经营分析☆ ◇688596 正帆科技 更新日期：2025-06-14◇ 通达信沪深京F10
★本栏包括【1.主营业务】【2.主营构成分析】【3.前5名客户营业收入表】【4.前5名供应商采购表】
【5.经营情况评述】
【1.主营业务】
(1)气体化学品供应系统的设计、生产、安装及配套服务；(2)高纯特种气体的生产、销售；(3)洁净厂房配
套系统的设计、施工。
【2.主营构成分析】
截止日期:2024-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
集成电路(行业) 27.34亿 50.00 7.30亿 51.31 26.71
泛半导体(行业) 17.44亿 31.89 4.86亿 34.18 27.89
其他行业(行业) 6.20亿 11.34 1.36亿 9.57 21.97
生物医药(行业) 3.71亿 6.78 7042.01万 4.95 19.00
─────────────────────────────────────────────────
电子工艺设备(产品) 34.49亿 63.06 8.91亿 62.60 25.84
核心零组件(产品) 7.01亿 12.82 2.25亿 15.82 32.10
气体和先进材料(产品) 5.43亿 9.92 1.03亿 7.24 18.98
MRO业务(产品) 4.50亿 8.24 1.47亿 10.33 32.65
生物制药设备(产品) 3.23亿 5.91 5587.53万 3.93 17.28
其他业务(产品) 277.04万 0.05 123.76万 0.09 44.67
─────────────────────────────────────────────────
华东区(地区) 20.75亿 37.94 5.79亿 40.66 27.89
华南区(地区) 14.77亿 27.01 3.37亿 23.64 22.78
华北区(地区) 7.49亿 13.69 2.15亿 15.13 28.77
西南区(地区) 5.95亿 10.88 1.31亿 9.17 21.93
华中区(地区) 2.60亿 4.75 7066.02万 4.96 27.20
东北区(地区) 1.29亿 2.37 3174.48万 2.23 24.53
境外(地区) 9612.54万 1.76 3954.32万 2.78 41.14
西北区(地区) 8686.13万 1.59 1936.47万 1.36 22.29
其他业务(地区) 95.97万 0.02 93.26万 0.07 97.17
─────────────────────────────────────────────────
截止日期:2023-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
集成电路(行业) 14.75亿 38.46 3.80亿 36.56 25.77
太阳能光伏(行业) 14.42亿 37.60 3.99亿 38.42 27.71
其他行业(行业) 3.55亿 9.25 1.04亿 10.02 29.38
生物医药(行业) 3.02亿 7.89 7424.07万 7.14 24.55
其他泛半导体(行业) 2.61亿 6.80 8158.98万 7.85 31.27
其他业务(行业) 16.59万 0.00 12.53万 0.01 75.51
─────────────────────────────────────────────────
电子工艺设备(产品) 29.00亿 75.63 7.99亿 76.88 27.56
气体和先进材料(产品) 4.20亿 10.94 8060.74万 7.75 19.21
生物制药设备(产品) 2.90亿 7.58 6967.98万 6.70 23.99
MRO(产品) 2.23亿 5.81 8935.92万 8.59 40.11
其他业务(产品) 177.71万 0.05 77.51万 0.07 43.62
─────────────────────────────────────────────────
华东区(地区) 24.15亿 62.97 6.66亿 64.04 27.57
华南区(地区) 3.87亿 10.08 9985.39万 9.60 25.83
华北区(地区) 3.27亿 8.53 8458.78万 8.14 25.87
西南区(地区) 2.89亿 7.54 8355.89万 8.04 28.90
西北区(地区) 1.37亿 3.57 2469.54万 2.38 18.02
华中区(地区) 1.35亿 3.53 3642.94万 3.50 26.94
东北区(地区) 1.05亿 2.74 2623.89万 2.52 24.96
境外(地区) 3951.62万 1.03 1838.04万 1.77 46.51
其他业务(地区) 16.59万 0.00 12.53万 0.01 75.51
─────────────────────────────────────────────────
截止日期:2022-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
集成电路(行业) 10.76亿 39.79 2.77亿 37.29 25.72
太阳能光伏(行业) 7.90亿 29.22 2.47亿 33.33 31.31
生物医药(行业) 3.77亿 13.94 9475.77万 12.76 25.14
其他行业(行业) 2.01亿 7.43 6086.96万 8.20 30.29
平板显示(行业) 1.37亿 5.06 2754.53万 3.71 20.14
化合物半导体(行业) 1.07亿 3.94 2594.88万 3.49 24.33
光纤通信(行业) 1652.55万 0.61 909.92万 1.23 55.06
其他(补充)(行业) 20.57万 0.01 16.51万 --- 80.25
─────────────────────────────────────────────────
电子工艺设备(产品) 18.99亿 70.19 5.25亿 70.70 27.66
生物制药设备(产品) 3.45亿 12.74 8387.20万 11.29 24.35
电子气体(产品) 2.43亿 8.97 4300.11万 5.79 17.73
MRO(产品) 2.15亿 7.94 8864.76万 11.94 41.29
其他业务(产品) 419.87万 0.16 192.77万 0.26 45.91
其他(补充)(产品) 20.57万 0.01 16.51万 0.02 80.25
─────────────────────────────────────────────────
华东区(地区) 13.87亿 51.27 4.04亿 54.42 29.15
西南区(地区) 3.68亿 13.61 1.07亿 14.39 29.02
西北区(地区) 2.77亿 10.24 7801.95万 10.51 28.18
华北区(地区) 2.71亿 10.03 5349.64万 7.20 19.73
华中区(地区) 2.09亿 7.71 3352.43万 4.51 16.07
华南区(地区) 7663.53万 2.83 2469.25万 3.32 32.22
东北区(地区) 5893.16万 2.18 1880.03万 2.53 31.90
境外(地区) 5743.52万 2.12 2295.16万 3.09 39.96
其他(补充)(地区) 20.57万 0.01 16.51万 0.02 80.25
─────────────────────────────────────────────────
截止日期:2021-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
太阳能光伏(行业) 6.35亿 34.57 1.54亿 32.00 24.21
集成电路(行业) 4.64亿 25.27 1.39亿 28.91 29.93
平板显示(行业) 2.36亿 12.86 5353.28万 11.14 22.66
其他行业(行业) 1.88亿 10.22 4348.48万 9.05 23.17
生物医药(行业) 1.86亿 10.14 5455.84万 11.36 29.28
半导体照明(行业) 9759.89万 5.31 2467.09万 5.14 25.28
光纤通信(行业) 2940.74万 1.60 1151.86万 2.40 39.17
其他(补充)(行业) 42.95万 0.02 38.43万 --- 89.48
─────────────────────────────────────────────────
电子工艺设备(产品) 12.83亿 69.88 3.18亿 66.24 24.81
MRO(产品) 1.88亿 10.21 7619.96万 15.85 40.63
电子气体(产品) 1.76亿 9.56 3462.25万 7.20 19.71
生物制药设备(产品) 1.68亿 9.13 4267.33万 8.88 25.45
其他业务(产品) 2196.21万 1.20 842.41万 1.75 38.36
其他(补充)(产品) 42.95万 0.02 38.43万 0.08 89.48
─────────────────────────────────────────────────
华东区(地区) 12.34亿 67.16 3.55亿 73.91 28.81
西南区(地区) 2.32亿 12.66 3534.39万 7.35 15.20
华南区(地区) 1.23亿 6.71 2422.47万 5.04 19.66
华北区(地区) 1.13亿 6.13 2906.82万 6.05 25.80
华中区(地区) 7530.11万 4.10 2476.47万 5.15 32.89
西北区(地区) 2472.76万 1.35 377.17万 0.78 15.25
境外(地区) 1833.44万 1.00 389.21万 0.81 21.23
东北区(地区) 1614.71万 0.88 398.47万 0.83 24.68
其他(补充)(地区) 42.95万 0.02 38.43万 0.08 89.48
─────────────────────────────────────────────────
【3.前5名客户营业收入表】
截止日期:2024-12-31
前5大客户共销售14.42亿元，占营业收入的26.36%
┌───────────────────────┬───────────┬───────────┐
│客户名称 │ 营收额(万元)│ 占比(%)│
├───────────────────────┼───────────┼───────────┤
│客户一 │ 47219.90│ 8.63│
│客户二 │ 36033.43│ 6.59│
│客户三 │ 21207.54│ 3.88│
│客户四 │ 20560.44│ 3.76│
│客户五 │ 19140.13│ 3.50│
│合计 │ 144161.44│ 26.36│
└───────────────────────┴───────────┴───────────┘
【4.前5名供应商采购表】
截止日期:2024-12-31
前5大供应商共采购4.93亿元，占总采购额的14.53%
┌───────────────────────┬───────────┬───────────┐
│供应商名称 │ 采购额(万元)│ 占比(%)│
├───────────────────────┼───────────┼───────────┤
│供应商一 │ 15799.09│ 4.65│
│供应商二 │ 10919.61│ 3.22│
│供应商三 │ 8133.99│ 2.40│
│供应商四 │ 7268.22│ 2.14│
│供应商五 │ 7192.71│ 2.12│
│合计 │ 49313.62│ 14.53│
└───────────────────────┴───────────┴───────────┘
【5.经营情况评述】
截止日期:2024-12-31
●发展回顾:
一、经营情况讨论与分析
正帆科技长期服务于集成电路、泛半导体、生物医药、新能源和先进制造业等高科技产业，提供制程关
键系统、核心工艺材料和专业运维管理的“三位一体”服务。公司掌握超高纯流体介质和系统相关的核心技
术，在复杂多变的市场环境中，凭借清晰的战略规划与高效执行力，在市场拓展、技术创新及管理优化等方
面取得显著成效。
在“依托CAPEX业务拓展OPEX业务”战略下，2024年OPEX业务收入占比达31.0%，新签合同占比44.8%，
均较上年度显著提升。公司秉承以客户为中心的理念，持续创新并优化产能布局，推动非设备类业务增长，
优化业务结构，现已成为国内泛半导体行业综合服务领域的第一梯队供应商。
报告期内，公司重点开展了以下工作：
1、经营业绩继续高增、财务指标不断优化、股东回报水平稳定增长
2024年，全球半导体行业在技术迭代以及以AI应用带动新兴需求的双重驱动下持续焕发活力。与此同时
，全球供应链重塑与地缘政治博弈加剧，对行业竞争格局提出更高要求。在此背景下，公司凭借深厚的技术
积累、精准的战略布局以及强大的执行力，紧抓行业机遇，持续优化产品与服务，推动业绩实现高增长。
在业绩高速增长的同时，公司营运现金流等核心财务指标持续优化，资产负债结构更加稳健，周转能力
明显提升。这表明公司的市场拓展和业务结构优化，带动了公司运营健康度的全面提升，为未来可持续发展
奠定了坚实基础。
公司坚持将为股东创造长期稳定回报作为企业发展的重要目标：公司自2020年上市至今5个报告期内，
归母净资产收益率（加权平均ROE）从9.4%逐步增长至16.0%，保持连续4年增长；本报告期内，面对资本市
场波动，公司两次主动实施回购，累计成交金额8000余万元；公司近三年现金分红总额达到3.2亿（含股票
回购金额），达到对应三年平均归母净利润的81.4%（其中，2024年分红计划尚需股东大会批准）。
2、非设备类业务高速增长，依托CAPEX业务开拓OPEX业务战略成效显著
报告期内，公司继续大力发展核心零组件、气体及先进材料、专业运维管理服务三大业务。非设备类业
务同口径下同比2023年增长58.5%，增长显著。
在下游人工智能、物联网、工业互联、汽车电子终端需求大幅增长以及地缘政治的影响下，国产半导体
工艺设备出货大幅上升，相应国产核心零组件的需求不断提升。核心零组件业务聚焦半导体工艺设备上游供
应链的国产替代需求，通过自主研发和工艺优化，成功突破关键部件技术瓶颈，为国内工艺设备厂商提供稳
定可靠的供应链支持。
气体及先进材料业务跨行业外溢效应明显，公司凭借超高纯电子材料合成与提纯技术，将业务向新能源
、新材料等先进制造业辐射。公司气体产能项目建设进展顺利，位于潍坊的高纯大宗气生产基地、合肥高纯
氢气及罐装特种气体项目均已建成投产，铜陵二期前驱体及特气项目也部分建设完成。在报告期内，公司通
过收并购方式继续并入多家气体公司，持续丰富公司的气体产品品类。随着公司电子特气、电子大宗气、先
进材料的布局逐渐完善，尽管2024年遭遇气体市场价格剧烈波动，公司仍凭借多行业多品类的综合布局，保
持气体和先进材料业务稳定增长。
专业运维服务业务以全生命周期管理为核心，构建覆盖升级改造、日常运维、快速响应、回收循环的综
合服务体系。为更好地贴近客户，公司在全国建立了14个服务站为客户提供专业、高效的服务。随着公司的
持续布局以及服务业务内容不断增加，MRO业务在报告期内取得了同比123.4%的增长。
公司服务的下游行业经过周期性扩张阶段，为运营支出创造了广阔市场，在“三位一体”的商业模式下
，不同业务条线形成有机整合，设备类业务和非设备类业务都将继续开拓业务品类和客户规模，随着客户产
能提升保持可持续的增长。
3、聚焦半导体产业，积极开拓新兴市场
报告期内，公司在坚定不移地聚焦半导体产业的同时，积极开拓新兴市场，取得了显著成效。公司2024
年行业收入占比显示，2024年半导体业务收入占比跃升至50.8%；同时以新能源、新材料为代表的先进制造
业，作为公司开拓的新兴市场已增长至11.5%。
半导体行业客户对产品和服务有着极高的应用等级要求，公司持续保障产品性能稳定性，持续创新以满
足行业不断提升的高水准需求。半导体业务占比的显著提升，充分彰显了公司的技术水平与竞争实力。
公司秉持“利用核心技术的泛用性积极创造同源技术跨行业外溢效应”的战略，向新能源、新材料和先
进制造业等新兴市场拓展。在新能源领域，公司的氢气产品已向新能源车加氢站批量提供能源；公司通过液
化气体、现场制气等多种方式为清洁能源企业提供富氧及输送设备，助力绿色出行与清洁能源可持续发展；
在储能材料领域，公司批量提供正负极材料不可或缺的气体材料及设备，促进新能源电池技术创新与产能提
升。在新材料领域，公司为先进制造业客户提供表面处理材料，以提升产品性能与质量；为精细化工行业客
户建设供应气体材料的气体岛，推动高端精细化工工艺升级与产品创新。新行业的持续开拓使得公司来源于
新行业的收入占比在2024年超过10%，为公司开辟了可持续发展的新赛道。
未来，公司将继续深耕半导体产业，强化技术创新与市场拓展，同时持续探索新兴市场，充分发挥核心
技术优势，实现业务的多元化和高增长。
4、坚持“同游扩张”战略，丰富产品和服务种类，提升全方位服务能力公司服务的下游市场具有工艺
链条长、供应链要求高的特点。因此公司秉持同游扩张战略，向客户提供更多产品和服务，拓宽业务赛道。
通过不断丰富产品与服务种类，形成多元化业务布局，满足客户多样化需求，增强客户粘性与市场竞争力。
核心零组件业务自2021年起推出后在3年内取得了飞速增长，重要产品GasBox已打破国外厂商垄断，成
为国内半导体气体输送模组领域的主要供应商。报告期内，公司新增ChemicalBox（化学品输送模组）、Bub
bler（半导体鼓泡器）等产品。公司持续优化现有核心零组件产品的性能和质量，同时加强新品研发，未来
将不断推出新的零组件产品。
气体及先进材料业务经过近年持续布局，以丰富的产品种类使供应能力不断升级。超高纯电子特气及大
宗气包含砷烷、磷烷、硅烷、乙硼烷、锗烷、乙炔、三氟化硼、三氟甲烷、六氟丁二烯、四氟化锗、氨气、
氧气、氮气、氩气、氢气、氦气等，广泛应用于集成电路、泛半导体及新能源新材料等先进制造行业。半导
体前驱体作为半导体制造中的前道工艺环节的重要材料，国产化率极低。公司报告期内已完成前驱体产能的
建设，产品包含原硅酸乙酯（TEOS）、亚磷酸三乙酯（TEPO）、硼酸三乙酯（TEB）、四甲基硅烷(4MS)、三
甲基硅烷(3MS)、八甲基环四硅氧烷(OMCTS)、六氯乙硅烷(HCDS)、四氯化钛(TiCl4)、四氯化铪(HfCl4)、三
甲基铝（TMA）等。
电子工艺设备业务围绕半导体、泛半导体等电子制造行业的工艺需求，提供多种关键设备。公司除超高
纯工艺介质供应系统外，还向下游客户提供Scrubber（半导体工艺尾气处理设备）、Chiller（半导体精确
温控设备）、LDS输送系统等产品。公司提供的产品有助于推动国内半导体设备的自主可控。
专业运维服务（MRO业务）在报告期内快速成长，公司在国内布局14个服务点，为客户提供更快速的响
应和更优质的服务。随着近年国内FAB厂持续建成后投入运营，消耗性零部件的替换需求为MRO市场提供了巨
大增长空间，公司在原有业务基础上提供专业的半导体工艺设备维保服务，以满足客户对设备长期稳定运行
的需求。公司目前已向客户提供ESC（ElectrostaticChuck）维保服务。公司提供的专业ESC维保服务以及正
在拓展的其他半导体工艺设备运维服务，将帮助半导体制造企业降低设备运行成本，提高设备的使用寿命和
可靠性，从而提高客户的生产效率和经济效益，同时也增强客户对公司产品的信赖。
通过不断推出新产品、新服务，公司不仅在现有业务领域实现了深度拓展，还横向开拓了新的市场空间
，为公司的持续稳定发展奠定了坚实基础。未来，公司将继续紧跟下游市场发展趋势，加大创新力度，进一
步丰富产品与服务品类，提升公司的核心竞争力和综合盈利能力，为客户创造更大价值。
5、信息化建设推动运营升级，数智结合支持高质量发展
报告期内，公司以数字化转型为核心，加速推进信息化建设，全面深化SAP、OA、CRM、IoT、SRM、PLM
、WMS、MOM等多业务系统的应用，实现业务流程线上化覆盖率超过90%，部门协作效率显著提升。通过搭建O
MS运营集中服务平台，成功打通各业务系统间的信息孤岛，数据决策时效性显著增强。截至报告期末，公司
已累计获得52项软件著作权。未来，公司将深化AI技术应用，加强IoT物联网平台在半导体与危化品行业的
深度应用，以支持远程控制与预防性维护；同时，公司将积极构建危化品区域实时监测体系，有效预防安全
事故，推动信息化向智能化升级，为业务的高质量发展提供坚实的技术支撑和保障。
6、人才建设与激励机制
组织能力是公司的核心竞争力，公司高度重视人才的储备、培养和激励，通过完善相关机制推动员工成
长。为鼓励自主创新，公司设立了职务发明专利奖励制度，报告期内共向47名员工发放了涵盖72项专利的奖
金，有效激发了员工的创新热情。
为匹配多元化业务发展战略的人才需求，公司启动了长期领导力培养计划，系统提升管理团队的能力，
同时为关键岗位构建内部人才梯队。该举措不仅增强了组织韧性，还在核心管理人才的激励和保留方面发挥
了积极作用，为公司持续发展提供了有力支持。
公司采取了多种股权激励工具，员工激励效果明显。2024年12月，公司发布了第二期员工持股计划，共
向员工授予约610万股回购股份，存续期为84个月。截止2024年12月31日，公司已实施两期股票期权激励计
划及两期员工持股计划，合计授予激励股份总数约3527万股。
7、信息披露、防范内幕交易及投资者关系管理
公司在信息披露、内幕交易防范及投资者关系管理方面持续优化，严格遵守法律法规，确保信息披露真
实、准确、完整、及时、公平，并督促相关方履行信息披露义务。公司通过定期对董事、监事、高级管理人
员及相关员工开展警示教育，强化内幕交易防范意识，要求相关人员严格履行保密义务并遵守股票买卖规定
。2023-2024年度，公司信息披露工作评价结果为A，充分体现了公司在信息披露领域的卓越表现。
在投资者关系管理方面，公司高度重视与投资者的沟通，通过电话、邮件、接待调研、业绩说明会等多
种渠道，积极向投资者介绍公司经营基本面及业务发展逻辑，及时回应市场关切问题。报告期内，公司机构
股东构成进一步优化，二级市场交易健康度稳步提升，为公司长期发展奠定了良好基础。
二、报告期内公司所从事的主要业务、经营模式、行业情况说明
(一)主要业务、主要产品或服务情况
公司主要业务为向集成电路、泛半导体、生物制药等高科技产业及先进制造业客户提供设备类（CAPEX
）业务和非设备类（OPEX）业务。
1.非设备类（OPEX）业务
2024年，非设备类业务收入占比31.0%，新签合同占比44.8%，收入和新签合同占比均有大幅提升，增长
速度显著高于设备类业务。由核心零组件、气体及先进材料和专业运维管理服务组成的非设备类业务已成为
公司业绩持续成长的重要动力。
（1）核心零组件
泛半导体工艺设备的核心零组件是公司于2022年新开发投入市场的业务。泛半导体工艺设备厂商通常自
己开发制造核心模块，而将通用模块组件交由专业第三方供应。截至报告期内，公司主要产品为GasBox、Ch
emicalBox、Bubbler等。
GasBox是一种在半导体工艺设备侧的模组化气体供应系统，是半导体干法工艺设备中极为重要的通用子
系统。GasBox在为设备制程精密供气的同时还需要防止各种毒性、可燃性气体的泄漏，具体包含手动/气动
截止阀、逆止阀、质量流量控制器、压力调节控制器、高精密过滤器、垫片、镀银螺帽/螺丝等组件。因其
有极高的安全气密性、耐蚀性、小型化和控制精度要求，故具有较高技术门槛+行业壁垒。目前公司GasBox
包括VCR型及SurfaceMount型。
ChemicalBox主要应用于半导体工艺设备的化学品输送环节，保障湿化学品在工艺过程中精确输送、混
合和处理。
Bubbler在气体及前驱体的输送与混合中控制气化与饱和程度，其性能影响薄膜的厚度均匀性、成分控
制和结晶质量。
公司产品广泛适用于不同制程的半导体工艺设备，已经向国内头部半导体设备厂商（新凯来、北方华创
、拓荆科技、中微公司、微导纳米等）批量供货。目前公司的GasBox产品已打破国外垄断，以更稳定的供应
、更专业的设计、更快速的响应、更专业的服务等优势占据国内供应商的首位。
（2）气体及先进材料
公司气体及先进材料业务主要包括：电子特气、电子大宗气和高纯工业气体和先进材料业务。
电子特种气体是泛半导体企业加工制造过程中的关键材料，其质量直接影响下游客户的良率和性能，公
司已具备合成、提纯、混配、充装、分析与检测等核心能力。电子特气产品中的砷烷、磷烷等属于公司自研
自产产品，已成功实现了国产替代。公司是国内为数不多能稳定量产电子级砷烷、磷烷并稳定供应硅烷、乙
硼烷、锗烷、乙炔、三氟甲烷、六氟丁二烯、四氟化锗等多数电子特气的企业之一。同时，公司正在开发更
多的电子特种气体品类并建设自产产线。
公司可提供包括高纯氮、氧、氩气、高纯氢气、高纯氦气等泛半导体行业工艺中作为载气、环境气、清
洁气使用的各种大宗气体，并不断投入产能建设，并提升电子大宗气的供应能力，提供瓶装送气、槽罐车送
气、现场制气、管道送气等多种供应方式，以满足客户的不同需求。高纯大宗气体既可用于集成电路和泛半
导体产业，也可应用于高端制造、精细化工、新材料等先进制造业。公司将通过自建产能、并购和建设自有
供应链等方式不断提高保供能力，逐步成为头部电子气体业务综合供应商和服务商。
电子先进材料（半导体前驱体）在半导体制造的前道工序如外延、化学气相沉积、离子注入、掺杂、刻
蚀等各项工艺中起到核心作用。公司已突破技术壁垒高、国产化率极低的半导体前驱体，并完成产线建设。
公司在铜陵电子材料生产基地投建的前驱体制造基地，将覆盖20余种前驱体产品包含原硅酸乙酯（TEOS）、
亚磷酸三乙酯（TEPO）、硼酸三乙酯（TEB）、四甲基硅烷(4MS)、三甲基硅烷(3MS)、八甲基环四硅氧烷(OM
CTS)、六氯乙硅烷(HCDS)、四氯化钛(TiCl4)、四氯化铪(HfCl4)、三甲基铝（TMA）等，涉及硅基、金属基
、High-K和Low-K四大品类。
（3）专业运维管理服务
公司的专业服务是指的是MRO业务。
MRO即维护（Maintenance）、维修（Repair）、运营（Operation）业务，系针对客户已建成的电子工
艺设备、生物制药设备提供后续配套服务，包括技改工程、设备销售、配件综合采购、维修保养、气体化学
品运营、电子气体循环再利用等服务。目前该类业务主要针对客户已建成介质输配送系统提供后续配套服务
，原有供应商具备更强的专业度和胜任能力，因此MRO业务的毛利率正常情况下可以保持较高水平。公司在
泛半导体和生物医药等高端制造业深耕了二十余年，积累了丰富的服务经验，对客户的工艺流程、关键设备
和运营管理有了深刻的理解，并形成快速响应机制，公司已经具备为客户提供MRO一站式服务的综合能力。
公司已经完成储备为客户提供专业的半导体工艺设备维保服务的能力，将满足客户对设备长期稳定运行
的需求。公司已开始向客户提供ESC（ElectrostaticChuck）维保服务。ESC是半导体制造设备中的高价值核
心部件，其性能直接影响晶圆加工的质量和效率。由于长期在高温、高真空和等离子体等严苛环境下运行，
ESC容易出现表面污染、电极老化、绝缘层退化等问题。长期以来，ESC市场主要被国外厂商垄断，国内半导
体制造企业高度依赖进口产品和维保服务。然而，随着国内半导体产业的快速发展，对ESC及其维保服务的
自主可控需求日益迫切。公司提供的专业ESC维保服务以及正在拓展的其他半导体工艺设备运维服务，将帮
助半导体制造企业降低设备运行成本，提高设备的使用寿命和可靠性，从而提高客户的生产效率和经济效益
，同时也增强客户对公司产品的信赖和依赖。
Recycle业务是公司为客户开发出对部分供应链波动较大的气体和湿化学品提供回收循环再利用服务，
例如氦气回收纯化及循环系统、VOC回收纯化及循环系统等。
2.设备类（CAPEX）业务
设备类（CAPEX）业务主要提供制程关键系统与装备，根据服务客户所处下游行业的不同主要分为电子
工艺设备和生物制药设备两大类。
（1）电子工艺设备
主要应用于半导体和泛半导体行业，包括高纯气体和湿化学品供应系统（简称：高纯介质供应系统）、
LDS输送系统，同时提供Scrubber（半导体工艺尾气处理设备）、Chiller（半导体精确温控设备）。泛半导
体行业等高科技制造业在生产过程中，存在多种特殊制程，对工艺精度、工艺介质（比如高纯气体、高纯湿
化学品、高纯先进材料等）和工艺环境都有较高要求，工艺中会用到大量高纯、超高纯（ppt级别）的干湿
化学品或先进材料，对工艺介质输送、控制、处理要求极其严格。
高纯介质供应系统的客户群是半导体和泛半导体行业的FAB制造厂商，该系统是将客户生产过程中所需
的高纯气体、湿化学品和先进材料供应至客户的工艺机台。系统中的核心产品是供应过程中实现“输送分配
、蒸发冷凝、混配稀释”等基本功能的独立设备/单元，以满足客户在纯度控制、工艺控制以及安全控制三
大方面的核心诉求。高纯介质供应系统的核心技术关键在于设计、制造和严格的品控。该业务目前主要产品
包括特气柜、化学品中央供应柜、分流箱、化学品稀释混配单元、液态源输送设备等。LDS输送系统主要用
于前驱体材料等先进材料的输送。Scrubber主要用于处理半导体制程产生的工艺废气，Chiller是对半导体
工艺设备温度进行精准控制的温度控制设备。
公司的高纯介质供应系统在国内处于领先地位，已经完全具备与国际一流供应商同台竞争的能力，长期
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