经营分析☆ ◇688361 中科飞测 更新日期：2024-05-11◇ 通达信沪深京F10
★本栏包括【1.主营业务】【2.主营构成分析】【3.前5名客户营业收入表】【4.前5名供应商采购表】
【5.经营情况评述】
【1.主营业务】
检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。
【2.主营构成分析】
截止日期:2023-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
───────────────────────────────────────────────
半导体行业(行业) 8.51亿 95.55 4.54亿 96.84 53.33
其他行业(行业) 2476.19万 2.78 613.95万 1.31 24.79
其他业务(行业) 1488.39万 1.67 869.00万 1.85 58.38
───────────────────────────────────────────────
检测设备(产品) 6.54亿 73.46 3.74亿 79.81 57.17
量测设备(产品) 2.22亿 24.87 8596.05万 18.34 38.79
其他业务(产品) 1488.39万 1.67 869.00万 1.85 58.38
───────────────────────────────────────────────
境内(地区) 8.61亿 96.59 4.52亿 96.38 52.50
境外(地区) 1549.88万 1.74 828.12万 1.77 53.43
其他业务(地区) 1488.39万 1.67 869.00万 1.85 58.38
───────────────────────────────────────────────
直销(销售模式) 8.76亿 98.33 4.60亿 98.15 52.52
其他业务(销售模式) 1488.39万 1.67 869.00万 1.85 58.38
───────────────────────────────────────────────
截止日期:2022-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
───────────────────────────────────────────────
检测设备(产品) 3.85亿 75.53 2.02亿 81.68 52.63
量测设备(产品) 1.18亿 23.08 4212.25万 16.99 35.84
其他业务(产品) 710.59万 1.40 329.60万 1.33 46.38
───────────────────────────────────────────────
内销(地区) 5.08亿 99.82 --- --- ---
外销(地区) 94.20万 0.18 --- --- ---
其他(补充)(地区) 13.90 0.00 --- --- ---
───────────────────────────────────────────────
截止日期:2021-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
───────────────────────────────────────────────
其他(补充)(产品) 3.59亿 99.62 1.76亿 99.58 48.94
其他业务(产品) 135.79万 0.38 74.52万 0.42 54.88
───────────────────────────────────────────────
截止日期:2020-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
───────────────────────────────────────────────
检测设备(产品) 2.65亿 111.63 1.37亿 140.24 51.66
量测设备(产品) 9397.28万 39.55 3875.75万 39.67 41.24
其他业务(产品) 19.01万 0.08 13.33万 0.14 70.12
───────────────────────────────────────────────
内销(地区) 3.54亿 149.10 --- --- ---
外销(地区) 630.56万 2.65 --- --- ---
───────────────────────────────────────────────
【3.前5名客户营业收入表】
截止日期:2023-12-31
前5大客户共销售2.43亿元，占营业收入的27.32%
┌───────────────────────┬──────────┬──────────┐
│客户名称 │ 营收额(万元)│ 占比(%)│
├───────────────────────┼──────────┼──────────┤
│客户1 │ 7115.24│ 7.99│
│客户2 │ 5364.63│ 6.02│
│客户3 │ 4071.64│ 4.57│
│客户4 │ 4070.44│ 4.57│
│客户5 │ 3716.81│ 4.17│
│合计 │ 24338.76│ 27.32│
└───────────────────────┴──────────┴──────────┘
【4.前5名供应商采购表】
截止日期:2023-12-31
前5大供应商共采购2.04亿元，占总采购额的33.04%
┌───────────────────────┬──────────┬──────────┐
│供应商名称 │ 采购额(万元)│ 占比(%)│
├───────────────────────┼──────────┼──────────┤
│供应商1 │ 5645.58│ 9.17│
│供应商2 │ 5317.34│ 8.63│
│供应商3 │ 4486.32│ 7.28│
│供应商4 │ 3154.11│ 5.12│
│供应商5 │ 1751.80│ 2.84│
│合计 │ 20355.15│ 33.04│
└───────────────────────┴──────────┴──────────┘
【5.经营情况评述】
截止日期:2023-12-31
●发展回顾:
一、经营情况讨论与分析
半导体设备行业作为支撑半导体产业发展的上游行业之一，其市场发展与半导体产业景气度紧密相关。
根据SEMI数据统计，2023年全球半导体设备销售额为1,062.5亿美元，受国际经济变动和行业周期性等方面
影响同比下降1.3%，但推动半导体设备需求的全球半导体产业产能扩张仍在继续。根据SEMI数据统计，全球
半导体每月晶圆（WPM）产能在2023年增长5.5%至2,960万片（以200mm当量计算）后，预计2024年将继续增
长6.4%。
在经历了美国至日本，日本至韩国和中国台湾的两次产业转移后，目前全球半导体产业正向中国大陆加
速转移，中国成为全球最大的集成电路生产和消费国。根据SEMI数据统计，2023年中国大陆晶圆产能同比增
长12%，中国大陆晶圆厂的产能增速居全球之首。受益于国内晶圆厂的产能持续扩张，中国大陆的半导体设
备行业正处于快速发展期，根据SEMI数据统计，2023年度中国大陆地区半导体设备销售额达到366.6亿美元
，同比增长29.7%，自2020年以来连续四年成为全球第一大半导体设备市场。
半导体质量控制贯穿集成电路制造的关键环节，对芯片生产的良品率的影响至关重要。根据VLSI数据统
计，2023年全球半导体检测和量测设备市场规模达到128.3亿美元，在全球半导体制造设备占比中半导体检
测和量测设备占比约为13%，仅次于刻蚀设备、薄膜沉积设备和光刻设备。随着制程越来越先进、工艺环节
不断增加，行业发展对工艺控制水平提出了更高的要求，制造过程中检测设备与量测设备的技术要求及需求
量持续提升。
近年来，得益于中国半导体全行业的蓬勃发展和国家近年来对半导体产业持续的政策扶持，行业下游晶
圆厂在关键工艺节点上持续推进，多家国内领先的半导体制造企业进入产能扩张期，中国大陆半导体检测与
量测设备的市场处于高速发展期。根据VLSI数据统计，2019年至2022年中国大陆半导体检测与量测设备市场
规模的年均复合增长率为33.5%，预计2023年将进一步增长。
报告期内，中科飞测专注于高端半导体质量控制领域，为半导体行业客户提供涵盖设备产品、智能软件
产品和相关服务的全流程良率管理解决方案。
在设备产品方面，公司通过在光学检测技术、大数据检测算法和自动化软件领域的自主研发和不断创新
，在多项半导体质量控制设备关键核心技术上达到国际领先水平，形成了集成电路制造过程中所有关键工艺
环节所需的主要种类设备产品组合，使得公司能够为不同类型的集成电路客户提供全面覆盖的检测和量测设
备供应保障，支持客户的量产工艺需求和未来工艺研发需求；
在智能软件产品方面，公司将人工智能和大数据技术应用到半导体质量控制数据上，形成了一系列提升
高端半导体制造良率的软件产品，这些软件产品能够在检测和量测设备的基础上进一步为客户在良率管理中
赋能，形成完整的质量控制设备和智能软件相结合的良率管理闭环，为客户实现最大化的质量控制对良率管
理的提升效果。
受益于公司在设备和软件产品组合上的完整战略布局，以及在核心技术上的持续研发突破、在产品迭代
升级上的快速推进，在客户服务上的全面覆盖和品牌口碑上的快速提升等方面的综合推动下，公司得以紧跟
客户的工艺发展需求，为不同类型的集成电路客户提供不同的产品组合和服务。公司客户群体已广泛覆盖逻
辑、存储、功率半导体、MEMS等前道制程企业，碳化硅、氮化镓、砷化镓等化合物半导体企业，晶圆级封装
和2.5D/3D封装等先进封装企业，大硅片等半导体材料企业以及刻蚀设备、薄膜沉积设备、CMP设备等各类制
程设备企业。公司为上述客户提供的产品组合包括了全部种类的光学检测和量测设备以及软件。
公司九大系列设备和三大系列软件产品组合构成了全方位的良率管理解决方案。
九大系列设备面向全部种类集成电路客户需求，其中六大系列设备已经在国内头部客户批量量产应用，
技术指标全面满足国内主流客户工艺需求，公司各系列产品市占率稳步快速增长；另外三大系列设备已完成
样机研发，其中明场纳米图形晶圆缺陷检测设备和光学关键尺寸量测设备已出货客户开展产线工艺验证和应
用开发，暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备正在进行客户样片的工艺验证和应用开发中，并与多家国内头部客
户达成客户现场评估意向。
公司开发的三大系列智能软件已全部应用在国内头部客户，并不断提高在不同应用领域的覆盖度，结合
质量控制设备产品组合，使得客户能够准确测量并且集中管理和分析芯片制造过程中产生的所有检测、量测
、电性测试等良率相关数据，有效地提升半导体制造良率和产品性能。
1、经营规模快速增长，盈利能力显著提升
报告期内，公司实现营业收入89,090.01万元，同比增长74.95%，主要系以下多种因素的积极影响：一
方面，得益于公司在关键核心技术、产业化推进和迭代升级各系列产品的过程中取得的重要成果，公司产品
种类日趋丰富，市场竞争力持续增强，市场地位进一步巩固；另一方面，国内半导体检测与量测设备市场呈
现高速发展，下游客户设备国产化需求迫切，公司凭借较强的技术创新能力、优异的产品品质以及出色的售
后服务等积极因素，品牌认可度不断提升，客户群体覆盖度进一步扩大，客户订单量持续增长。
随着经营规模的快速增长，规模效应逐步凸显，公司在保持较高的研发投入水平情况下，盈利水平显著
提升，归属于母公司所有者的净利润同比增长1,072.38%，归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利
润同比增加11,931.69万元，实现扭亏为盈。
2、持续高水平研发投入，稳步推进各系列设备产业化进程
核心技术实力作为公司市场竞争力及行业地位的重要体现，公司一直将研发能力的提升作为自身发展的
重要战略。2023年公司研发投入达22,824.98万元，较2022年同期增长10.93%。报告期内，公司在持续保持
高水平的研发投入进一步巩固和提升公司核心技术实力的同时，继续发挥公司在销售和客户服务的竞争优势
，为客户提供全方位的产品和服务解决方案，同时紧跟客户的关键工艺技术创新所带来的检测和量测需求，
进一步提高产品的先进性，加深与客户合作的紧密度和深度。
公司主要产品进展如下：
（1）无图形晶圆缺陷检测设备
公司无图形晶圆缺陷检测设备持续保持全面的竞争优势，公司设备灵敏度和吞吐量可以满足国内所有工
艺制程客户的量产需求，已广泛应用在国内所有主要集成电路制造企业的生产线上，截至2023年底，公司累
计生产交付近300台无图形晶圆缺陷检测设备，覆盖超过100家客户产线，同时客户订单量持续稳步增长，市
占率不断提升。
在逻辑芯片领域，设备各项性能指标均能满足国内各类制程客户产线量产需求，设备采用深紫外成像扫
描技术，已具备给所有国内主流客户产线批量供货的能力，头部客户产线的订单金额和占比持续增长。公司
除了给现有客户提供量产设备外，也在积极推进灵敏度更高的无图形晶圆缺陷检测设备的研发，为客户的下
一代工艺制程的量产而准备，目前更先进型号的设备研发进展顺利；
在存储芯片领域，设备各项性能指标均能满足国内各类存储芯片客户产线需求，并为客户批量供货。公
司的无图形晶圆缺陷检测设备可以实现晶圆表面颗粒缺陷检出，有效地解决存储芯片制造过程中扩散、薄膜
、光刻等工艺的污染和颗粒缺陷监控，以及晶圆来料的质量控制，满足存储芯片工艺管控需求；
在功率芯片、MEMS芯片和化合物半导体领域，公司产品性能指标能够满足所有应用领域，同时也在不断
拓宽设备在不同材料领域的应用，如碳化硅、氮化镓、砷化镓、磷化铟、钽酸锂、铌酸锂等，进一步全面覆
盖不同类型集成电路客户的需求；
在先进封装领域，公司无图形晶圆缺陷检测设备已全面覆盖包括晶圆级封装、2.5D/3D封装等领域的技
术要求，有效地解决先进封装工艺制程及设备的颗粒污染监控问题，满足各种先进封装技术对产线工艺和设
备污染监控的需求；
在材料领域，针对大硅片生产制造过程中对设备的特殊工程化需求，如边缘夹持硅片、明场微分干涉显
微成像等要求，公司针对性地开发出了相应设备型号，有效地解决晶圆表面纳米级不同类型缺陷快速检出，
满足材料制造厂商出货检的需求。
（2）图形晶圆缺陷检测设备
公司图形晶圆缺陷检测设备持续拓展应用领域，产品广泛应用在国内各类集成电路客户产线，截至2023
年底，公司累计生产交付超过200台图形晶圆缺陷检测设备，覆盖超过50家客户产线，同时客户订单量持续
稳步增长，市占率不断提升。
在逻辑芯片领域，设备各项性能指标均能满足国内各类制程客户产线量产需求，已具备给所有国内头部
客户产线批量供货的能力，能够有效实现对逻辑芯片上由于包含多种复杂工艺而带来的复杂结构上的缺陷检
测，灵活配置不同工艺位置的缺陷参数。公司除了给现有客户提供量产设备和服务以外，也在积极推进灵敏
度更高的图形晶圆缺陷检测设备的研发，为客户的下一代工艺制程的量产而准备，目前更先进型号的设备研
发进展顺利。
在存储芯片领域，设备各项性能指标均能满足国内各类存储芯片客户产线需求，并为客户批量供货。公
司的图形晶圆缺陷检测设备可以实现对存储芯片的三维结构进行高精度的检测，有效地解决存储芯片三维复
杂结构带来的设备自动对焦问题和三维结构抗干扰问题的挑战，同时也能满足多层键合工艺对晶圆的背面和
边缘位置的缺陷的有效管控；
在功率芯片、MEMS芯片和化合物半导体领域，公司产品性能指标能够满足多种不同应用领域，同时也在
不断拓宽设备在不同材料领域的应用，如碳化硅、钽酸锂、铌酸锂等，进一步全面覆盖不同类型集成电路客
户的需求。
在先进封装领域，公司图形晶圆缺陷检测设备已全面覆盖晶圆级先进封装领域中的量产需求，在该领域
的国内头部客户中占据绝大部分市场份额；在新兴的先进封装技术如应用在HBM的2.5D、3D封装领域，公司
图形晶圆缺陷检测设备亦能满足该领域的技术需求，有效地解决由于封装技术的提升带来的检测难度的显著
提升，例如RDL线宽不断变窄、表面粗糙度干扰不断提升导致所需检测能力的提升，以及3D封装带来的micro
bump的高度检测需求，为客户在先进封装工艺上的持续技术创新提供有力支持。
（3）三维形貌量测设备
公司三维形貌量测设备能够支持不同制程工艺中的三维形貌测量，设备重复性精度可以满足不同客户需
求，产品广泛应用于国内集成电路前道及先进封装客户。截至2023年底，公司累计生产交付近150台三维形
貌量测设备，覆盖近50家客户产线，报告期内客户订单稳步增长，同时积极覆盖更多不同客户类型的需求。
在逻辑芯片领域，设备各项性能指标均能满足国内各类制程客户产线量产需求，为客户提供不同关键工
艺节点的三维形貌管控，帮助客户提高在晶圆减薄等制程中的良率；
在存储芯片领域，设备各项性能指标均能满足国内各类存储芯片客户产线需求，并为客户批量供货。公
司的三维形貌量测设备可以实现亚纳米量级三维高度量测精度，有效地解决存储芯片制造中化学抛光研磨工
艺后晶圆表面形貌微观粗糙度的监控问题；
在功率芯片、MEMS芯片和化合物半导体领域，公司产品性能指标能够满足所有应用领域，实现对功率芯
片沟槽的深度、二维尺寸及化合物基板厚度、翘曲度等关键工艺参数的监控，同时也在不断拓宽设备在不同
材料领域的应用，进一步全面覆盖不同类型集成电路客户的需求；
在先进封装领域，公司三维形貌量测设备已全面覆盖晶圆级先进封装领域中的量产需求，在该领域占据
国内绝大部分市场份额，在新兴的先进封装技术如应用在HBM的2.5D、3D封装领域，公司三维形貌量测设备
亦能满足该领域的技术需求，有效地解决RDL小线宽以及TSV工艺的涂胶、光刻、薄膜、电镀、刻蚀等全方位
的质量监控需求，为客户在先进封装工艺上的技术创新提供支持。
（4）介质薄膜膜厚量测设备、金属薄膜膜厚量测设备
公司薄膜膜厚量测设备竞争力持续提升，取得广泛应用和批量销售，覆盖国内主流集成电路客户产线，
针对不同的薄膜材料、厚度、层数等客户工艺需求，开发出多种适用的设备型号，同时客户订单量持续稳步
增长，市占率不断提升。
在逻辑芯片领域，设备各项性能指标均能满足国内各类制程客户产线量产需求，头部客户产线的订单金
额和占比持续增长。公司除了给现有客户提供量产设备和服务以外，也在积极推进量测精度更高的介质薄膜
膜厚量测设备和金属薄膜膜厚量测设备的研发，为客户的下一代工艺制程的量产而准备，目前更先进型号的
设备研发进展顺利；
在存储芯片领域，设备各项性能指标均能满足国内各类存储芯片客户产线需求，并为客户批量供货。公
司的介质薄膜膜厚量测设备可以实现几百层堆叠薄膜及超厚膜量测需求，有效地解决存储芯片复杂的膜层堆
叠结构的膜厚工艺监控，公司的金属薄膜膜厚量测设备可以实现超厚硬掩膜层量测需求，有效地解决存储芯
片上金属刻蚀工艺的管控；
在功率芯片、MEMS芯片和化合物半导体领域，公司产品性能指标能够满足所有应用领域，同时在一些新
的市场需求领域，公司产品显现出更大的竞争优势，介质薄膜膜厚量测设备能够满足功率芯片大间距深沟槽
量测需求及化合物半导体透明和半透明基板膜厚量测需求，金属薄膜膜厚量测设备可以实现MEMS及应用在通
信系统中的射频芯片中多层金属薄膜量测需求；
在先进封装领域，公司的介质薄膜膜厚量测设备和金属薄膜膜厚量测设备均能满足晶圆级封装和2.5D/3
D封装的技术要求，有效地解决先进封装制程中对涂胶、薄膜沉积等工艺的膜厚管控，同时对客户研发更先
进的封装工艺提供相应的量测工艺支持。
（5）套刻精度量测设备
套刻精度量测设备已实现批量销售，得到国内各类客户的广泛认可，客户订单量快速增长，市占率稳步
提升，逐步形成较为明显的市场优势地位。
在逻辑芯片领域，设备各项性能指标均能满足国内主流制程客户产线量产需求，在逻辑芯片制造过程中
经过多层光刻工艺后，公司设备仍能保持高稳定性和高精度的测量。公司除了给现有客户提供量产设备型号
以外，也在积极推进量测精度更高的套刻精度量测设备的研发，为客户的下一代工艺制程的量产而准备，目
前更先进型号的设备研发进展顺利；
在存储芯片领域，设备各项性能指标均能满足国内各类存储芯片客户产线需求，并为客户批量供货。公
司的套刻精度量测设备可以实现对超厚光刻胶上的光刻偏移量的测量，有效地解决因为存储工艺中采用高深
宽比结构带来的光刻工艺问题；
在功率芯片、MEMS芯片和化合物半导体领域，公司产品性能指标能够满足所有应用领域，在不同产品类
型的客户获得广泛的应用，例如在碳化硅领域，公司的套刻精度量测设备可以有效地解决因为碳化硅材质透
明度和厚度变化导致的光刻套刻精度测量对位失败或聚焦不稳定的问题，满足特色工艺客户对光刻工艺的管
控；
在先进封装领域，随着新兴的先进封装技术如应用在HBM的2.5D、3D封装领域的技术创新，对套刻精度
量测设备也有更大的需求，公司也开发了针对性的红外照明解决方案，能够有效地解决封装中键合对准的工
艺管控，同时对客户研发更先进的封装工艺提供相应的量测工艺支持。
（6）明场纳米图形晶圆缺陷检测设备
公司自主研发了纳米量级明场图形晶圆缺陷检测设备，该系列设备主要应用于晶圆表面多种节点的图形
晶圆的明场缺陷检测，该设备应用多模式照明系统、成像系统和多种放大倍率切换，适应不同检测精度和速
度需求，能够实现高速自动对焦，可适用于不同类型晶圆，覆盖多种工艺缺陷检测需求，主要应用在集成电
路前道制程的关键工艺环节，帮助客户快速聚焦工艺问题。
公司目前已完成适用于逻辑芯片、存储芯片等应用领域的设备样机研发，正积极开展国内多家主流客户
的多种复杂图形工艺样片的验证测试，并小批量出货到多家国内头部客户产线上进行工艺开发与应用验证工
作，目前进展顺利。
（7）暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备系列
公司自主研发了纳米量级暗场图形晶圆缺陷检测设备，该系列设备主要应用于复杂图形晶圆表面纳米量
级缺陷检测，采用深紫外激光暗场扫描与成像探测技术，实现复杂图形晶圆表面缺陷的快速检测与分类，主
要应用在集成电路前道制程的关键工艺环节。
公司目前已完成设备样机研发，正积极开展国内多家主流客户的多种复杂图形工艺样片的验证测试，包
括逻辑芯片、存储芯片、功率芯片、2.5DHBM芯片等，目前进展顺利。
（8）光学关键尺寸量测设备
公司自主研发了纳米量级光学关键尺寸量测设备，该系列设备主要对集成电路前道制程中的扩散、薄膜
沉积、研磨、刻蚀、光刻等工艺中的关键尺寸进行高精度和高速度的测量。
公司目前已完成设备样机研发，正积极推进国内多家主流客户的样片验证测试，包括逻辑芯片、存储芯
片、功率芯片等客户，并在部分客户产线上进行工艺开发与应用验证工作，目前进展顺利。
（9）良率管理系统
公司自主研发了应用在客户端的良率管理系统软件，是主流芯片制造商用于集中管理和分析芯片制造过
程中产生的所有检测、量测、电性测试等良率相关数据的必要工具。良率管理系统通过综合运用统计分析和
人工智能技术，以及可以根据客户需求定制化的软件工作流，为客户提供包括全维度数据管理、缺陷分类和
统计分析、智能根因分析、虚拟量测、交叉分析和良率预测等在内的良率管理功能，帮助客户及时发现、解
决和预防产线异常状态，有效地提升半导体制造良率和产品性能。
在前道制程领域，公司开发的良率管理系统已应用在多家客户端，能够为逻辑芯片、存储芯片在全生产
流程中有效提升工艺质量水平，目前系统已覆盖了所有需要用到检测和量测的工艺环节，包括光刻、蚀刻、
电镀、覆膜、CMP等。系统的叠图分析功能为客户解决了跨机台分析和跨站点分析的需求，空间特征分析功
能对于批次内检测和量测结果的特殊分布及时报警，也满足了客户对批次内出现的共同异常追溯的需求。
在先进封装领域，公司开发的良率管理系统已在多家国内主要客户产线上运行，目前正在推广到更多客
户产线上。目前公司良率管理系统在客户端产线上管理了上百台检测和量测设备的良率数据，包括光刻、电
镀、溅射等工艺环节中的缺陷类别、缺陷图片、缺陷空间特征、关键尺寸、高度、膜厚、平整度等数据，系
统的图库功能解决了客户批量查看缺陷分布和晶圆良率的问题；重复分析功能实现了客户对于与光罩相关缺
陷的追踪；关键区域分析功能让客户对良率的分析聚焦在所关注的晶圆区域；关键尺寸质量分析功能满足了
客户对量测合格率的按月监控统计需求。
（10）缺陷自动分类系统
公司自主研发了基于深度学习大模型的缺陷自动分类系统，能够对各类型的晶圆缺陷检测设备获取的各
类缺陷数据进行全自动缺陷类型识别和缺陷统计分析。缺陷自动分类系统通过对接客户产线上的所有缺陷检
测设备，将设备获取到的缺陷数据按照缺陷的尺寸、形态、位置、聚类情况、整体分布特征等进行自动分类
，并且能够追踪和统计缺陷的发生频率和条件，帮助在缺陷层面管理和控制良率。
公司开发的缺陷自动分类系统已在国内多家知名客户中得到应用，包括头部的集成电路前道及先进封装
客户。公司缺陷自动分类算法利用产线上的大数据，能够完成对不同工艺、不同产品、不同缺陷的高精度检
出，系统能够实现严重缺陷零漏检，对于新产品或新缺陷，系统展现出强大的适应性，能够在短时间内完成
适配。目前该系统能够对包括来自光刻、刻蚀、化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、化学机械抛
光（CMP）等关键工艺环节中检测出的各类缺陷进行自动分类，有效地帮助客户显著提升生产效率，为客户
节省了80%以上的人工手动复判缺陷类型的工作量，满足了半导体工厂智能化和自动化的需求。
（11）光刻套刻分析反馈系统
公司自主研发了光刻套刻分析反馈系统，可以实现对光刻机、套刻精度量测设备、晶圆翘曲量测设备、
电子束关键量测设备等多种类、多品牌机型的数据进行整合分析和建模，帮助客户及时监控和优化光刻工艺
的偏差，同时通过高阶模型补偿等功能来实现对光刻机光刻套刻偏移量的准确控制，有效地提升光刻机光刻
工艺的良率水平。
公司的光刻套刻分析反馈系统主要应用在前道工艺中的逻辑芯片和存储芯片制造等领域，目前已应用在
多家国内头部的逻辑芯片、存储芯片制造商的研发及量产光刻工艺环节。该系统是整合整个半导体工厂的自
动化流程信息、光刻机信息以及量测设备结果的数据中心，也是对光刻工艺进行监视、控制、预测、优化的
控制分析中心。系统可实现基于批次的实时反馈，以最大程度上的减少套刻误差；可对影响工艺的各因素进
行拆解并进行分析，以引导客户发现问题、优化工艺；可对光刻及量测步骤进行智能分析，以在保证精度的
基础上提高吞吐量；可快速灵活地定制数据流、分析流，并提供指定的分析数据，无缝对接半导体工厂现有
的过程控制、故障检测等系统，以适用不同类型半导体工厂的业务需求。
3、持续优化供应链体系，保障生产经营安全稳定
为了持续优化采购供应链，提升原材料采购质量，优化采购成本，公司对供应商实施动态管理，定期对
供应商历史采购价格、供货周期、产品质量、技术发展、合作服务等方面进行评比，并由采购部门根据物料
的采购情况、市场行情，和供应商进行商务谈判或引入新的供应商，争取更具优势的价格及商务条款。
公司重视半导体设备零部件的国产化替代，并积极与相关领域供应商建立良好和稳定的合作关系。公司
将持续关注国内供应商的发展，并共同推动产业链上下游的协同发展。
4、客户结构日趋多元，市场拓展取得积极成效
公司一直以客户需求为中心，不断满足集成电路前道制程、先进封装等企业对质量控制的高技术水平和
高性能的需求，持续研发、升级基于光学检测技术的检测和量测设备及良率管理软件。凭借较强的技术创新
能力、优异的产品品质以及出色的售后服务，公司积累了优质的客户资源和良好的品牌知名度，并与客户建
立了良好合作关系，从而保证公司订单随着客户的发展而持续、稳定的增长。公司在持续获得已有客户重复
订单的同时，积极开拓了多家新客户，市场占有率进一步提升。
5、强化人才体系建设，保障公司持续健康发展
半导体设备行业属于技术密集型行业，拥有高端专业的人才是半导体设备企业保持市场竞争的关键。报
告期内，公司持续构筑跨专业、多层次的人才梯队，公司持续完善薪酬和激励机制，引进市场优秀人才，并
最大限度地激发员工积极性，发挥员工的创造力和潜在动力。
二、报告期内公司所从事的主要业务、经营模式、行业情况及研发情况说明
(一)主要业务、主要产品或服务情况
1、公司主营业务概述
报告期内，公司专注于高端半导体质量控制领域，为半导体行业客户提供涵盖设备产品、智能软件产品
和相关服务的全流程良率管理解决方案。
在设备产品方面，公司通过在光学检测技术、大数据检测算法和自动化软件领域的自主研发和不断创新
，在多项半导体质量控制设备关键核心技术上达到国际领先水平，形成了集成电路制造过程中所有关键工艺
环节所需的主要种类设备产品组合，使得公司能够为不同类型的集成电路客户提供全面覆盖的检测和量测设
备供应保障，支持客户的量产工艺需求和未来工艺研发需求；
在智能软件产品方面，公司将人工智能和大数据技术应用到半导体质量控制数据上，形成了一系列提升
高端半导体制造良率的软件产品，这些软件产品能够在检测和量测设备的基础上进一步为客户在良率管理中
赋能，形成完整的质量控制设备和智能软件相结合的良率管理闭环，为客户实现最大化的质量控制对良率管
理的提升效果。
2、公司主要产品情况
报告期内，公司专注于高端半导体质量控制领域，主要产品涵盖设备产品、智能软件产品和相关服务的
全流程良率管理解决方案。
（1）检测设备
公司检测设备的主要功能系检测晶圆表面或电路结构中是否出现异质情况，如颗粒污染、表面划伤、开
短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷。
（2）量测设备
公司量测设备的主要功能系对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出量化描述，如薄膜厚度、
关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌、套刻精度等物理性参数的量测。在精密加工领域，量测设备主要功能是精
密结构件的三维尺寸量测。
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