经营分析☆ ◇688146 中船特气 更新日期：2025-08-23◇ 通达信沪深京F10
★本栏包括【1.主营业务】【2.主营构成分析】【3.前5名客户营业收入表】【4.前5名供应商采购表】
【5.经营情况评述】
【1.主营业务】
电子特种气体及三氟甲磺酸系列产品的研发、生产和销售。
【2.主营构成分析】
截止日期:2024-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
集成电路(行业) 11.78亿 61.07 3.65亿 63.65 31.00
显示面板(行业) 4.09亿 21.19 7609.21万 13.27 18.62
医药(行业) 1.50亿 7.75 5874.71万 10.24 39.28
其他(行业) 1.19亿 6.17 5113.48万 8.91 42.95
化工材料(行业) 3386.08万 1.76 1184.09万 2.06 34.97
显示材料(行业) 2492.94万 1.29 602.96万 1.05 24.19
锂电新能源(行业) 1469.37万 0.76 465.38万 0.81 31.67
─────────────────────────────────────────────────
电子特种气体(产品) 16.95亿 87.89 4.74亿 82.65 27.97
三氟甲磺酸系列(产品) 2.06亿 10.70 7243.51万 12.63 35.09
其他业务(产品) 2709.78万 1.41 2709.78万 4.72 100.00
─────────────────────────────────────────────────
华东地区(地区) 6.34亿 32.86 2.16亿 37.70 34.13
境外(地区) 4.69亿 24.34 1.41亿 24.61 30.08
华中地区(地区) 3.04亿 15.74 6912.66万 12.05 22.77
华北地区(地区) 1.82亿 9.42 5534.44万 9.65 30.46
华南地区(地区) 1.23亿 6.37 2737.54万 4.77 22.28
西南地区(地区) 8349.64万 4.33 1339.27万 2.33 16.04
东北地区(地区) 6955.56万 3.61 1710.87万 2.98 24.60
西北地区(地区) 3730.25万 1.93 673.93万 1.17 18.07
其他业务(地区) 2709.78万 1.41 2709.78万 4.72 100.00
─────────────────────────────────────────────────
直销模式-非寄售模式(销售模式) 12.24亿 63.48 3.28亿 57.11 26.76
贸易商(销售模式) 5.67亿 29.41 1.75亿 30.53 30.87
直销模式-寄售模式(销售模式) 1.10亿 5.70 4381.99万 7.64 39.86
其他业务(销售模式) 2709.78万 1.41 2709.78万 4.72 100.00
─────────────────────────────────────────────────
截止日期:2023-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
集成电路(行业) 9.78亿 60.51 3.86亿 64.87 39.46
显示面板(行业) 4.25亿 26.28 1.20亿 20.09 28.14
其他(行业) 1.13亿 6.99 6004.66万 10.09 53.13
医药(行业) 5841.27万 3.61 1633.47万 2.75 27.96
显示材料(行业) 1973.69万 1.22 721.29万 1.21 36.55
化工材料(行业) 1361.16万 0.84 316.10万 0.53 23.22
锂电新能源(行业) 863.97万 0.53 275.69万 0.46 31.91
─────────────────────────────────────────────────
电子特种气体(产品) 14.86亿 91.94 5.36亿 90.07 36.06
三氟甲磺酸系列(产品) 1.00亿 6.19 2927.47万 4.92 29.26
其他业务(产品) 3019.53万 1.87 2981.54万 5.01 98.74
─────────────────────────────────────────────────
华东地区(地区) 5.17亿 31.99 2.07亿 34.71 39.94
境外合计(地区) 3.27亿 20.20 1.08亿 18.16 33.09
华中地区(地区) 2.79亿 17.25 9325.97万 15.67 33.44
华北地区(地区) 1.71亿 10.58 7024.35万 11.81 41.08
华南地区(地区) 1.24亿 7.69 3035.14万 5.10 24.43
东北地区(地区) 7770.24万 4.81 3090.29万 5.19 39.77
西北地区(地区) 4862.67万 3.01 1233.09万 2.07 25.36
西南地区(地区) 4210.87万 2.61 1351.10万 2.27 32.09
其他业务(地区) 3019.53万 1.87 2981.54万 5.01 98.74
─────────────────────────────────────────────────
直销模式(销售模式) 10.80亿 66.84 3.95亿 41.17 36.60
非寄售模式(销售模式) 10.57亿 65.39 3.85亿 40.03 36.38
贸易商(销售模式) 5.06亿 31.29 1.70亿 17.67 33.56
寄售模式(销售模式) 2344.39万 1.45 1091.51万 1.14 46.56
─────────────────────────────────────────────────
截止日期:2022-06-30
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
电子特种气体(产品) 8.58亿 89.82 3.49亿 89.08 40.63
三氟甲磺酸系列(产品) 7790.77万 8.16 2587.34万 6.61 33.21
其他业务(产品) 1929.20万 2.02 1686.49万 4.31 87.42
─────────────────────────────────────────────────
境内-华东地区(地区) 2.92亿 30.53 --- --- ---
境内-华中地区(地区) 1.61亿 16.90 --- --- ---
境外-中国台湾(地区) 1.28亿 13.41 --- --- ---
境内-华北地区(地区) 9898.81万 10.36 --- --- ---
境内-华南地区(地区) 7773.69万 8.14 --- --- ---
境内-东北地区(地区) 5091.49万 5.33 --- --- ---
境内-西南地区(地区) 4214.04万 4.41 --- --- ---
境内-西北地区(地区) 3654.00万 3.83 --- --- ---
境外-新加坡(地区) 2888.30万 3.02 --- --- ---
其他业务(地区) 1929.20万 2.02 1686.49万 4.31 87.42
境外-美国(地区) 920.38万 0.96 --- --- ---
境外-日本(地区) 547.38万 0.57 --- --- ---
境外-马来西亚(地区) 244.99万 0.26 --- --- ---
境外-法国(地区) 220.62万 0.23 --- --- ---
境外-德国(地区) 21.40万 0.02 --- --- ---
─────────────────────────────────────────────────
直销模式-非寄售模式(销售模式) 4.23亿 44.27 --- --- ---
贸易商(销售模式) 3.18亿 33.34 --- --- ---
直销模式-寄售模式(销售模式) 1.95亿 20.37 --- --- ---
其他业务(销售模式) 1929.20万 2.02 1686.49万 4.31 87.42
─────────────────────────────────────────────────
截止日期:2021-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
电子特种气体(产品) 14.94亿 86.21 6.02亿 86.16 40.33
三氟甲磺酸系列(产品) 1.47亿 8.47 5218.74万 7.46 35.58
其他业务(产品) 9234.91万 5.33 4458.72万 6.38 48.28
─────────────────────────────────────────────────
境内-华东地区(地区) 5.37亿 31.00 --- --- ---
境内-华中地区(地区) 3.14亿 18.15 --- --- ---
境内-华北地区(地区) 1.72亿 9.92 --- --- ---
境外-中国台湾(地区) 1.71亿 9.89 --- --- ---
境内-西南地区(地区) 1.34亿 7.72 --- --- ---
境内-华南地区(地区) 1.19亿 6.86 --- --- ---
其他业务(地区) 9234.91万 5.33 4458.72万 6.38 48.28
境内-东北地区(地区) 6252.80万 3.61 --- --- ---
境内-西北地区(地区) 5613.90万 3.24 --- --- ---
境外-新加坡(地区) 4534.91万 2.62 --- --- ---
境外-美国(地区) 1216.86万 0.70 --- --- ---
境外-日本(地区) 1169.53万 0.67 --- --- ---
境外-马来西亚(地区) 350.67万 0.20 --- --- ---
境外-法国(地区) 147.91万 0.09 --- --- ---
─────────────────────────────────────────────────
直销模式-非寄售模式(销售模式) 8.35亿 48.16 --- --- ---
贸易商(销售模式) 4.80亿 27.70 --- --- ---
直销模式-寄售模式(销售模式) 3.26亿 18.81 --- --- ---
其他业务(销售模式) 9234.91万 5.33 4458.72万 6.38 48.28
─────────────────────────────────────────────────
【3.前5名客户营业收入表】
截止日期:2024-12-31
前5大客户共销售8.30亿元，占营业收入的43.03%
┌───────────────────────┬───────────┬───────────┐
│客户名称 │ 营收额(万元)│ 占比(%)│
├───────────────────────┼───────────┼───────────┤
│长江存储 │ 26686.33│ 13.84│
│华立企业股份有限公司 │ 22139.38│ 11.48│
│力森诺科 │ 13144.97│ 6.82│
│中芯国际 │ 13035.80│ 6.76│
│京东方 │ 7981.44│ 4.14│
│合计 │ 82987.92│ 43.03│
└───────────────────────┴───────────┴───────────┘
【4.前5名供应商采购表】
截止日期:2024-12-31
前5大供应商共采购6.49亿元，占总采购额的37.31%
┌───────────────────────┬───────────┬───────────┐
│供应商名称 │ 采购额(万元)│ 占比(%)│
├───────────────────────┼───────────┼───────────┤
│国网河北省电力有限公司 │ 27847.73│ 16.00│
│赣州海盛钨业股份有限公司 │ 11273.64│ 6.48│
│中色（天津）新材料科技有限公司 │ 10145.59│ 5.83│
│衢州南高峰化工股份有限公司 │ 9214.12│ 5.29│
│南昌硬质合金有限责任公司 │ 6467.31│ 3.71│
│合计 │ 64948.39│ 37.31│
└───────────────────────┴───────────┴───────────┘
【5.经营情况评述】
截止日期:2025-06-30
●发展回顾:
一、报告期内公司所属行业及主营业务情况说明
（一）所属行业发展情况
公司主要从事电子特种气体及三氟甲磺酸系列产品的研发、生产和销售，产品主要应用于集成电路、显
示面板等半导体制造工艺。
根据《国民经济行业分类》（GB/T4754—2017），公司的国民经济行业分类为“39计算机、通信和其他
电子设备制造业”—“398电子元件及电子专用材料制造”—“3985电子专用材料制造”。根据《战略性新
兴产业重点产品和服务指导目录》（2016版），公司属于“1.3电子核心产业”—“1.3.5关键电子材料”。
根据《战略性新兴产业分类（2018）》，公司的战略新兴产业分类为“3新材料产业”—“3.3先进石化化工
新材料”—“3.3.6专用化学品及材料制造”—“3985*电子专用材料制造”。根据《上海证券交易所科创板
企业发行上市申报及推荐暂行规定（2024年4月修订）》，公司属于“新材料领域”的高新技术产业和战略
新兴产业。
1.电子特种气体行业
《工业战略性新兴产业分类目录（2023）》在电子专用材料制造的重点产品部分，将电子气体分为电子
特种气体和电子大宗气体。
①发展阶段
20世纪60年代，随着电子工业等高新技术的发展，出现了电子气体及其它特殊用途的高纯气和混合气，
统称为特种气体。
20世纪80-90年代，国外集成电路产业已成规模。全球各主要气体公司相继成立了特种气体部门，或设
立专门生产和供应各种高纯气体及混合气体的类似机构。同时，国外大型气体公司逐步建立了具有自己特色
、分工明确和门类齐全的气体控制体系。这个阶段，我国的电路还处于晶体管时代，部分高端集成电路产品
基本以进口为主。国内电子气体工业亦刚刚起步、发展还不完善，多处于理论探索及初步实验阶段，特种气
体品种和纯度大大落后于国外。
21世纪，跨国气体公司通过大量兼并收购，最终形成了以美国空气集团、法国液化空气、德国林德、日
本大阳日酸为首的几大巨头气体公司，垄断格局形成。我国通过多个渠道对气体行业提供资金及政策支持，
也因为半导体产业的高速发展和集成电路产业国产化率进程加快，国产电子气体的研究及产业化生产开始加
速。2002年，公司前身成功研发出纯度高达99.9%的三氟化氮气体，填补了国内空白，打破了国外技术垄断
。2007年，公司前身首创以三氟化氮为原材料的合成技术，成功研发了电子级六氟化钨。我国结束了国产电
子特种气体无法大规模批量稳定生产的历史。
近年来，国内电子气体不断实现先进制程所需气体品种的技术突破，与国外的技术代差逐渐缩小，国产
气越来越多地进入下游客户的供应链。以美国为代表的西方国家，不断加大对国内集成电路行业打压，促使
国内电子特气行业在研发、产业化等方面进一步提速。
②基本特点
电子特种气体是集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等行业生产制造过程中不可或缺的关键性材料
，是集成电路制造的第二大制造材料，仅次于硅片，占晶圆制造成本的13%。电子特种气体广泛应用于光刻
、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节，对于纯度、稳定性、包装容器等具有较高的要求。电子特种
气体生产涉及合成、纯化、分析检测、充装等多项工艺技术，具有较高技术壁垒。
集成电路、显示面板、光伏等行业所用电子特种气体数量超过100种，国内主要生产企业为中船特气、
南大光电、昊华科技、华特气体、绿菱气体等。国内电子特种气体企业整体发展时间较短，在产品种类、工
艺水平、综合服务能力等方面依然与林德、液化空气、大阳日酸、SKM等国际气体公司有差距，而且这种差
距需要一定时间完成创新迭代。由于半导体产线上原材料纯度和杂质含量（ppm级甚至ppb级）细小的偏差可
能造成整条产线产品良率的下降，客户的试错成本很高，加大了国内企业进入新产品、新市场的难度。
电子特种气体作为关键性电子材料，近年来得到国家产业政策的大力支持。国家发改委、科技部、工信
部、财政部、国家税务总局等部门相继出台一系列产业支持政策，有力推动了电子特种气体产业的发展。国
内气体企业纷纷加大研发投入，不断突破技术难关，逐步实现电子特种气体产品的国产替代。同时，持续深
化在集成电路先进制程、新型显示等高端应用场景的研究布局，推动国产特气产品向高附加值领域渗透。
③主要技术门槛
电子特种气体在其生产过程中涉及电解氟化、化学合成、纯化、混合气配制、充装、痕量杂质分析检测
、三废绿色环保处理以及循环使用等多项工艺核心技术，同时客户对产品纯度、质量稳定性等的高要求，对
拟进入者形成了较高的技术门槛。具体关键技术简介如下：
电解氟化：电解制氟技术是稳定、高效地制备含氟化合物的关键技术，电解槽的设计、原材料配比、反
应参数调节、自动化水平等方面的研究水平决定着反应收率、本质安全水平等。化学合成：化学合成技术是
电子特种气体制备过程中应用最广泛，也是最为核心的技术，根据反应机理的不同包括卤化反应、催化技术
、不对称合成技术、分子拆分技术等。不同的工艺路线决定产品的成本、市场竞争力以及产品的生命周期。
纯化技术：电子特种气体对产品纯度有较高的要求，纯化技术是电子特种气体实现应用的关键，主要纯
化技术有精馏技术以及借助难分离杂质的化学特性，通过添加其它反应物实现其靶向反应，从而转化成易分
离组分或者产物的化学纯化技术。
混合气配置：混配技术是混合气生产的通用核心技术。电子混合气高效精准配制技术是实现多种混合电
子气高效精准配制和规模化生产的关键。
充装技术：充装技术是作为产品从公司到客户的纽带技术，在电子特气生产中有着不可或缺的地位，充
装技术的成熟度、钢瓶处理技术等直接影响产品质量稳定性。
痕量杂质分析检测：痕量杂质分析检测技术是电子特气质量合格稳定的保证，高纯电子气体中气相杂质
、金属离子和碳氟化合物等痕量杂质分析技术直接决定产品品质。
三废绿色环保处理及循环使用：为了满足日益严格的环保要求，生产研发过程中副产品及三废的循环利
用，对于降低污染物排放和回收资源实现二次创收具有重要的意义。
2.三氟甲磺酸系列产品
三氟甲磺酸系列产品具有产品品种多、生产规模小、产品附加值高等特点。目前公司可生产的产品有三
氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐、三氟甲磺酸三甲基硅酯、双（三氟甲磺酰）亚胺锂、三氟甲磺酸锂等产品。
三氟甲磺酸是目前已知最强有机酸，是万能的合成工具，其系列产品具有对环境友好、催化作用强等特
点，广泛应用于医药、农药、香料、有机硅及含氟新材料等行业。如在有机硅领域可替代硫酸、高氯酸等传
统的高污染强酸，医药领域可用作核苷、抗生素、类固醇、配糖类、维生素等医药中间体原料或催化剂，还
可用作异构化、酰基化和烷基化的催化剂。随着市场需求的增长、技术创新的推动以及环保政策的加强，三
氟甲磺酸的应用将更加广泛和深入。目前产品已销往印度、欧美、日本、韩国等国家和地区，受到广大知名
客户认可，如强生、默克、巴斯夫等。三氟甲磺酸系列产品的生产企业较少，国内主要集中于中船特气，国
外友商主要为中央硝子等。双（三氟甲磺酰）亚胺锂（简称LiTFSI）和三氟甲磺酸锂是锂电电解液重要成分
之一，用作电解液添加剂，可以提高电解液的电化学稳定性，改善高低温和循环性能。此外，双（三氟甲磺
酰）亚胺锂和三氟甲磺酸锂具有优异的抗静电性能，还可应用于显示材料和橡胶产业领域。目前公司产品已
销往欧洲、北美、日本、韩国等国家和地区，赢得行业知名客户的认可，如LGD、森田化学、住友化学等。
公司不断加大三氟甲磺酸系列产品的市场推进力度，相关产品在下游应用不断拓宽。其特有的有机酸催
化性能使得该系列产品在创新药合成、OLED材料、新型储能及电解水制氢材料（隔膜）等新质生产力场景上
得到广泛的应用，随着下游新兴产业的不断拓宽，该系列将迎来新的快速增长点。
LiTFSI系列因其高离子导电率（提升充放电效率）、优异的热稳定性和化学稳定性，其应用覆盖多种固
态电池技术路线：聚合物固态电池，LiTFSI与聚合物电解质结合，显著提高离子传导率；硫化物与氧化物固
态电池，LiTFSI可作为添加剂或复合电解质组分，增强界面稳定性和电池性能；半固态电池，作为过渡技术
，LiTFSI同样被用于优化电解质的导电性和安全性；同时公司也开发了多款TFSI离子液体，并不断推进下游
的测试及批量使用。随着固态电池在电动汽车、储能、消费电池等领域的应用逐渐扩大，LiTFSI以其技术优
势和市场稀缺性使其成为新能源材料领域的关键增长点。在电动汽车领域，搭载LiTFSI固态电解质的电池有
望实现更高的续航里程、更快的充电速度以及更安全可靠的性能，推动电动汽车产业的进一步发展。
3.前驱体材料系列产品
前驱体材料通常为高纯度化合物（如金属有机化合物、氢化物等）。它们在气相沉积（CVD、ALD）等工
艺中经汽化、分解或反应，在晶圆表面形成纳米级薄膜（如金属、氧化物、氮化物），是制造晶体管、互连
结构等关键器件的核心材料，其纯度和反应可控性直接影响芯片性能与良率，被广泛应用于先进集成电路芯
片、移动通讯、卫星导航等电子器件制造领域。
前驱体材料行业较电子化学品、电子气体准入门槛更高，国外企业深耕该领域已久，市场集中度较高，
如德国默克、法国液化空气、美国英特格、韩国SKM等。随着我国集成电路以及光伏等电子信息产业的飞速
发展，制造工艺日趋复杂化，带动前驱体材料市场需求持续强劲增长。在此背景下，国内前驱体材料企业正
加速技术创新与研发投入，着力提升产品性能与质量，努力缩小与国际先进水平的差距。部分国内企业已在
中低端领域取得显著成果，市场份额逐步扩大，并不断向高端领域突破，积极布局开发满足多样化应用需求
的新材料。为满足国内旺盛需求并提升全球竞争力，部分国内企业积极进行产能扩张与产业链整合。同时，
国家出台了一系列产业规划、资金扶持和税收优惠政策，为整个行业的技术研发、产业升级和关键材料的国
产化进程提供了有力支持。
4.高纯金属系列产品
半导体用高纯金属是提升芯片性能的关键材料，其应用场景从制造到封装全面渗透。在半导体工业中，
高纯度金属主要用于溅射靶材、键合材料、半导体封装材料、热沉/散热材料以及化合物半导体材料等。在6
N以上的钨、钼、钌、钽、镓、铟等核心高纯金属材料供应方面，仍受制于日美等企业，高纯度金属赛道本
质是“纯度战争”与“供应链安全”的双重博弈。
未来十年，半导体高纯度金属产业的核心竞争力将聚焦于两大维度：一是突破2nm节点钌基材料、GaN器
件用7N级镓等核心材料的超高纯量产技术，抢占日美企业主导的“关键材料话语权”；二是打造“开采-制
造-回收”闭环生态，将钨、钼、钌、钽、镓、铟等稀缺资源综合利用率从30%提升至80%，重塑全球产业链
的“资源安全壁垒”。
5.电子大宗气体
电子大宗气体主要指满足电子半导体领域要求的高纯度和超高纯度大宗气体，主要包括氮气、氦气、氢
气、氩气、氧气、二氧化碳等。电子大宗气体贯穿半导体制造全流程，覆盖85%以上环节，作为环境气、保
护气、运载气及清洁气使用。下游行业客户对电子大宗气体的采购通常是将各类电子大宗气体作为整体项目
选择单一供应商长期服务。
氮气、氧气等空分气体原料来源于空气，晶圆厂为了保证电子大宗气体的长期稳定供应，保证芯片良率
和生产线可靠性，一般将制气业务外包给专业的气体公司。气体公司紧邻晶圆厂建设和运营电子大宗气站，
现场制气。氦气以零售模式为主，由于气源地高度集中、供应链高度垄断等特点，氦气供应链稳定性低，价
格波动较大，且我国氦气产能较低，进口依存度大。
目前，全球市场基本由林德气体、液化空气、空气化工三大外资气体公司垄断，由于技术和资本壁垒，
参与者较少，行业集中度较高。相关研究数据显示，2024年中国电子大宗气体市场规模达97亿元，预计2030
年将突破148亿元（2025-2030年复合增长率为7.5%），保持稳定增长态势。在半导体产业链自主可控背景下
，中国电子大宗气体行业正经历从技术追赶到局部突破的转型期，市场规模持续扩张，国产替代进程加速。
（二）公司主要业务及产品
公司主要从事电子特种气体及三氟甲磺酸系列产品的研发、生产和销售，在此基础上，公司拓展了高纯
金属业务，开展了前驱体产品的研发和产业化，完成了大宗现场制气公司的并购，丰富公司的业务类型。截
至报告期末，公司产品90余种，其中包括超高纯三氟化氮、超高纯六氟化钨、高纯氯化氢、高纯氟化氢、高
纯四氟化硅、高纯氘气、高纯六氟丁二烯、高纯八氟环丁烷、高纯电子混合气等电子特气产品70余种，三氟
甲磺酸、三氟甲磺酸酐、双（三氟甲磺酰）亚胺锂、三氟甲磺酸三甲基硅脂、三氟甲磺酸锂等含氟新材料产
品10种，氧气、氩气、氮气、氢气、氦气等大宗气体产品12种，以及高纯钨系列产品4种。
1.电子特种气体
电子特种气体广泛应用于集成电路、显示面板等行业中光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环
节，对于纯度、稳定性、包装容器等具有较高的要求。电子特种气体生产涉及合成、纯化、分析检测、充装
等多项工艺技术，具有较高技术壁垒。
（1）超高纯三氟化氮
超高纯三氟化氮主要应用于大规模集成电路和显示面板等制造领域的清洗工艺，由于其良好的蚀刻速率
，并具有选择性的特点，在化学气相沉积（CVD）腔体清洗工艺中得到广泛应用。
公司拥有国内最大产能生产基地，截至报告期末，公司拥有18,500吨/年超高纯三氟化氮产能，产能位
居世界第一。凭借优异品质，多年来稳定供应台积电、美光、海力士、英飞凌、格罗方德、中芯国际、长鑫
存储、华虹集团、华润集团、LGD、京东方、华星光电等国内外集成电路和显示面板知名客户，在业内树立
了技术领先、产品优质、客户信赖的品牌形象。
（2）超高纯六氟化钨
超高纯六氟化钨主要应用于大规模集成电路化学气相沉积工艺，其沉积形成的钨导体膜用于通孔和接触
孔，硅化钨则可以制作低电阻、高熔点的互连线。此外，六氟化钨可用于钢表面镀膜，改变钢表面性能。
公司拥有全球最大产能生产基地，截至报告期末，公司拥有2,000吨六氟化钨年产能。产品多年来稳定
供应台积电、美光、海力士、英飞凌、铠侠、格罗方德、中芯国际、华虹集团、华润集团等国内外集成电路
知名客户，客户覆盖广泛。
（3）混合类气体
公司混合气体主要应用于大规模集成电路和显示面板制造领域，目前已实现30余种电子混合气的量产供
应。公司电子级氟氮混合气主要用于大规模集成电路清洗、刻蚀工艺，通过精确控制氟氮混合气的比例等参
数，可以实现对半导体器件结构的高精度刻蚀；公司电子级氟氪氖、氟氩氖、氩氙氖、氪氖混合气作为激光
气，主要用于大规模集成电路光刻环节，能够实现更高的图案化精度。报告期内，公司氩氙氖光刻气通过了
ASML子公司Cymer公司合格供应商认证，列入合格气体供应商清单；氩氙氖光刻气、氪氖光刻气通过了日本
准分子激光镜头厂商GIGAPHOTON光刻气合格供应商认证并于报告期后获得认证证书。
（4）无机类气体
公司高纯氯化氢和高纯氟化氢纯度分别可达5N5和5N，主要应用于大规模集成电路清洗、刻蚀工艺。公
司高纯四氟化硅纯度可达5N，主要应用于大规模集成电路制造中有机硅化合物的合成、离子注入工艺掺杂剂
及化学气相沉积工艺，此外还可用于制备电子级硅烷。公司高纯氘气纯度可达5N以上，主要用作集成电路热
处理特种气体，以及在光纤制造领域作用于光纤抗老化退火处理，提高抗氢老化能力。公司高纯溴化氢纯度
可达5N，主要用于硅、锗等半导体材料的刻蚀；公司高纯三氯化硼纯度可达5N，主要用于硅、氮化硅、二氧
化硅等材料的刻蚀以及掺杂工艺；公司高纯乙硅烷纯度可达4N8，主要用于化学气相沉积工艺，通过控制反
应条件，乙硅烷可以在晶圆表面沉积出高质量硅薄膜及氮化硅薄膜。
（5）氟碳类气体
六氟丁二烯主要应用于大规模集成电路先进制程的刻蚀工艺，与传统刻蚀气体相比，六氟丁二烯刻蚀速
率更快、选择性和深宽比更高、环境更友好，国产化率低，且先进制程应用前景广阔。公司的六氟丁二烯产
品纯度达4N，已进入批量供应阶段。
公司八氟环丁烷、八氟丙烷、六氟乙烷等高纯氟碳类气体，纯度分别可达6N、5N5、5N，主要应用于大
规模集成电路制造领域的等离子刻蚀和清洗工艺。公司高纯乙烯、乙炔产品纯度分别可达5N、3N5,电子级乙
烯主要应用于大规模集成电路沉积工艺，生成具有多孔结构的低介电常数薄膜，电子级乙炔主要应用于大规
模集成电路光刻工艺中，用于制备碳掩膜。
2.三氟甲磺酸系列产品
基于电解氟化工艺，公司研发生产了三氟甲磺酸系列产品，如双（三氟甲磺酰）亚胺锂、三氟甲磺酸锂
、三氟甲磺酸、三氟甲磺酸三甲基硅酯、三氟甲磺酸酐等。其中三氟甲磺酸产能660吨，双（三氟甲磺酰）
亚胺锂最大产能600吨，产能居世界第一。
另外，公司在积极进行年产250吨三氟甲磺酸扩建项目建设，开发三氟甲磺酸下游衍生产品，如三氟甲
磺酸盐、双（三氟甲磺酰）亚胺盐及其下游离子液体等。
3.高纯金属系列产品
2024年，公司经营范围增加“金属材料制造；金属材料销售；生产性废旧金属回
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