工作积极性和创造性，公司制定了 2026 年限
制性股票激励计划。本激励计划首次授予的激励对象人数为 82 人，占公司（含子公司）2025年员工总人数的20.25%，均
为公司（含子公司）核心员工。本次激励计划设置公司层面业绩考核，首次授予的限制性股票归属对应的考核年度为2026
年-2029年四个会计年度，业绩考核目标设置主要综合考虑公司所处行业发展趋势、当前在手订单情况、产能建设情况及
供应链国产化应用情况等因素。本期激励计划是公司上市后的首次激励，公司希望将激励作为常态化机制，通过长效激励
实现股东、公司与员工利益深度绑定，吸引并留存核心人才，激发团队内生动力，共同推动公司长远发展。
11. 请问公司通过什么方式成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司？
回答：公司在优化现有自研产品的基础上，不断丰富研发储备与产品类别和系列，持续加强薄膜沉积、刻蚀、离子注
入、清洗去胶、键合等其他半导体设备的产品开发和客户拓展。公司积极参与各领域客户新应用机台、新技术的开发设计
过程，满足多元化的市场需求。在泛半导体领域，公司进一步拓展深化核心技术在光伏、显示面板、精密光学等领域的应
用。此外，随着公司资本实力的提升，公司未来将借助外部并购等战略举措，积极物色境内外优质的标的和技术，以进一
步增强等离子体工艺核心零部件的供应能力，为客户提供一站式的产品和服务。综上所述，公司将采取双轮驱动策略持续
丰富产品布局。通过内生研发，持续优化现有产品，提升性能与质量，并拓宽产品品类；同时，借助外部并购等战略举措
，公司致力于发展成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。
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参与调研机构：40家
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2026-09-04│恒运昌(688785)2026年9月4日投资者关系活动主要内容
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1. 请问公司2026半年度的业绩情况如何？
回答：报告期内，公司实现营业收入 27,836.07 万元，主要系公司部分客户根据自身经营及生产节奏动态调整对公
司的采购进度。公司作为半导体核心零部件企业，订单一般随客户验证及量产逐步释放，公司一方面根据市场需求释放速
度及公司发展规划进行了适度的产能预增，另一方面积极推进新技术突破和重点客户新产品研发与验证导入。公司归属于
上市公司股东的净利润及归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润分别为5,235.05万元、5,033.52万元，除前述
营业收入略有下降外，主要系公司全面提升运营管理水平，持续推进研发投入和各类型人才引进，导致相关人员费用有所
增长；同时受政府补助较去年同期减少以及公司按照会计准则要求计提相应的资产减值损失增加所影响。结合公司截至报
告期末的在手订单情况及下半年产能布局，公司2026年营收有望保持良好态势。
2. 请介绍一下公司最新一代产品Cedar系列及其他新产品的研发进展
回答：Cedar系列将射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等
功能，可支撑更先进制程。截至2026上半年，公司第四代等离子体射频电源系统Cedar系列的部分机型已小批量试产；公
司对MFC传感器的研发已处于样品改造升级阶段；公司于报告期内新增一在研项目AI Model-Based RF ImpedanceMatching
System，截至报告期末处于完成模型开发并持续完善中的阶段。报告期内，公司持续推进自研产品矩阵中等离子体射频
电源系统（等离子体射频电源及匹配器）、远程等离子体源、射频离子源、等离子体直流电源、滤波器、阻抗调整器等产
品项目的进度。公司将持续加大技术研发投入、积极拓展技术应用领域，探索更多行业场景，形成多元化产品矩阵，并致
力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。
3. 请介绍一下公司报告期内的研发进展
回答：公司一直以来高度重视研发工作，结合行业发展趋势和客户需求持续推进技术创新，不断加大研发投入。报告
期内，公司研发费用4,575.24 万元，同比增长 5.64%，占营业收入比例达 16.44%；截至报告期末，公司研发人员达164
人。截至报告期末，公司已授权专利共345 项，包括发明专利 144 项，实用新型专利 98 项，外观设计专利103 项。报
告期内，公司新增一项产品化支撑技术“匹配器宽频扫频匹配技术”。公司不断通过内生研发优化现有产品并拓宽产品品
类，不断完善研发管理机制和创新激励机制，优化研发环境；同时，密切追踪最新的技术及发展趋势，开展对先进技术、
先进工艺的研究，为技术突破和产品升级提供重要的基础和保障。
4. 请介绍一下公司报告期内的客户拓展情况
回答：报告期内，公司实现营业收入 27,836.07 万元，包括自研产品24,272.21 万元，公司营收结构以现有头部客
户为主；同时，屹唐股份、菲沃泰等新客户也在逐步导入放量中。报告期内，公司所承接的研发产品数量不断扩大。随着
合作产品数量尤其是验证导入中的产品数量的不断增加，公司主要客户的新增定制需求均在不断增加。公司将持续加大研
发投入力度，承接更多客户的需求。
5. 请介绍一下公司上游元器件国产化的最新进展？
回答：公司等离子体射频电源系统等自研产品所使用的主要原材料包括电容、电阻、芯片等电子元器件、功率模块等
电气件以及钣金件等结构件。自 2021 年起，公司先后实现真空电容、陶瓷电容等元器件的国产化应用。公司结合产品设
计，在采购中积极推进国产化率的提升，注重使用本土元器件，以促进国产替代。
6. 请介绍一下公司报告期内的产能情况及产能未来布局？
回答：公司2024 年度、2025 年度、2026 半年度的产能利用率分别达到 111.24%、98.51%、102.46%。公司通过多个
措施提升产能：截至2026年7月底，子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司已通过客户验厂，下半年将逐步释放产能。
公司将持续助力其实现从试产到量产的转换；公司也在同时推进深圳产能建设，包括不断挖掘现有产能潜力、新增租赁场
地以扩大产能建设。未来，公司将重点推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目的建设，这些都将有助
于后续产能的释放，为公司产能持续提升奠定基础。
7. 请介绍一下公司募投项目的最新进展？
回答：报告期内，沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目按计划稳步推进中；截至2026半年度报告披露日，该项目
已通过客户验厂审核。营销及技术支持中心项目中的北京恒运昌已处于正式运营阶段，上海恒运昌、武汉恒运昌分别于 2
026 年 4 月及 7 月注册成立。半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目和
营销及技术支持中心项目的合肥中心处于前期准备阶段。公司将密切关注行业发展趋势及市场需求变化，在确保项目质量
与预期效益的前提下，加快推进募投项目建设。
8. 请介绍一下公司的“2026年限制性股票激励计划”？
回答：为完善长效激励机制，吸引和留住优秀人才，充分调动核心员工工作积极性和创造性，公司制定了 2026 年限
制性股票激励计划。本激励计划首次授予的激励对象人数为 82 人，占公司（含子公司）2025年员工总人数的20.25%，均
为公司（含子公司）核心员工。本次激励计划设置公司层面业绩考核，首次授予的限制性股票归属对应的考核年度为2026
年-2029年四个会计年度，业绩考核目标设置主要综合考虑公司所处行业发展趋势、当前在手订单情况、产能建设情况及
供应链国产化应用情况等因素。本期激励计划是公司上市后的首次激励，公司希望将激励作为常态化机制，通过长效激励
实现股东、公司与员工利益深度绑定，吸引并留存核心人才，激发团队内生动力，共同推动公司长远发展。
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参与调研机构：2家
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2026-08-14│恒运昌(688785)2026年8月14日投资者关系活动主要内容
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1. 请问公司目前的营收结构、在手订单及客户拓展情况如何？
回答：2025年公司实现营业收入约 5.29 亿元，以自研产品的收入为主，主要客户为拓荆科技、宏大真空、中微公司
、北方华创、微导纳米等。2026年一季度公司实现营业收入 1.24 亿元。截至公司2025年年度报告披露日，公司持有尚未
交付的在手订单共约 1.57亿元。公司将充分发挥研发和技术优势，结合市场发展前景和客户需求，不断进行新产品的研
发设计，结合公司丰富的技术和生产经验，加快推动更先进工艺制程等离子体射频电源系统的产业化应用，为客户提供性
能更优、可靠性更高的产品，推进公司长期稳定发展。同时，公司还将积极推动主营业务产品向光伏、显示面板、精密光
学等领域的拓展，不断提升公司产品性能与质量，并拓宽公司产品品类，致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整
体解决方案的平台型公司，助力公司长期稳定发展。公司2026年半年度业务情况届时请留意公司后续披露的2026年半年报
。
2. 请介绍一下公司自研产品的生产经营模式
回答：公司的自研产品等离子体射频电源系统等主要采取以销定产的生产模式，根据供货要求、产品生产周期、销售
预测等因素对生产排期和物料管理进行统筹安排，协调生产、采购和仓储等相关部门保障生产的有序进行。公司的生产流
程主要是部件加工及装配、软件烧录、检测和工艺调试等，由制造中心对原材料进行装配、 线路连接、产品测试，确保
产品性能稳定之后封装入库。
3. 请介绍一下等离子体射频电源系统的特点
回答：等离子体射频电源系统被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，也
被应用于光伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环节。等离子体射频电源
系统定制化程度较高，在公司与下游设备厂商合作过程中，一般由下游客户向公司提供产品技术指标要求和功能要求，公
司根据客户需求自主研发新产品并制作样机供下游客户验证。
4. 请介绍一下公司等离子体射频电源系统及其他新产品的研发进展
回答：历经十年，公司先后推出 CSL、Bestda、Aspen/Basalt 三代产品系列。公司第一代产品CSL系列可支持工业级
制程，主要用于一般工业领域；公司第二代产品Bestda系列可支撑成熟制程，主要面向半导体领域；第三代产品Aspen/Ba
salt系列可支撑先进制程，主要面向半导体领域。截至2025年年底，公司第四代产品 Cedar 系列等离子体射频电源系统
处于验证状态，该产品将射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等
功能，可支撑更先进制程。截至2025年年底，公司对MFCMEMS传感器的研发已处于完成初样流片及搭载测试平台阶段。结
合公司未来发展规划，在产品布局方面，公司将采取双轮驱动发展策略，通过内生研发，持续优化现有产品，提升性能与
质量，并拓宽产品品类；同时，公司未来将借助外部并购等战略举措，以进一步增强等离子体工艺核心零部件的供应能力
，为客户提供一站式的产品和服务，致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。
5. 请介绍一下公司目前的竞争优势
回答：（1）技术优势：经过十多年的持续正向研发、不断创新和积累，公司建立了“基石技术+产品化支撑技术”的
技术体系，一方面从测量、控制及架构三方面构建的底层通用的 3 大基石技术，并基于基石技术，结合半导体设备中应
用，特别是先进制程中更快速、更精准、更稳定的应用诉求和实现难点，发展出 8 大产品化支撑技术，实现了突破高端
等离子体射频电源系统的先进设计、测量和控制等难题，掌握了信号采样及处理、相位同步锁定、快速调频、脉冲控制等
等离子体射频电源系统运行中的关键技术。（2）产品优势：半导体设备及零部件行业具有“精确复制”的要求，等离子
体射频电源系统的量产必须确保高度稳定和可重复的生产工艺，且需经过精密的校准和严格的测试流程，以确保性能的一
致性和长期稳定性。在此严苛要求下，公司已具备成熟的规模化量产能力，并成为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的
战略级供应商。（3）团队优势：截至2025年年底，公司研发人员数量为158人。同时，公司汇聚了一支在等离子体射频电
源系统及半导体核心零部件行业拥有二十年以上从业经验的团队。团队成员不仅在技术研发方面拥有卓越的能力和敏锐的
洞察力，对半导体行业具有深刻理解和具有丰富的实践经验。
6. 请介绍一下公司目前的产能情况及产能未来布局
回答：2025年公司产能利用率达 98.51%。公司通过多个措施提升产能，包括积极推进子公司恒运昌真空技术（沈阳
）有限公司的建设与正式运营，助力其实现从试产到量产的跨越；同时推进深圳产能建设，加速产能落地；公司未来将逐
步推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目的建设，这些都将有助于后续产能的释放，为公司产能持续
提升奠定基础。
7. 请介绍一下公司未来的发展规划
回答：（1）持续研发与创新，保持和提高技术先进性，不断提升工艺水平和产品性能。公司将始终以客户需求作为
技术研发导向，密切追踪最新的技术及发展趋势，持续增加研发投入，不断完善研发管理机制和创新激励机制。公司将不
断丰富公司产品和技术储备，持续推进产品的更新迭代，加快推动更先进工艺制程等离子体射频电源系统的产业化应用，
为客户提供性能更优、可靠性更高的产品。在产品布局方面，公司将采取双轮驱动策略。通过内生研发和择机对外收购的
方式，持续优化现有产品，提升性能与质量，并拓宽产品品类。
（2）充分借力资本市场，重点加强先进产品产能建设。公司将在现有生产模式的基础上，在沈阳建设半导体射频电
源系统产业化中心，在深圳扩建半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地，引进性能更优、智能化水平更高、更
先进的生产制造设备、测试设备及仓储系统，并结合生产车间及数据管理系统软件，实现生产制造、经营、管理和决策的
智能优化。
（3）以客户为中心，提升技术服务，加强多元化市场开拓。公司始终以客户为中心，密切关注客户需求，强化与客
户设计研发的沟通合作，持续收集下游行业市场与技术动态信息；同时，进一步加强公司技术销售与技术服务，重点加大
培养既懂专业技术又有销售服务能力的技术精英，确保公司在产品技术路线交流、销售、服务、信息反馈等环节为客户提
供专业化的技术支持服务和解决方案。
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〖免责条款〗
1、本公司力求但不保证提供的任何信息的真实性、准确性、完整性及原创性等，投资者使
用前请自行予以核实，如有错漏请以中国证监会指定上市公司信息披露媒体为准，本公司
不对因上述信息全部或部分内容而引致的盈亏承担任何责任。
2、本公司无法保证该项服务能满足用户的要求，也不担保服务不会受中断，对服务的及时
性、安全性以及出错发生都不作担保。
3、本公司提供的任何信息仅供投资者参考，不作为投资决策的依据，本公司不对投资者依
据上述信息进行投资决策所产生的收益和损失承担任何责任。投资有风险，应谨慎至上。
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