经营分析☆ ◇688548 广钢气体 更新日期：2024-11-20◇ 通达信沪深京F10
★本栏包括【1.主营业务】【2.主营构成分析】【3.前5名客户营业收入表】【4.前5名供应商采购表】
【5.经营情况评述】
【1.主营业务】
研发、生产和销售以电子大宗气体为核心的工业气体。
【2.主营构成分析】
截止日期:2024-06-30
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
电子大宗气体(产品) 7.05亿 72.49 2.33亿 79.54 32.98
通用工业气体(产品) 2.23亿 22.88 3936.59万 13.46 17.69
其他业务(产品) 4509.20万 4.64 2046.99万 7.00 45.40
─────────────────────────────────────────────────
华南地区(地区) 3.77亿 38.71 1.24亿 42.26 32.81
华东地区(地区) 3.27亿 33.66 7633.22万 26.11 23.31
华北地区(地区) 1.29亿 13.25 4946.18万 16.92 38.36
华中地区(地区) 7878.43万 8.10 2013.84万 6.89 25.56
其他(地区) 6102.26万 6.27 2288.80万 7.83 37.51
─────────────────────────────────────────────────
现场制气(销售模式) 5.19亿 53.34 1.99亿 68.06 38.35
零售模式(销售模式) 4.09亿 42.02 7290.51万 24.93 17.83
其他(销售模式) 4509.20万 4.64 2046.99万 7.00 45.40
─────────────────────────────────────────────────
截止日期:2023-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
终端客户(行业) 15.01亿 81.76 5.44亿 84.57 36.26
气体公司(行业) 2.25亿 12.24 5447.56万 8.47 24.26
其他业务(行业) 1.10亿 6.00 4481.57万 6.97 40.68
─────────────────────────────────────────────────
电子大宗气体(产品) 12.11亿 65.96 4.73亿 73.57 39.10
通用工业气体(产品) 5.15亿 28.03 1.25亿 19.47 24.35
其他业务(产品) 1.10亿 6.00 4481.57万 6.97 40.68
─────────────────────────────────────────────────
华南地区(地区) 7.72亿 42.05 2.59亿 40.19 33.51
华东地区(地区) 6.45亿 35.14 2.51亿 38.94 38.85
华中地区(地区) 1.42亿 7.74 3093.03万 4.81 21.78
其他业务(地区) 1.10亿 6.00 4481.57万 6.97 40.68
华北地区(地区) 1.05亿 5.71 4130.95万 6.42 39.41
其他地区(地区) 6174.35万 3.36 1722.97万 2.68 27.91
─────────────────────────────────────────────────
零售客户(销售模式) 8.85亿 48.22 2.51亿 38.95 28.31
现场制气客户(销售模式) 8.40亿 45.78 3.48亿 54.09 41.42
其他业务(销售模式) 1.10亿 6.00 4481.57万 6.97 40.68
─────────────────────────────────────────────────
截止日期:2022-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
电子大宗气体(产品) 9.67亿 62.83 4.31亿 73.09 44.52
通用工业气体(产品) 4.45亿 28.91 1.31亿 22.21 29.40
其他业务收入(产品) 1.27亿 8.26 2770.25万 4.70 21.78
─────────────────────────────────────────────────
华南地区(地区) 6.90亿 44.83 --- --- ---
华东地区(地区) 4.97亿 32.29 --- --- ---
其他业务收入(地区) 1.27亿 8.26 2770.25万 4.70 21.78
华中地区(地区) 9721.24万 6.31 --- --- ---
华北地区(地区) 7726.09万 5.02 --- --- ---
其他地区(地区) 5056.04万 3.28 --- --- ---
─────────────────────────────────────────────────
截止日期:2021-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
电子大宗气体(产品) 6.91亿 58.63 2.34亿 63.14 33.87
通用工业气体(产品) 4.37亿 37.14 1.18亿 31.81 26.94
其他业务收入(产品) 4981.49万 4.23 1870.00万 5.05 37.54
─────────────────────────────────────────────────
华南地区(地区) 6.51亿 55.28 --- --- ---
华东地区(地区) 2.49亿 21.17 --- --- ---
华中地区(地区) 9478.77万 8.05 --- --- ---
华北地区(地区) 7685.19万 6.52 --- --- ---
其他地区(地区) 5594.24万 4.75 --- --- ---
其他业务收入(地区) 4981.49万 4.23 1870.00万 5.05 37.54
─────────────────────────────────────────────────
【3.前5名客户营业收入表】
截止日期:2023-12-31
前5大客户共销售6.37亿元，占营业收入的34.71%
┌───────────────────────┬───────────┬───────────┐
│客户名称 │ 营收额(万元)│ 占比(%)│
├───────────────────────┼───────────┼───────────┤
│华星光电 │ 27367.92│ 14.91│
│晶合集成 │ 11599.30│ 6.32│
│联影医疗 │ 9677.06│ 5.27│
│奥托立夫 │ 8250.66│ 4.50│
│铜陵有色 │ 6811.33│ 3.71│
│合计 │ 63706.27│ 34.71│
└───────────────────────┴───────────┴───────────┘
【4.前5名供应商采购表】
截止日期:2023-12-31
前5大供应商共采购5.55亿元，占总采购额的56.64%
┌───────────────────────┬───────────┬───────────┐
│供应商名称 │ 采购额(万元)│ 占比(%)│
├───────────────────────┼───────────┼───────────┤
│林德气体 │ 17742.96│ 18.11│
│广东电网有限责任公司广州供电局 │ 15644.05│ 15.97│
│华星光电 │ 8735.33│ 8.92│
│埃克森美孚 │ 7912.18│ 8.08│
│国网湖南省电力有限公司长沙供电分公司 │ 5443.42│ 5.56│
│合计 │ 55477.94│ 56.64│
└───────────────────────┴───────────┴───────────┘
【5.经营情况评述】
截止日期:2024-06-30
●发展回顾:
一、报告期内公司所属行业及主营业务情况说明
（一）行业发展情况
（1）行业发展阶段
工业气体作为现代工业的“血液”，广泛应用于金属冶炼、能源化工、机械制造等传统工业领域，同时
在集成电路制造、半导体显示、新能源、食品医疗、航空航天等新兴产业的应用也越来越广泛。按照具体应
用领域可分为两类，第一类系应用于电子半导体生产的气体，统称为电子气体，第二类系应用于传统工业领
域的气体，统称为通用工业气体。
工业气体行业历史可追溯至18世纪末，在过去的数个世纪中，该行业在全球范围内一直保持着稳定增长
。在全球工业气体行业的发展进程中，中国的工业气体行业起步相对较晚，我国工业气体行业在上世纪80年
代末期才初具规模，90年代后期进入快速发展阶段。
工业气体对中国经济的持续发展有着不可或缺的作用。近年来，一方面受“碳中和、碳达峰”等政策相
继出台的影响，环保要求不断提高，金属冶炼、能源化工等传统工业面临转型升级、产能置换及园区整合发
展等影响，对工业气体供需面发展带来推动作用，为其配套的空分装置需求也随之扩能；另一方面，随着集
成电路制造、半导体显示、光纤通信、光伏、新能源、LED等电子半导体领域的蓬勃发展，先进工艺技术取
得突破，产能进一步释放，为上游工业气体行业带来新的投资机遇。据卓创资讯数据显示，工业气体市场规
模由2017年的1,200亿元上升至2021年的1,750亿元，年均复合增长率达到10.13%。
随着我国经济长期保持稳定增长、产业结构持续优化，在政策推动与自主创新的引导下，工业气体主要
下游应用领域仍将持续稳定发展，中国工业气体行业的未来发展空间将会越来越广阔，预计至2025年有望达
到近2,600亿元的规模。
根据《战略性新兴产业分类（2018）》，电子气体是电子专用材料制造的重点产品，可分为电子大宗气
体和电子特种气体。近年来，相关半导体厂商积极扩产、升级产品线，以应对市场需求的不断增长。随着国
内半导体产业的投资加速，也带来上游电子气体市场规模的快速增长。
据卓创资讯数据显示，中国电子气体市场规模由2016年的92亿元增长至2021年的160亿元，复合年均增
长率达11.70%。2022年我国电子气体市场规模预计达到174亿元，2022年中国电子气体市场规模占工业气体
市场总规模的9.02%，较2016年的8.52%有所上涨。随着新一代显示技术、5G、人工智能、物联网和自动驾驶
等领域的兴起，中国半导体市场需求将逐渐扩大，预计2023-2025年将保持稳定增长。
（2）行业基本特点
国内工业气体产业特点因下游市场及应用场景的快速拓展呈现出多样化和复杂化，主要涉及供气模式、
区域性、高成长性、技术创新等方面，为国内气体公司抢占市场份额提供了潜在机会，同时也要求国内气体
公司需根据下游市场实际需求，立足自身核心竞争力进行区域布局整合，形成针对性的竞争策略。
1.技术创新驱动产业发展
随着现代化工业建设发展，以电子信息技术为代表的高精尖产业驶入发展快车道，下游生产企业对气体
产品的种类、品质、纯度和可靠性等方面的要求越来越高。气体市场是一个具备高价值发展潜力的行业，随
着持续加大的研发投入，气体公司通过技术创新提升生产效率，实现产品升级，同时响应市场及客户的新增
需求，开发新的气体终端应用技术，驱动气体产业整体发展。
2.客户需求趋向综合性气体服务
随着科技水平发展，下游产业中尤其集成电路制造、半导体显示等高精尖产业技术升级，使得客户项目
投资水平增大，工艺技术提升及制作流程增多，促使客户对电子气体的品质、纯度及品种要求提升。
电子气体客户对气体纯度、品质、稳定性及一致性要求更为苛刻，且其需要气体公司提供更专业化、定
制化的服务。随着客户技术发展，对电子气体需求品类亦逐渐增多，需要气体公司同时采用现场制气供应模
式和零售气体供应模式为其提供产品。此外，客户产能释放具有阶段性，对气体产品的需求也呈现阶段性的
特点，因此要求气体公司具备更强的技术能力、运营水平为其提供综合性服务。同时，不断演变的行业多样
性为气体行业带来了广泛的市场需求，要求气体公司具备实现产品定制化、多样化的能力，通过综合服务能
力为行业提供独特的解决方案。
3.区域先发优势明显
由于工业气体具有严格的技术、资金、资质、渠道等行业壁垒，工业气体行业的市场分布具有明显的区
域性特征。以现场制气供气模式为主的应用领域，通常采取与客户签订15年长期协议的供应方式，通过BOO
模式为客户提供稳定的气体供应服务，具有高粘性的合作模式有效保障客户群体相对稳定。以零售气体供应
为主的应用领域，气体产品种类繁多，其产品品质及可靠性对客户产成品的性能至关重要；同时，由于单个
客户用气量较小，区域内需要依靠大量的客户来完善销售网络的铺设，产品经客户认证后具备一定粘性，形
成较高的进入门槛，因此气体行业具有明显的区域先发优势。
4.未来市场空间广阔
作为国民经济基础工业要素之一的气体行业，庞大的市场需求为中国气体行业带来广阔的发展空间。
通用工业气体产销量大，对纯度要求不高，在以钢铁、煤化工、石油化工等为主的下游领域发挥着至关
重要的作用。近年来，通用工业气体在非钢铁、石化等传统行业中的应用范围也愈加广泛，用量不断增加，
尤其是新能源、食品医疗、新材料等新兴行业的蓬勃发展，带动通用工业气体需求的持续、稳定增长，成为
通用工业气体市场新的增长点。
同时，在5G、人工智能、物联网等终端应用的带动下，中国集成电路制造、半导体显示、光纤通信等技
术飞速发展，先进技术节点得以快速突破，叠加解决“卡脖子”问题等政策的大力支持，产能将进一步释放
。电子气体作为电子信息领域产业发展必不可少的关键材料之一，市场需求也将稳步上升。
5.市场集中度进一步提升
纵观工业气体产业发展历史，由于气体行业高技术、重运营、重资本的基本属性，随着行业发展必然出
现显著的龙头效应。从海外气体公司林德气体、液化空气、空气化工百年发展历程，国外气体龙头经历了大
量整合式发展。目前国内气体行业仍处于高速发展阶段，但以电子大宗气体下游客户为代表，由于下游客户
自身亦为重资本、高技术、严要求的生产模式，其所选择的气体供应商亦集中在头部气体公司，因此未来行
业发展将进一步集中。
（3）行业主要技术门槛
目前，我国通用工业气体领域以大型钢铁、冶金及化工企业自行投资并运营大宗气站为主，外包专业气
体公司运营为辅，工艺技术发展相对成熟。
电子大宗气体行业进入壁垒高，长期由外资主导，主要系技术及运营能力壁垒高、客户认证周期长、需
具备全产品线供应能力等综合原因所致。具体如下：
技术壁垒
随着电子半导体行业的不断发展，工艺制程不断微缩，致使集成电路制造工艺的难度成指数级的提升，
相应对电子大宗气体的技术要求也愈发严苛。目前电子大宗气体的纯度要求最高达到ppb级，比通用工业气
体ppm级的纯度高1,000倍，并且对各类气体的单项杂质水平也有特定要求。除了纯度方面，电子半导体客户
对于电子大宗气体供应的可靠性、稳定性等也有极高的要求，需要全年全时不间断连续供应，并且要求纯度
、压力、流量等指标极其稳定。这对气体公司的系统工艺设计、工程建设技术提出了综合性的要求。
运营能力壁垒
电子大宗气站在供气过程中，环境温度、湿度、客户工况时刻在发生变化，容易影响气体的纯度、压力
、流量等指标，需要进行及时的调节。除了具备相应的技术能力外，业内企业需通过大量电子大宗气站的多
年运营经验，形成电子大宗气站的综合运营体系。
客户认证壁垒
电子大宗气体属于半导体制造的关键材料，对气体纯度、稳定性、可靠性的要求极高，任何供气过程中
的气体品质波动可能直接影响半导体产线的良率和正常运行，因此，电子半导体客户对电子大宗气体供应商
的认证极为苛刻。
客户在新项目招标时通常要求供应商拥有在电子级同类工厂建厂和运营的经验业绩。这使得市场的头部
效应愈加突出，新进入者的难度极大。
全产品线供应能力壁垒
对于下游半导体客户的单个工厂/产线来说，现场制气一般仅有一个电子大宗气体供应商，由其提供全
部六大类电子大宗气体。其中，氦气进口依存度极高、且具备全球完整供应链的气体公司较少，市场经常出
现供不应求的情况。因此，下游半导体客户在选择供应商时也会对氦气的保供能力提出较高要求。
（二）主要业务及产品情况
公司是一家国内领先的电子大宗气体综合服务商，是国务院“科改示范企业”及广州市国资委重点混合
所有制改革项目企业。公司的主营业务是研发、生产和销售以电子大宗气体为核心的工业气体。公司打造了
全方位、自主可控的气体供应体系，专业和能力涵盖从气体制备装置的设计到投产运行、气体储运、数字化
运行、气体应用解决方案等全部环节，为客户提供现场制气、零售供气等综合服务。
公司的产品涵盖电子大宗气体的全部六大品种以及主要的通用工业气体品种，具体包括氮气(N2)、氦气
(He)、氧气(02)、氢气(H2)、氩气(Ar)、二氧化碳(C02)等气体品种，广泛应用于集成电路制造、半导体显
示、光纤通信等电子半导体领域以及能源化工、有色金属、机械制造等通用工业领域，具有明确且可观的市
场前景。
近年来，公司聚焦国家战略需求和半导体材料关键技术，围绕下游重点客户的用气需求，战略布局电子
特气赛道，在上海、湖北、内蒙古、合肥等战略性新兴产业聚集区落地多个电子特气研发生产基地项目，重
点布局以三氟化氮（NF3）、六氟丁二烯（C4F6）、氯化氢（HCl）、溴化氢（HBr）等为代表核心电子特气
品类，进一步完善公司在电子气领域的业务版图，增强公司在电子气体方面的技术、产品优势，为客户提供
更加全面的气体产品服务。
公司将持续加大研发投入，不断优化升级“Super-N”系列超高纯制氮装置，进一步提升核心技术自主
可控能力，为国内高精尖产业发展提供有力保障。同时，公司持续完善氦气供应链建设，不断扩大国内氦气
市场竞争优势，助力电子半导体、高端医疗等重点产业健康发展。公司将始终以客户需求和市场发展趋势为
导向，以电子大宗气体为核心，加大研发投入和强化自主创新、扩大产品品类、提升气体品质和产能、持续
提高气体供应的稳定可靠性，充分发挥综合性、平台型气体公司的优势，实现“广钢气智造中国芯，广钢气
点亮中国屏”的战略发展目标，成为电子大宗气体的领军企业。
（三）主要经营模式
1、销售模式
公司营业收入主要来自于销售气体产品，下游产业涵盖集成电路制造、半导体显示、电子设备及材料、
低温超导、能源化工、机械制造等电子及通用工业领域。
公司的主营业务是研发、生产和销售以电子大宗气体为核心的工业气体。由于电子大宗气体的技术门槛
较高，客户对供应气体产品的纯度、稳定性、可靠性、一致性要求极为严格。客户在选择气体供应商的过程
中，重点考察技术方案先进性和可靠性、运营经验、资金实力等因素。公司凭借对电子半导体行业的深刻理
解，有效结合客户工艺路线和技术要求，提供定制化的电子大宗气体供应解决方案。
（1）现场制气模式
对于气体需求稳定且达到一定规模的客户，公司采用现场制气模式。该模式下公司与客户的合同期限通
常在15年，盈利持续稳定且具有较高的确定性，具备对抗周期性波动的特性。现场制气模式的合同收费方式
一般包括固定收费和变动气费。
（2）零售供气模式
对于用气规模较小的客户，公司采用零售供气模式。该模式下公司与客户的合同期限一般在3-5年，且
期满后自动连续以2-5年为期续展。对于需求较为稳定的客户，公司同时为其提供气体储存和输送等综合服
务。因此，公司与零售客户的合作关系也较为长期、稳定。
2、生产模式
公司采用现场制气和自建工厂零售供气相结合的生产模式。
现场制气模式下，公司在客户现场或邻近场地建设大宗气站。气站由公司拥有并负责运营，通过管道直
接向客户工厂供气。同时，公司结合周边市场需求，部分现场利用制气装置的富余产能生产气体，经液化后
向周边客户零售。
零售供气模式下，公司将自建工厂生产的气体经过液化或充装后，通过液体槽车、气体管束车或气瓶等
载体运输到客户现场。同时，对于用气稳定性高的客户，公司还可提供现场储存、气化、调压、纯化、过滤
等整体供气解决方案。
3、采购模式
按照采购用途，公司对外采购分为原材料和能源相关的生产采购，以及设备和工程相关的固定资产采购
。公司制定了《采购管理规定》《供应商管理制度》等采购制度。采购部门根据生产经营、项目建设等需求
，并结合原材料库存、项目建设周期等情况制定相应的采购计划，根据采购计划向供应商下达订单。
（1）原材料和能源采购
①原材料采购
公司主要产品中的氮气、氧气、氩气等空分气体原材料来源于空气，无需进行采购；氦气的原料主要来
源于进口的原料液氦。除前述气体原料采购外，基于降低运输成本、缓解临时产能不足、满足客户多样化气
体需求等原因，公司还采购部分气体作为补充。
②能源采购
公司生产过程所需能源主要为电力。现场制气模式下，公司主要使用客户的电力设施，并按照合同约定
的方式结算费用；零售供气模式下，公司自建工厂的电力由公司独立采购，电费由公司承担，按月结算。
（2）设备和工程采购
公司设备和工程采购主要用于新建现场制气项目及自建工厂。公司针对各项目定制技术方案并编制技术
规格书，据此确定采购的具体要求。采购部门根据采购相关制度评选供应商，并相应下达采购合同或订单。
（四）公司所处的行业地位分析及其变化情况
2018年以来，公司聚焦电子大宗气体业务，通过优化公司治理结构、引进高端战略人才、提升装备核心
技术创新能力，实现了业务发展的实质性突破，公司电子大宗气体业务市场占有率在行业内资企业中排名领
先，与国际三大外资气体巨头形成了“1+3”的竞争格局。
报告期内，公司坚持“半导体项目+产业基地”的产业发展战略，做好在建项目的施工建设和高质量交
付的同时，以大湾区为核心，围绕长三角地区、京津冀地区以及中西部地区等产业聚集区持续开拓业务。适
时开展特气业务战略布局，优化电子气产品结构，巩固和发展现有半导体领域客户；在氦气业务方面，依托
现有氦气供应链，推动与国外气源地建立长期合作关系，加强原料供应、产品应用等上下游产业的衔接融合
，打通产业链条，提升国内国际氦气市场影响力；坚持创新引领发展，正式启动杭州智能装备制造基地项目
建设工作，加快培育公司新质生产力，进一步建立和掌握自有的装备设计核心技术、生产能力，提升公司核
心竞争力，推动公司核心业务稳步发展。
同时，公司依托电子大宗气体领域的深厚积淀和创新优势，聚焦装备核心技术发展，确保公司产品在性
能、安全性、可靠性等方面处于行业领先地位。自主研发形成的亚超临界二氧化碳装备技术，成功在北京广
钢、安徽广钢等项目公司实现科技成果的转化，打破电子大宗气体行业超临界二氧化碳供气系统的国外垄断
地位，为公司在芯片半导体行业的战略布局提供更加全面的技术支撑。公司注重技术创新成果的保护，建立
完善的知识产权申请机制，报告期内，公司及下属子公司共申请专利9项，获得专利授权18项，截至2024年6
月末累计获得专利授权129项，同比增长32.99%。
二、核心技术与研发进展
1.核心技术及其先进性以及报告期内的变化情况
公司自主研发形成了包括系统级制气技术、气体储运技术、数字化运行技术、气体应用技术等在内的核
心技术体系。在系统级制气技术领域，公司制氮装置的技术参数和功能达到国际领先水平；公司电子大宗气
体的产品技术参数可达到ppb级，满足《重点新材料首批次应用示范指导目录》的性能要求，均远超国标要
求；在气体储运技术领域，公司主要围绕氦气完整供应链形成了4K温区超低温的储运、液氦冷箱预冷、液氦
冷箱互充、氦气循环回收提纯等核心技术，达到行业先进水平。2023年，公司成功自主开发了亚超临界二氧
化碳输送技术，成为少数掌握此技术的公司，同时填补了国内空白；在数字化运行技术领域，公司实现了全
部制气现场远程控制，并依托大数据分析有效提升制气现场的运行稳定性；在气体应用技术领域，公司为多
个下游行业客户创新研发气体解决方案，实现节能减排、提质增效。
（1）系统级制气技术
1）气体制备技术
①超高纯复合纯化技术
目前，电子半导体产业对于电子大宗气体的核心需求之一即为超高纯度，要求杂质含量控制到ppb级。
公司通过超高纯复合纯化技术，在满足客户要求的品质、稳定性、可靠性的基础上，精准而不过度设计，以
优化投资、降低运行能耗，具体如下：
A.前置净化技术
公司独创的前置净化技术，通过选择合适的催化剂优化催化剂填充量优化吸附器内不同吸附剂及催化剂
的布置，可在传统去除水蒸气、CO2、碳氢化合物、氮氧化物等常规杂质的基础上，进一步去除CO和H2确保
制氮装置出口氮气中CO和H2含量降至1ppbv，直接满足目前国内电子半导体制造的终端使用要求，降低了后
端纯化器的负载，提高了系统的可靠性，延长了系统装置的使用寿命。
B.多级精馏技术
公司在自主研发设计的冷箱中，运用多级精馏技术，可将制氮装置出口氮气产品中的氧杂质含量降至1p
pbv，满足目前国内电子半导体制造的需求。
C.后置纯化技术
公司后置纯化技术通过精准控压和组合式过滤确保气体在最佳压力范围内进行纯化，并使设备处于最佳
工况，避免失效，同时确保杂质颗粒度满足要求。
②宽幅变负荷技术
公司宽幅变负荷技术可实现105%范围内负荷调整，在确保设备可靠性和峰值需求的前提下，满足客户前
期产能爬坡的低用量需求，可大幅节约能耗、降低运营成本。
③模块化设计技术
公司自主研发设计的高纯/超高纯制氮装置均采用撬装模块化设计，可在设备制造工厂分模块加工，运
输至客户现场后快速安装，更好的控制设备整体质量并大幅减少现场安装工作量、缩短建设时间，快速实现
供气。同时，模块化设计使制氮装置具备易拆卸、可搬迁、搬迁成本低的特点，有利于提升公司对风险项目
的应对能力。
④圆形真空冷箱技术
公司中小型制氮装置采用圆形真空冷箱，具有最小比表面积、高真空度等特点，节约生产材料和占地面
积，并大幅提升保温效果、降低能耗。
⑤前置式复合增压技术
公司前置式复合增压技术，采用空气/氮气一体式多级组合气体压缩技术，可大幅降低冷箱内精馏塔的
操作压力，提升氮气提取率，并采用分级增压方式，较常规单级增压大幅降低能耗。
2）全时在线气体供应技术
电子半导体客户对于电子大宗气体供应可靠性有极高的要求。在制氮装置主设备发生故障或客户终端工
况突然变化导致主设备无法满足客户需求时，全时在线气体供应技术通过独特的多回路预设快开设计，实现
0～100%自动柔性无缝补给，保证超高纯气体全时在线供应以满足客户用气需求，达到高可靠性的运行目标
，避免因气体断供、短供或波动对客户生产造成巨大损失。
3）高频脉冲测控技术
由于电子半导体产业对于电子大宗气体的纯度和稳定性要求极高，需要实时监测气体品质且产品参数需
与设定值严格一致。公司高频脉冲测控技术通过脉冲式取样，对多组气体的品质实施监测和控制，确保超高
纯气体的品质与设定值严格一致，提高了监测控制效率。
4）超高纯氦气纯化技术
公司超高纯氦气纯化技术，采用金属吸附反应原理，可将5N级氦气提纯至9N级为我国集成电路制造、半
导体显示等行业供应ppb级超纯氦气。
（2）气体储运技术
1）亚超临界二氧化碳输送技术
亚超临界二氧化碳兼具气体和液体的双重物理特性，具有极其优异的溶解能力，欧美半导体巨头已将其
应用于硅片清洗，此法可极大提高半导体成品良率、降低污染和设备成本。由于国内半导体产业发展起步较
晚，国内气体供应商在超临界二氧化碳应用上处于空白。
公司依托电子大宗气体领域的深厚积淀和创新优势，开发亚超临界二氧化碳装备技术，掌握该装备技术
的设计流程、系统组成和使用方法
|
