研报评级☆ ◇688785 恒运昌 更新日期：2026-06-10◇ 通达信沪深京F10
★本栏包括【1.投资评级统计】【2.盈利预测统计】【3.盈利预测明细】【4.研报摘要】
【5.机构调研】
【1.投资评级统计】 暂无数据
【2.盈利预测统计】 暂无数据
【3.盈利预测明细】 暂无数据
【4.研报摘要】 暂无数据
【5.机构调研】(近6个月)
参与调研机构：13家
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2026-05-27│恒运昌(688785)2026年5月27日-6月2日投资者关系活动主要内容
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1. 请介绍一下公司2025年度及2026年一季度的业绩情况
回答：2025年公司实现营业收入约 5.29 亿元，同比下滑的主要原因是半导体行业具有周期波动的特性，下游半导体
设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证导入进度及交付验收节奏动态调整，进而导致对公司的采
购呈现波动。2025年公司实现归属于上市公司股东的净利润约1.14亿元，同比下滑的主要原因是持续加大较高水平的研发
投入，提高技术指标要求，推进新产品开发、产品持续升级迭代等，不断加强产品竞争力，研发费用较上年同期大幅增加
。
2026年一季度，公司实现营业收入1.24 亿元，同比下滑的主要原因是半导体行业具有周期波动的特性，下游半导体
设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证导入进度及交付验收节奏动态调整，进而导致对公司的采
购呈现波动；公司实现归属于上市公司股东的净利润 1,758.28 万元，同比下滑的主要原因是公司全面提升公司运营管理
，并持续推进研发投入和各类型人才引进，同时政府补助相对去年同期减少，且公司按照会计准则要求计提相应的资产减
值损失。
2. 请介绍一下公司等离子体射频电源系统的应用领域及特点
回答：公司的等离子体射频电源系统被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环
节，以及光伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环节。公司等离子体射频
电源系统定制化程度较高，在公司与下游设备厂商合作过程中，一般由下游客户向公司提供产品技术指标要求和功能要求
，公司根据客户需求自主研发新产品并制作样机供下游客户验证。
3. 请介绍一下公司新产品Cedar？
回答：截至2025年年底，公司第四代等离子体射频电源系统 Cedar系列处于验证状态，该产品将射频电源和匹配器整
合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等功能，可支撑更先进制程。
4. 请问2025年研发投入增长的原因？
回答：2025年，公司研发投入金额达到 8,015.92 万元，同比增长45.01%；研发投入占营业收入比例为15.14%，较上
年度增加4.92个百分点。主要系公司研发投入中人工费同比增长61.43%，公司持续加大研发投入力度，提高技术指标要求
，推进新产品开发、产品持续升级迭代等，不断加强产品竞争力。截至2025年年底，公司累计授权专利共计296项，包括
发明专利 123 项，实用新型专利 72 项，外观设计专利 101 项；截至2025年年底，公司已累计申请 490项专利，其中发
明专利 262 项，占比 53.47%。
5. 请介绍一下公司产品上游元器件的情况
回答：公司已建立稳定、高质量的供应商体系，关注供应商经营资质、生产能力、技术水平、质量管控水平以及产品
价格等多方面因素，并结合响应速度、付款条件等对供应商进行综合评定，将符合要求的供应商列入合格供应商名录，并
在供货阶段实行供应商动态管理，筛选优质供应商，持续优化采购渠道。为保证生产的连续性和稳定性，公司综合考虑原
材料的采购周期、供应商的供货能力、采购量起订门槛等因素，对常用材料建立安全库存机制。
公司等离子体射频电源系统等自研产品所使用的主要原材料包括电容、电阻、芯片等电子元器件、功率模块等电气件
以及钣金件等结构件。公司在研发过程中结合技术参数、客户要求、物料来源等因素综合考量原材料的选型，通过有针对
性地研发设计调整，不断提高产品的性能和品质。自2021年开始，公司先后在上游采购中实现了真空电容、陶瓷电容、MC
U 以及 SiC MOS、LDMOS、部分 ADC 和FPGA 等元器件的国产化应用。公司目前已确定上游元器件的全国产化方案，将持
续推进元器件的全面国产化验证工作。
6. 请介绍一下公司的生产模式
回答：公司等离子体射频电源系统等自研产品主要采取以销定产的生产模式，根据供货要求、产品生产周期、销售预
测等因素对生产排期和物料管理进行统筹安排，协调生产、采购和仓储等相关部门保障生产的有序进行。公司的生产流程
主要是部件加工及装配、软件烧录、检测和工艺调试等，由制造中心对原材料进行装配、线路连接、产品测试，确保产品
性能稳定之后封装入库。
7. 请介绍一下公司目前的产能情况
回答：公司产能已连续三年超负荷运行，2025年公司的产能利用率达到98.51%。公司将通过扩产和生产流程优化等方
式提升产能，包括积极推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的建设与正式运营，助力其由试产到正式投产；推进
深圳产能建设，这都将有助于后续产能的释放。此外，公司也将逐步推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基
地项目的建设，持续推进产能的提升。
8. 请介绍一下公司募投项目的业务范围及进展
回答：“沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目”拟主要开展半导体级等离子体射频电源系统产品的生产和销售，
统筹区域内优势资源。公司以“恒运昌真空技术（沈阳）有限公司”作为募投项目“沈阳半导体射频电源系统产业化建设
项目”的实施主体，并在积极推进该项目的建设与正式运营，助力其由试产到正式投产。
“营销及技术支持中心项目”拟通过在长三角地区、京津冀地区、中西部地区等晶圆制造集群区域设立营销及技术支
持中心，提升与晶圆厂的协同效率，保障产能快速扩张下的芯片良率与生产连续性。公司已新增全资子公司恒运昌京昇半
导体科技（北京）有限公司（简称北京恒运昌）、上海恒运昌、武汉恒运昌、合肥恒运昌作为募投项目“营销及技术支持
中心项目”的实施主体。北京恒运昌已处于正式运营阶段，上海恒运昌、武汉恒运昌、合肥恒运昌处于前期准备阶段。
“半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目”旨在提升公司等离子体射频电源系统、等离子体直流电源
、等离子体激发装置等产品的生产规模和生产效率；“研发与前沿技术创新中心项目”旨在进一步丰富和拓展公司的研发
产品储备，并对公司现有等离子体射频电源系统技术进行纵深拓展与代际升级。公司也将尽快推进“半导体与真空装备核
心零部件智能化生产运营基地项目”及“研发与前沿技术创新中心项目”的建设，持续推进产能及研发水平的提升。公司
将密切关注行业发展趋势及市场需求变化，在确保项目质量与预期效益的前提下，加快推进募投项目建设。
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参与调研机构：28家
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2026-05-19│恒运昌(688785)2026年5月19日、22日投资者关系活动主要内容
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1. 请介绍一下公司2026年一季度的业绩情况
回答：2025年公司实现营业收入约 5.29 亿元，同比下滑的主要原因是半导体行业具有周期波动的特性，下游半导体
设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证导入进度及交付验收节奏动态调整，进而导致对公司的采
购呈现波动。2025年公司实现归属于上市公司股东的净利润约1.14亿元，同比下滑的主要原因是持续加大较高水平的研发
投入，提高技术指标要求，推进新产品开发、产品持续升级迭代等，不断加强产品竞争力，研发费用较上年同期大幅增加
。
2026年一季度，公司实现营业收入1.24 亿元，同比下滑的主要原因是半导体行业具有周期波动的特性，下游半导体
设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证导入进度及交付验收节奏动态调整，进而导致对公司的采
购呈现波动；公司实现归属于上市公司股东的净利润 1,758.28 万元，同比下滑的主要原因是公司全面提升公司运营管理
，并持续推进研发投入和各类型人才引进，同时政府补助相对去年同期减少，且公司按照会计准则要求计提相应的资产减
值损失。2. 请介绍一下公司在手订单及客户拓展情况
回答：截至公司2025年年度报告披露日，公司持有尚未交付的在手订单共约1.57亿元。公司将充分发挥研发和技术优
势，结合市场发展前景和客户需求，不断进行新产品的研发设计，积极响应拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、
北京屹唐等行业头部半导体设备商需求，加快推动更先进工艺制程等离子体射频电源系统的产业化应用，为客户提供性能
更优、可靠性更高的产品，推进公司长期稳定发展。
3. 请介绍一下公司的技术服务业务
回答：公司技术服务主要系为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修服务。等离子体射频电源系统在晶圆
厂使用过程中会出现老化、故障等问题，需要及时进行更换或维修。国内主要晶圆厂被列入实体清单后，无法继续向原海
外设备供应商采购备件或申请维修服务，公司为此承接了进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修业务。
4. 请介绍一下等离子体射频电源系统的特性
回答：公司的等离子体射频电源系统被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环
节，以及真空镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环节。
半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，等离子体射频电源系统等核心部件需要得到半导体
设备商及晶圆厂的双重验证，需要经历功能验证、上机验证、工艺验证、晶圆厂生产验证等多个验证环节，验证程序复杂
、验证难度大、验证周期长。等离子体射频电源系统为半导体设备的核心零部件之一，与产品良率直接相关。等离子体射
频电源系统要想达到高功率、高效率，其内部电路、结构和算法设计复杂，且下游客户在实际量产应用时，对于频率精度
、响应时间、匹配精度、匹配时间有着更为严苛的要求，这需要等离子体射频电源系统供应商具有丰富的技术和经验积累
，并配合客户长期、共同不断调试，且一旦产品确定后不会轻易更改。
5. 请介绍一下公司的技术优势
回答：历经十余年的持续研发、不断创新和积累，针对半导体设备尤其是先进制程中对高速、精准、稳定性能的严苛
需求及技术瓶颈，公司构建了以‘基石技术+产品化支撑技术’为核心的技术架构，并基于‘等离子体电源全数字测量技
术’、‘等离子体电源全数字环路控制技术’及‘等离子体电源高效功放技术’三大基石技术，并衍生出八大产品化支撑
技术。
公司通过“技术研发—成果转化—产业应用”进行全链条创新，公司自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑成熟制
程，第三代产品Aspen系列可支撑先进制程，第四代Cedar系列等离子体射频电源系统可支撑更先进制程。公司将持续致力
于高端半导体设备核心零部件的研发生产，通过自主创新，提高公司产品的技术先进性，丰富公司产品种类。
6. 请介绍一下公司的采购模式及公司产品上游元器件的情况
回答：公司已建立稳定、高质量的供应商体系，关注供应商经营资质、生产能力、技术水平、质量管控水平以及产品
价格等多方面因素，并结合响应速度、付款条件等对供应商进行综合评定，将符合要求的供应商列入合格供应商名录，并
在供货阶段实行供应商动态管理，筛选优质供应商，持续优化采购渠道。为保证生产的连续性和稳定性，公司综合考虑原
材料的采购周期、供应商的供货能力、采购量起订门槛等因素，对常用材料建立安全库存机制。公司等离子体射频电源系
统等自研产品所使用的主要原材料包括电容、电阻、芯片等电子元器件、功率模块等电气件以及钣金件等结构件。公司在
研发过程中结合技术参数、客户要求、物料来源等因素综合考量原材料的选型，通过有针对性地研发设计调整，不断提高
产品的性能和品质。
自2021年开始，公司先后在上游采购中实现了真空电容、陶瓷电容、MCU 以及 SiC MOS、LDMOS、部分 ADC 和 FPGA
等元器件的国产化应用。公司目前已确定上游元器件的全国产化方案，将持续推进元器件的全面国产化验证工作。
7. 请介绍一下公司募投项目的进度
回答：公司以“恒运昌真空技术（沈阳）有限公司”作为募投项目“沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目”的实
施主体，并在积极推进该项目的建设与正式运营，助力其由试产到正式投产。同时，公司已新增全资子公司恒运昌京昇半
导体科技（北京）有限公司（简称北京恒运昌）、上海恒运昌、武汉恒运昌、合肥恒运昌作为募投项目“营销及技术支持
中心项目”的实施主体。北京恒运昌已处于正式运营阶段，上海恒运昌、武汉恒运昌、合肥恒运昌处于前期准备阶段。公
司也将尽快推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目及研发与前沿技术创新中心项目的建设，持续推进
产能及研发水平的提升。公司将密切关注行业发展趋势及市场需求变化，在确保项目质量与预期效益的前提下，加快推进
募投项目建设。
8. 请介绍一下全球及中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统市场规模
回答：根据弗若斯特沙利文数据，2024 年全球等离子体射频电源系统市场规模达 53.4 亿美元，过去五年复合增速
达8.5%。未来全球等离子体射频电源系统市场规模将加速增长，2025-2029 年复合增长率预计为10.6%。随着全球半导体
制造规模的不断扩大，等离子体射频电源系统通过提高功率转换效率、优化等离子体产生和控制技术，不断推动其在半导
体领域的应用和发展。2024年中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场规模达65.6亿元，未来中国大陆半导体行业
等离子体射频电源市场规模将继续快速增长，2025-2029年复合增长率预计为15.6%。根据 2025 年 10 月中国共产党第二
十届中央委员会第四次全体会议所提出的《中共中央关于制定国民经济和社会发展第十五个五年规划的建议》，要全链条
推动集成电路、工业母机、高端仪器等重点领域关键核心技术攻关取得决定性突破。加强基础研究战略性、前瞻性、体系
化布局，提高基础研究投入比重，加大长期稳定支持。强化科学研究、技术开发原始创新导向，优化有利于原创性、颠覆
性创新的环境，产出更多标志性原创成果。
公司将持续以“成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司”为目标，始终以客户需求作为技
术研发导向，密切追踪最新的技术及发展趋势，持续增加研发投入，不断完善研发管理机制和创新激励机制，不断开展对
先进技术、先进工艺的研究。
9. 公司后续是否有出海计划？
回答：公司于2025年11月在德国以境外直接投资的方式设立全资子公司德国恒运昌。在未来发展规划上，德国恒运昌
将作为恒运昌全球化布局中的重要战略支点，承担海外研发、技术融合、市场拓展三大职能，助力半导体设备核心零部件
从“引进来”到“走出去”。关于德国子公司的后续进展，请留意公司在官方渠道披露的相关公告。
10. 请问公司目前是否有股权激励计划？
回答：公司已通过深圳市恒运昌投资中心（有限合伙）和深圳市恒运昌投资发展中心（有限合伙）作为员工持股平台
实行了员工持股计划, 充分调动公司骨干员工的工作积极性，提高团队的稳定性和凝聚力。同时，公司核心员工于公司上
市前也参与了公司战略配售。未来公司若有相关激励计划或安排，公司将按照监管要求，及时履行信息披露义务，敬请以
公司在官方渠道发布的公告为准。
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参与调研机构：15家
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2026-05-12│恒运昌(688785)2026年5月12日、15日投资者关系活动主要内容
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1. 请介绍一下公司2025年度及2026年一季度的业绩情况
回答：2025年公司实现营业收入约 5.29 亿元，同比下滑2.09%。下滑原因主要是半导体行业具有周期波动的特性，
下游半导体设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证导入进度及交付验收节奏动态调整，进而导致
对公司的采购呈现波动。2025年公司实现归属于上市公司股东的净利润约1.14亿元，同比下滑约19.57%，主要原因是持续
加大较高水平的研发投入，提高技术指标要求，推进新产品开发、产品持续升级迭代等，不断加强产品竞争力，研发费用
较上年同期大幅增加所致。2026年一季度，公司实现营业收入1.24 亿元，同比下降 12.08%，原因延续2025年年底以来的
情况；公司实现归属于上市公司股东的净利润 1,758.28 万元，与上年同期相比减少，主要系公司全面提升公司运营管理
，并持续推进研发投入和各类型人才引进；同时政府补助相对去年同期减少，且公司按照会计准则要求计提相应的资产减
值损失所致。
2. 请介绍一下公司2025年主营业务收入分产品情况
回答：公司2025年的主营业务收入按产品分类为三大板块。来自自研产品的收入约4.15亿元，占营收比例为78.38%；
来自引进产品的收入约0.87亿元，占营收比例为16.36%；来自技术服务的收入约0.28亿元，占营收比例为5.27%。
3. 请介绍一下公司在手订单及客户拓展情况
回答：截至公司2025年年度报告披露日，公司持有尚未交付的在手订单共约1.57亿元。公司将充分发挥研发和技术优
势，结合市场发展前景和客户需求，不断进行新产品的研发设计，结合公司丰富的技术和生产经验，积极响应拓荆科技、
中微公司、北方华创、微导纳米、北京屹唐等行业头部半导体设备商需求，加快推动更先进工艺制程等离子体射频电源系
统的产业化应用，为客户提供性能更优、可靠性更高的产品，推进公司长期稳定发展。同时，公司还将积极推动主营业务
产品向光伏、显示面板、精密光学等领域的拓展，通过内生研发等方式，不断提升公司产品性能与质量，并拓宽公司产品
品类，助力公司长期稳定发展。
4. 请介绍一下公司的研发投入情况
回答：公司一直以来高度重视研发工作，结合行业发展趋势和客户需求持续推进技术创新，不断加大研发投入，报告
期内，公司研发投入金额达到 8,015.92 万元，同比增长 45.01%，研发投入占营业收入比例达 15.14%。报告期内，公司
不断通过内生研发优化现有产品并拓宽产品品类，不断完善研发管理机制和创新激励机制，优化研发环境；同时，密切追
踪最新的技术及发展趋势，开展对先进技术、先进工艺的研究，为技术突破和产品升级提供重要的基础和保障。
5. 请介绍一下公司的技术服务业务
回答：公司技术服务主要系为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修服务。等离子体射频电源系统在晶圆
厂使用过程中会出现老化、故障等问题，需要及时进行更换或维修。国内主要晶圆厂被列入实体清单后，无法继续向原海
外设备供应商采购备件或申请维修服务，公司为此承接了进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修业务。
6. 请介绍一下公司产品上游元器件的情况
回答：公司等离子体射频电源系统等自研产品所使用的主要原材料包括电容、电阻、芯片等电子元器件、功率模块等
电气件以及钣金件等结构件。公司在研发过程中结合技术参数、客户要求、物料来源等因素综合考量原材料的选型，通过
有针对性地研发设计调整，不断提高产品的性能和品质。自 2021 年开始，公司先后在上游采购中实现了真空电容、陶瓷
电容、MCU 以及 SiC MOS、LDMOS、部分ADC 和 FPGA 等元器件的国产化应用。
7. 请介绍一下公司的盈利模式和销售模式
回答：公司主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流 电源、各种配件的研发、生产、销
售，通过向半导体、光伏、显示面板、其他工业等领域的客户销售以等离子体射频电源系统为代表的自研产品，以及引进
真空泵、质量流量计等真空获得和流体控制相关的核心零部件，同时公司为晶圆厂和设备商提供等离子体射频电源系统原
位替换及维修服务，以此实现收入和利润。公司产品销售采取直销模式，公司向下游客户直接销售与设备配套的等离子体
射频电源系统等自研产品，以及真空泵、质量流量计等引进产品。
8. 请介绍一下公司募投项目的进度
回答：公司产能已连续三年超负荷运行，2025年公司的产能利用率达到98.51%，公司将通过扩产和生产流程优化等方
式提升产能，包括积极推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的建设与正式运营，助力其由试产到正式投产；同时
，公司将新增全资子公司恒运昌京昇半导体科技（北京）有限公司（简称北京恒运昌）、上海恒运昌、武汉恒运昌、合肥
恒运昌作为募投项目“营销及技术支持中心项目”的实施主体。北京恒运昌已处于正式运营阶段，上海恒运昌、武汉恒运
昌、合肥恒运昌处于前期准备阶段。公司也将尽快推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目及研发与前
沿技术创新中心项目的建设，持续推进产能及研发水平的提升。公司将密切关注行业发展趋势及市场需求变化，在确保项
目质量与预期效益的前提下，加快推进募投项目建设。
9. 请介绍一下公司目前的人才培育制度
回答：公司根据业务发展需求，制定短期、中期和长期相结合的人力资源规划，建立、健全公司科学化、规范化的人
力资源管理系统，全面提升员工素质及公司管理水平与业务水平。公司根据未来技术发展规划和现有人才储备状况，将不
断加强人才队伍的建设工作，通过各种方式重点激励 在技术研发、产品创新、专利申请等方面做出贡献的研发人才。公
司还将持续引进各类专业人才，包括招募更多具备前瞻性、共性基础技术研究能力的技术人才，注重国内外高端专业技术
人才、各领域高端管理人才的引进，优化人才结构。公司将进一步加强人才梯队建设，坚持内部培养和外部招聘相结合的
战略方针，加大人力资源成本投入，优化并完善更具竞争力的薪酬福利体系，吸引更多优秀人才，打造一流的人才队伍，
满足公司快速发展的需要。截至公司2025年年报披露之日，公司计划引进海外高端人才。此外，公司还将进一步扩大与有
关高校科研院所的合作，以实训基地、校外实验室、联合实验室、研究生联合培养站点等为载体，丰富产、学、研、训多
种合作模式，内外并举，实现公司未来可持续发展。
10. 请介绍一下中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统市场规模
回答：根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场规模达65.6亿元，未来中国
大陆半导体行业等离子体射频电源市场规模将继续快速增长，2025-2029 年复合增长率预计为15.6%。
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参与调研机构：5家
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2026-05-07│恒运昌(688785)2026年5月7日—8日投资者关系活动主要内容
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1. 请介绍一下公司2025年度及2026年一季度的业绩情况
回答：2025年公司实现营业收入约 5.29 亿元，同比下滑2.09%。下滑原因主要是半导体行业具有周期波动的特性，
下游半导体设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证导入进度及交付验收节奏动态调整，进而导致
对公司的采购呈现波动。2025年公司实现归属于上市公司股东的净利润约1.14亿元，同比下滑约19.57%，主要原因是持续
加大较高水平的研发投入，提高技术指标要求，推进新产品开发、产品持续升级迭代等，不断加强产品竞争力，研发费用
较上年同期大幅增加所致。2026年一季度，公司实现营业收入 1.24 亿元，同比下降 12.08%，原因延续2025年年底以来
的情况；公司实现归属于上市公司股东的净利润 1,758.28 万元，与上年同期相比减少，主要系公司全面提升公司运营管
理，并持续推进研发投入和各类型人才引进；同时政府补助相对去年同期减少，且公司按照会计准则要求计提相应的资产
减值损失所致。
2. 请介绍一下公司新产品Cedar的特性与优势？
回答：公司于2025年推出第四代产品Cedar系列等离子体射频电源系统。该产品为射频电源及匹配器的一体机。公司
于2025年Q1开始研发Cedar系列，并于2025年Q4推出其样机。该系列产品具备“多个中心阻抗应用”、“快速数据及大数
据采集”等功能，可支撑更先进制程。
3. 请介绍一下公司主要产品的验证进展
回答：截至2025年年底，公司所承接的主要客户的研发产品数量不断扩大。随着合作产品数量尤其是验证导入中的产
品数量的不断增加，公司主要客户的新增定制需求均在不断增加。截至2025年年底，公司主要产品（即射频电源和匹配器
）于主要客户处验证导入中的数量共计76个。
4. 请介绍一下公司自研产品的情况及其与引进产品的关系
回答：公司目前的引进产品的产品种类聚焦于目前的真空泵、质量流量计、等离子体直流电源。其中，真空泵客户目
前以精密光学镀膜及半导体设备等客户为主，公司将拓展更多半导体、光伏及显示面板客户的应用，并在公司其他自研产
品客户中拓展市场空间；质量流量计目前收入较少，主要集中于精密光学镀膜客户，公司将拓展在半导体、光伏及显示面
板等领域的市场空间。同时公司将加快自研质量流量计的研发落地和出货，以引进业务带动自研产品的验证和销售；引进
的等离子体直流电源目前以光伏、面板、精密光学等领域的客户为主，公司自研的等离子体直流电源已批量出货，引进和
自研等离子体直流电源相互补充，为客户直流溅射镀膜工艺提供更多选择。公司引进产品作为等离子体工艺整体解决方案
的一部分，与自研产品相互补充，共同构成等离子体工艺的核心零部件整体解决方案。
5. 请介绍一下目前的行业发展情况
回答：根据 SEMI 预计，2025 年全球半导体设备总销售额预计达1,330 亿美元，同比增长 13.7%，创历史新高，并
持续保持增长态势；2026 年、2027 年有望继续攀升至 1,450 亿和 1,560 亿美元。2025 年全球用于前端设施的晶圆厂
设备支出自 2020 年以来连续六年增长，较去年同比上升 2%，达 1,100 亿美元。与此同时，中国大陆半导体市场的快速
发展、国产替代进入加速阶段、晶圆厂扩产等趋势，也为国内半导体零部件厂商创造了巨大的发展机遇和市场空间。此外
，中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场仍呈现由美系海外巨头厂商高度垄断的竞争格局，半导体设备厂商对
于零部件自主可控的要求愈发紧迫，伴随国产替代的整体趋势，国产等离子体射频电源系统市场也将有一定的发展空间。
6. 请介绍一下公司的核心技术及衡量公司主营产品技术水平的关键指标
回答：历经十余年的持续研发、不断创新和积累，针对半导体设备尤其是先进制程中对高速、精准、稳定性能的严苛
需求及技术瓶颈，公司构建了以‘基石技术+产品化支撑技术’为核心的技术架构，并基于‘等离子体电源全数字测量技
术’、‘等离子体电源全数字环路控制技术’及‘等离子体电源高效功放技术’三大基石技术，并衍生出八大产品化支撑
技术。衡量公司主营产品或核心技术的关键指标包括但不限于：调谐时间、调谐频率重复性、功率精度、开启响应时间、
关闭响应时间、功率重复性、脉冲上升时间、脉冲下降时间等。
7. 请介绍一下公司目前的产能情况
回答：公司产能已连续三年超负荷运行，2025年公司的产能利用率达到98.51%。公司通过扩产和生产流程优化等方式
提升产能，包括积极推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的建设与正式运营，助力其由试产到正式投产；推进深
圳产能建设，这都将有助于后续产能的释放。此外，公司也将逐步推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地
项目的建设，持续推进产能的提升。
8. 请介绍一下公司目前的员工结构
回答：截至2025年年底，公司员工总数达405人。公司研发人员158人，学历本科及以上研发人员占研发人员总数比例
为84.81%。公司将根据未来技术发展规划和现有人才储备状况，将不断加强人才队伍的建设工作，通过各种方式重点激励
在技术研发、产品创新、专利申请等方面做出贡献的研发人才。公司还将持续引进各类专业人才，包括招募更多具备前瞻
性、共性基础技术研究能力的技术人才，注重国内外高端专业技术人才、各领域高端管理人才的引进，优化人才结构，打
造一流的人才队伍，满足公司快速发展的需要。此外，公司还将进一步扩大与有关高校科研院所的合作，在产、学、研、
训等多种合作模式的基础上，内外并举，实现公司未来可持续发展。
9. 请介绍一下公司目前主要的控股公司情况
回答：公司目前拥有4个全资子公司。深圳市百世达半导体设备有限公司的主营业务为等离子体射频电源系统等半导
体设备核心零部件的销售；恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的主营业务为等离子体射频电源系统等半导体设备核心零部
件的生产。恒运昌京昇半导体科技（北京）有限公司的主营业务为等离子体射频电源系统的技术服务与支持。此外，为进
一步推进国际化进程，公司于 2025 年 11月在德国以境外直接投资的方式设立全资子公司德国恒运昌。在未来发展规划
上，德国恒运昌将作为恒运昌全球化布局中的重要战略支点，承担海外研发、技术融合、市场拓展三大职能。
10. 请介绍一下公司在知识产权方面的进展
回答：截至2025年年底，公司累计授权专利共计296项，包括发明专利 123 项，实用新型专利 72 项，外观设计专利
101 项；截至2025年年底，公司已累计申请 490 项专利，其中发明专利 262 项，占比 53.47%。
11. 公司目前是否有利润分配的计划？
回答：公司已于2026年4月28日发布《2025 年年度利润分配方案的公告》，公司拟向全体股东每 10 股派发现金红利
8.00 元（含税）。截至2026年3月31日，公司总股本 67,701,688.00 股，以此计算合计拟派发现金红利5,416.14万元（
含税），待股东会审议通过后执行。
12. 请介绍一下公司前十大流通股东
回答：截至2026年3月31日，公司前10名无限售条件股东包括证券投资基金、全国社保基金、养老基金及QFII等，具
体如下：中国建设银行股份有限公司—南方信息创新混合型证券投资基金、中国银行股份有限公司—易方达供给改革灵活
配置混合型证券投资基金、李文、全国社保基金六零二组合、中国银行—易方达积极成长证券投资基金、太平人寿保险有
限公司、澳门金融管理局—自有资金、科威特政府投资局—自有资金、交通银行股份有限公司—易方达竞争优势企业混合
型证券投资基金、基本养老保险基金—六零五二组合
13. 请问公司目前是否有股权激励计划？
回答：公司已通过深圳市恒运昌投资中心（有限合伙）和深圳市恒运昌投资发展中心（有限合伙）作为员工持股平台
实行了员工持股计划, 充分调动公司骨干员工的工作积极性，提高团队的稳定性和凝
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