经营分析☆ ◇688726 拉普拉斯 更新日期：2025-09-17◇ 通达信沪深京F10
★本栏包括【1.主营业务】【2.主营构成分析】【3.前5名客户营业收入表】【4.前5名供应商采购表】
【5.经营情况评述】
【1.主营业务】
光伏电池片制造所需高性能热制程、镀膜及配套自动化设备的研发、生产与销售。
【2.主营构成分析】
截止日期:2025-06-30
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
光伏领域设备(产品) 28.07亿 91.69 8.37亿 92.18 29.82
配套产品及服务(产品) 2.50亿 8.17 6924.20万 7.62 27.68
其他业务(产品) 285.78万 0.09 121.56万 0.13 42.54
半导体领域设备(产品) 138.00万 0.05 52.90万 0.06 38.33
─────────────────────────────────────────────────
境内(地区) 29.51亿 96.40 8.68亿 95.62 29.43
境外(地区) 1.07亿 3.51 3854.58万 4.24 35.87
其他业务(地区) 285.78万 0.09 121.56万 0.13 42.54
─────────────────────────────────────────────────
截止日期:2024-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
光伏行业(行业) 56.79亿 99.13 15.98亿 99.49 28.14
半导体行业(行业) 3903.19万 0.68 1186.55万 0.74 30.40
其他业务(行业) 1057.34万 0.18 -359.32万 -0.22 -33.98
─────────────────────────────────────────────────
光伏领域设备(产品) 54.34亿 94.87 15.28亿 95.14 28.12
配套产品及服务(产品) 2.44亿 4.27 6983.67万 4.35 28.58
半导体领域设备(产品) 3901.35万 0.68 1185.07万 0.74 30.38
其他业务(产品) 1057.34万 0.18 -359.32万 -0.22 -33.98
─────────────────────────────────────────────────
境内(地区) 49.95亿 87.20 13.60亿 84.66 27.23
境外(地区) 7.23亿 12.61 2.50亿 15.56 34.59
其他业务(地区) 1057.34万 0.18 -359.32万 -0.22 -33.98
─────────────────────────────────────────────────
直销(销售模式) 57.18亿 99.82 16.10亿 100.22 28.16
其他业务(销售模式) 1057.34万 0.18 -359.32万 -0.22 -33.98
─────────────────────────────────────────────────
截止日期:2024-06-30
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
光伏领域设备:光伏电池片设备-镀膜设 11.07亿 43.58 4.11亿 49.90 37.11
备(产品)
光伏领域设备:光伏电池片设备-热制程 10.01亿 39.38 3.17亿 38.48 31.67
设备(产品)
光伏领域设备:光伏电池片设备-自动化 3.29亿 12.95 6749.68万 8.20 20.52
及其他设备(产品)
配套产品及服务(产品) 7170.47万 2.82 2034.10万 2.47 28.37
半导体领域设备:热制程设备(产品) 2124.00万 0.84 393.75万 0.48 18.54
其他业务(产品) 944.09万 0.37 328.91万 0.40 34.84
光伏领域设备:其他光伏设备(产品) 178.76万 0.07 68.98万 0.08 38.59
─────────────────────────────────────────────────
境内(地区) 21.27亿 83.71 6.53亿 79.29 30.70
境外(地区) 4.04亿 15.91 1.67亿 20.31 41.35
其他业务(地区) 944.09万 0.37 328.91万 0.40 34.84
─────────────────────────────────────────────────
截止日期:2023-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
光伏领域设备:光伏电池片设备-镀膜设 16.40亿 55.28 5.13亿 56.86 31.30
备(产品)
光伏领域设备:光伏电池片设备-热制程 8.29亿 27.94 2.57亿 28.51 31.04
设备(产品)
光伏领域设备:光伏电池片设备-自动化 2.01亿 6.77 2531.21万 2.80 12.60
及其他设备(产品)
配套产品及服务(产品) 2.00亿 6.75 6871.34万 7.61 34.33
光伏领域设备:其他光伏设备(产品) 6468.06万 2.18 3179.05万 3.52 49.15
半导体领域设备:热制程设备(产品) 1577.67万 0.53 246.16万 0.27 15.60
其他业务(产品) 1499.08万 0.51 370.18万 0.41 24.69
半导体领域设备:镀膜设备(产品) 136.73万 0.05 2.49万 0.00 1.82
─────────────────────────────────────────────────
境内(地区) 29.23亿 98.54 8.89亿 98.51 30.41
境外(地区) 2844.60万 0.96 976.25万 1.08 34.32
其他业务(地区) 1499.08万 0.51 370.18万 0.41 24.69
─────────────────────────────────────────────────
【3.前5名客户营业收入表】
截止日期:2024-12-31
前5大客户共销售43.64亿元，占营业收入的76.18%
┌───────────────────────┬───────────┬───────────┐
│客户名称 │ 营收额(万元)│ 占比(%)│
├───────────────────────┼───────────┼───────────┤
│客户1 │ 202213.09│ 35.30│
│客户2 │ 110435.71│ 19.28│
│客户3 │ 46627.33│ 8.14│
│客户4 │ 42512.13│ 7.42│
│客户5 │ 34563.64│ 6.03│
│合计 │ 436351.89│ 76.18│
└───────────────────────┴───────────┴───────────┘
【4.前5名供应商采购表】
截止日期:2024-12-31
前5大供应商共采购2.76亿元，占总采购额的12.39%
┌───────────────────────┬───────────┬───────────┐
│供应商名称 │ 采购额(万元)│ 占比(%)│
├───────────────────────┼───────────┼───────────┤
│供应商1 │ 6928.85│ 3.10│
│供应商2 │ 5978.59│ 2.68│
│供应商3 │ 5396.34│ 2.42│
│供应商4 │ 4716.88│ 2.11│
│供应商5 │ 4627.09│ 2.07│
│合计 │ 27647.74│ 12.39│
└───────────────────────┴───────────┴───────────┘
【5.经营情况评述】
截止日期:2025-06-30
●发展回顾:
一、报告期内公司所属行业及主营业务情况说明
(一)主要业务
公司是一家领先的高效光伏电池片核心工艺设备及解决方案提供商，主营业务为光伏电池片制造所需高
性能热制程、镀膜及配套自动化设备等的研发、生产与销售，并可为客户提供半导体分立器件设备、设备的
配套零部件及服务。
公司热制程设备主要包括硼扩散、磷扩散、氧化及退火设备等，镀膜设备主要包括低压化学气相沉积（
LPCVD）设备、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备、原子层边缘钝化沉积
（EPD）设备等，自动化设备为可以有效提升工艺设备生产效率的配套上下料设备；除此之外，公司还可提
供激光设备、电池间隙贴膜机等其他光伏设备。
公司半导体分立器件设备主要包括氧化、退火、镀膜和钎焊炉设备等一系列具有比较优势的产品。
公司配套产品及服务是公司根据客户的需求提供相应零部件及改造服务，属于客户对设备产品所产生的
延伸需求。
(二)主要经营模式
1、盈利模式
公司作为一家面向全球、坚持自主创新的光伏和半导体设备企业，通过向客户提供专用设备以及工艺解
决方案、设备维护及改造升级服务等，获得相应的收入，形成公司的盈利。
2、研发模式
公司主要采取自主研发模式，产品研发及产业化流程主要包括立项阶段、设计开发阶段、样机制作阶段
、客户验证阶段和产业化应用阶段。研发人员背景涉及多个学科领域，能够有效支持工艺设计、产品、软件
、零部件及核心材料等研究和开发工作。公司坚持自主创新，构建了完善的知识产权体系，并通过数字化手
段不断提升研发管理水平和效率。
3、采购模式
公司主要采取“以销定产、以产定采”的模式。生产、研发等所用原材料的采购工作，由采购部门统一
负责。计划物控部门依据订单需求情况，并结合实际库存，编制物料需求计划。采购部门根据经审核的物料
需求计划适时采购，并进行采购过程管理。
4、生产模式
公司生产的设备属于专用设备，根据客户的差异化需求，相关产品具有一定的定制化属性，因此公司主
要根据销售订单情况进行生产，即采用“以销定产”的生产模式。
5、销售模式
公司的销售模式为直销，主要通过接受邀标和直接接洽两种方式获取订单。公司组建了专业的销售和服
务团队，负责市场推广、客户开发、销售及售后等服务。
(三)所处行业情况
公司主营业务产品涵盖光伏电池片制造设备、电池组件制造设备及配套自动化设备，其下游应用领域为
光伏行业。
1、行业发展阶段及特点
（1）全球光伏市场需求成长空间广阔，中国光伏产业具备竞争优势
全球已有众多国家提出了“碳中和”气候目标，发展包括光伏在内的可再生能源已成为全球广泛共识。
同时，随着光伏技术的持续进步，光伏发电成本快速下降，全球光伏市场需求持续增长。
据中国光伏行业协会发布的《中国光伏产业发展路线图》，2024年全投资模型下地面光伏电站在1800小
时、1500小时、1200小时、1000小时等效利用小时数的LCOE（平准发电成本）已分别降至0.130、0.157、0.
205、0.246元/kWh，光伏发电相较于传统能源发电的经济性优势不断增强。据中国光伏行业协会统计及预测
，全球年度光伏新增装机规模已从2020年的130GW快速增长至2024年的530GW，2030年全球新增装机将有望进
一步攀升至881~1078GW，全球光伏市场需求有望保持持续增长，成长前景广阔。
随着光伏发电成本的快速下降，众多的新兴市场如南亚、东南亚、大洋洲、南美洲及中东等地区均在积
极规划和推动光伏发电项目建设，根据中国光伏行业协会数据，2025年1-6月中国光伏组件出口额实现同比
增长的国家/地区多达115个，光伏发电有望持续在全球范围得到普及。
近年来，中国光伏产业链具备显著的技术水平高、效率高、成本低和上下游配套齐全等优势，中国光伏
供应链对全球光伏产业发展具有重要的影响力，中国光伏企业持续领导全球产业技术创新和供应格局。
（2）供需两侧发力，化解产业结构性矛盾
2022年以来，受光伏行业需求旺盛、盈利提升等多重因素影响，各环节产能快速扩张，新增产能陆续释
放。产业链面临阶段性供需失衡等短期困扰，主要环节产品市场价格下行，行业竞争加剧，硅料、硅片、电
池、组件等制造企业盈利承压。
2024年下半年开始，中国光伏行业协会多次召开会议传达落实中央有关“强化行业自律”，防止“内卷
式”恶性竞争的会议精神，维护光伏市场公平竞争秩序，引导行业高质量发展；2024年11月，工业和信息化
部对《光伏制造行业规范条件》和《光伏制造行业规范公告管理暂行办法》进行了修订，引导光伏企业减少
单纯扩大产能的光伏制造项目，加强技术创新、提高产品质量，推动产业加快转型升级和结构调整。2025年
7月，工业和信息化部召开光伏行业制造业企业座谈会，聚焦综合治理光伏行业低价无序竞争，引导企业提
升产品品质，推动落后产能有序退出，加快推动光伏产业高质量发展。
（3）TOPCon、XBC等新型技术全面取代PERC技术
近年来，光伏电池技术呈现出持续创新和变革趋势，随着PERC的量产效率已接近理论极限转换效率，以
TOPCon、XBC等为代表的新型高效光伏电池片技术进入规模化量产和快速发展阶段。
根据中国光伏行业协会发布的《中国光伏产业发展路线图》，2024年N型TOPCon电池片市场占比已达到7
1.1%，成为占比最高的电池片技术路线；XBC电池片市场占比约为5.0%，相较2023年有较大幅度的提升。202
5年上半年，N型TOPCon产品的出货规模继续稳居市场首位，XBC产品在地面电站、分布式电站等下游终端场
景的应用落地速度亦显著加快。
（4）光伏设备持续创新，助力下游技术进步和降本增效
目前，我国光伏电池设备制造企业通过工艺与装备的创新融合，以提高产品光电转换效率、设备产能、
智能化程度等为目标，已完全具备了成套工艺设备及自动化设备的供应能力，实现了设备国产替代，并在全
球处于领先地位。在最新一轮N型电池量产技术变革进程中，以硼扩散设备和隧穿层钝化设备为代表的国产
设备首次主导了全球新技术路线电池设备的重大创新。
报告期内，TOPCon、XBC等新型高效电池已成为下游市场的主要技术选择，并成为国内外新建产线和存
量产线升级的主要技术路线，在设备企业与下游企业的共同努力下，Poly层结构创新、半片/多分片、边缘
钝化、硅片优化、栅线优化、减银或无银等新一轮技术的探索得到持续推进，并逐步在量产端得到应用，电
池量产转换效率得到进一步提升。
二、经营情况的讨论与分析
2025年上半年，全球能源转型进程持续推进，光伏装机需求保持增长势态。尽管光伏产业链仍面临阶段
性供需失衡等短期挑战，但光伏技术的持续升级与创新，为光伏设备企业开辟了新的发展机遇。
受新能源上网电价市场化改革等因素影响，根据中国光伏行业协会公布的数据，2025年上半年国内光伏
新增装机为212GW，同比增长107%。2025年7月，中国光伏行业协会将2025年中国新增装机规模预测由215-25
5GW上调至270-300GW，将全球新增装机规模预测由531-583GW上调至570-630GW。值得注意的是，在下游装机
及光伏产品需求增长的同时，受产业结构性矛盾影响，产业链主要环节价格仍处于低位，行业竞争依旧激烈
，硅料、硅片、电池、组件等制造企业盈利承压。在此背景下，行业发展模式正从“粗放式增长”向“技术
创新驱动的高质量发展”转型，竞争焦点也从单纯的产能扩张，转向技术壁垒、成本韧性及全球化布局能力
的综合较量。
面对机遇与挑战并存的复杂环境，光伏行业积极推动技术创新和产能更新迭代，行业内企业持续努力和
探索TOPCon、XBC等技术的进一步升级迭代，Poly层结构创新、半片/多分片、边缘钝化、硅片优化、栅线优
化、减银或无银等新一轮技术探索持续推进，钙钛矿及叠层电池等前沿技术的光电转换效率、成本、可靠性
也在不断得到优化。下游技术的进步对光伏设备的升级和创新需求迫切，具备技术竞争力的先进产能建设需
求、存量产线技术升级需求（如TOPCon和XBC存量产线的进一步技术升级和优化等）、海外扩产需求成为当
前光伏设备企业发展的新机遇。
公司持续积极推进技术迭代与创新，在TOPCon、XBC、钙钛矿及叠层电池领域持续提升产品的市场竞争
力，通过不断优化和迭代产品助力客户降本增效，同时进一步拓展半导体设备领域布局，构建多维增长曲线
。同时，公司积极开拓海外市场，对接东南亚、美国、中东等地区的市场需求。
（一）报告期内经营业绩情况
报告期内，公司作为领先的高效光伏电池核心工艺设备及解决方案提供商，深入覆盖TOPCon、XBC等技
术路线的各类热制程、镀膜及配套自动化设备，产品在客户端稳步实现交付和验收，经营业绩保持增长，保
持了较好的经营韧性。
报告期内，公司实现营业总收入306,173.69万元，较上年同期增长20.49%；营业利润44,665.76万元，
较上年同期增长15.36%；归属于上市公司所有者的净利润39,713.77万元，较上年同期增长12.94%；基本每
股收益0.98元/股，较上年同期增长2.08%。报告期初，公司资产总额为1,010,925.31万元，负债总额为656,
918.34万元，资产负债率为64.98%；报告期末，公司资产总额为1,017,852.73万元，负债总额为634,710.78
万元，资产负债率为62.36%。
（二）报告期内重点工作开展情况
1、持续研发创新，巩固核心竞争力
在光伏设备领域，公司坚持以行业技术发展和客户需求为导向，加大自主研发力度，深耕“热”、“电
”、“气”、“光”等高端装备底层技术，深入研究关键材料、核心零部件，不断进行技术革新和产品性能
提升，增强产品竞争力并扩大产品线覆盖范围。
公司紧跟行业趋势，聚焦以TOPCon、XBC为代表的N型电池技术设备的研发升级，通过“产品迭代+解决
方案定制”助力客户降本增效，积极推动硼扩散、磷扩散、氧化退火、LPCVD、PECVD等设备技术的优化和升
级，持续推进ALD设备、EPD设备、激光设备等一系列新产品在客户端的应用，助力TOPCon、XBC等电池技术
进一步升级迭代。在深入覆盖了TOPCon、XBC等技术路线的各类热制程、镀膜及配套自动化设备的基础上，
公司在EPD设备、激光Poly减薄设备等关键设备技术上取得良好进展，并持续推动对激光设备、磁控溅射物
理气相沉积平台、新一代核心CVD工艺设备、钙钛矿核心真空工艺设备、新型金属化设备等领域的前瞻研究
和技术探索，持续丰富公司的产品及技术储备，为未来业务拓展奠定坚实基础，构筑关键技术护城河。
在半导体设备领域，公司积极开展分立器件和集成电路领域所需设备的开发，努力实现在集成电路领域
的突破，服务下游客户技术升级需求。
报告期内，公司新增专利申请194项，其中发明专利45项，实用新型专利145项，外观设计专利4项，截
至报告期末，公司已获得授权专利数量合计905项，其中发明专利83项，实用新型专利759项，外观设计专利
63项，涵盖了设备工艺优化、结构创新、特种材料等多个关键领域，持续丰富公司技术储备，巩固技术领先
优势。
2、持续洞察客户需求，积极开拓境内外市场
公司始终秉持“以客户为中心”的经营理念，构建“设备+服务”的全生命周期服务体系。在提供核心
工艺设备的基础上，延伸至零部件供应、设备维保、产线改造升级等服务。
在光储系统成本持续下降的背景下，以新兴市场为代表的海外市场因能源转型、资源优势等因素正逐步
加速发力。报告期内，行业头部客户凭借成熟完备的产业链积极布局海外市场，公司积极配合下游客户的出
海战略，并持续拓展海外优质客户，持续优化全球网络和资源配置。
报告期内，公司不断加强国际化团队的建设力度，并积极参与海内外展会和行业交流会议，提升影响力
与知名度，同时，持续洞察全球区域政策与客户需求动向，赋能公司产品与服务出海，助力公司业务全球化
布局。
3、稳步推进募投项目实施，增强发展后劲
报告期内，公司积极稳步推进募投项目“光伏高端装备研发生产总部基地项目”的实施，结合募投项目
用地的实际情况，为更合理使用土地，优化整体布局，公司将募投项目实施地的相邻宗地进行合宗，并推进
项目土地合宗、项目实施前期手续办理等。2025年7月，公司取得《建筑工程施工许可证》，目前“光伏高
端装备研发生产总部基地项目”已正式开工建设，涵盖光伏装备生产厂房、宿舍楼及配套设施的建设。公司
募投项目紧密围绕主营业务与市场需求，致力于提升产能与技术水平，各项工程及建设工作正按规划稳步推
进。
4、以经营效益为导向，持续提升管理能力与运营水平
在激烈的市场竞争和复杂多变的行业环境下，提质增效是公司高质量发展的核心保障。报告期内，公司
以经营效益为导向，将提升内部管理能力与运营水平作为关键抓手，通过组织架构迭代、供应链优化、精益
运营深化、品质体系升级等方面多措并举，构建高效协同的运营体系，实现经营活动的降本增效与价值创造
。
在人才和组织建设方面，公司通过驱动组织深度变革、高效搭建人才梯队，有效打造高适应性的弹性组
织，支撑公司战略的稳健落地与高质量发展；供应链管理方面，公司通过动态成本优化、深化供应商协同创
新及全流程阳光采购，精准匹配供需并优化库存周转，构建敏捷响应市场的弹性供应体系；精益运营方面，
公司以精益改善周为载体，系统推进工具、方法论落地，同步建立人才带级认证机制，以实现运营指标提升
与员工能力发展双重价值目的；品质管理方面，公司持续完善质量体系建设，推进一系列专项活动提升全员
质量管理意识，同时通过数字化平台搭建，实现质量管理的全过程监控、数据分析和协同管理。
三、报告期内核心竞争力分析
(一)核心竞争力分析
1、优秀的技术研发团队
公司已建成一支专业化的高效光伏电池片和半导体分立器件设备研发技术团队。公司创始团队具有丰富
的光伏行业产品和技术经验，立足核心工艺解决方案，搭建了有梯次、有深度的研发技术团队，建立了良好
的激励机制，并通过信息化手段不断提升研发管理水平和效率。
截至报告期末，公司研发人员共522人，占员工总数的比例为21.32%，研发人员背景涉及多个学科领域
，具有合理的层次和梯度，能够有效支持工艺设计、产品、软件、零部件及核心材料等研究和开发工作。
公司制定了富有竞争力的薪酬标准并配合相应的激励计划，提升对研发人才的吸引力和粘性，为研发团
队的发展和稳定性奠定了良好的基础。公司持续加强数字化建设，通过上线PLM系统，有效支撑研发项目全
生命周期的管理，提升研发管理水平和研发效率。
2、公司形成了丰富的技术积累，以及具有竞争力的产品，并不断迭代创新
公司聚焦高效光伏电池片核心工艺设备领域，通过多年的积累，形成了加热及温度控制技术、匀流技术
与气体精准控制技术等具有通用性的底层技术，以及与热场、石英管等零部件相关的一系列核心技术，具有
丰富的技术积累。截至报告期末，公司累计申请专利1520件，获得授权专利905件（其中发明专利83项，实
用新型专利759项，外观设计专利63项），涵盖了从产品整体、关键部件、技术路线，到结构、材料、工艺
、治具等多个方面，实现了对产品和技术的多方位专利布局。
公司率先实现了硼扩散设备规模化量产和应用，突破了N型电池片量产工艺瓶颈，光伏级大产能LPCVD的
大规模量产，解决了新型高效光伏电池片隧穿氧化及多晶硅层制备的工艺难题，上述核心工艺设备有效推动
了TOPCon、XBC规模化产业应用的进程。
公司采用平台化的产品开发模式，通过深厚的底层技术积累和技术共用，在平台上进行技术和产品的持
续迭代，输出了具有竞争力的热制程、镀膜、自动化设备等产品，并通过持续的创新不断解决客户需求和痛
点。公司新推出的EPD设备、ALD设备持续获得订单。在半导体分立器件设备领域，公司持续推动氧化、退火
、镀膜设备等一系列半导体分立器件设备的开发与优化，获得了行业主流客户的SiC基半导体器件用超高温
退火炉等核心工艺设备批量化订单。
3、公司具有高效交付产品的能力，以及具备多种新型高效电池技术路线的丰富交付经验
公司具备批量产品制造和交付能力。公司通过整合项目交付团队组织架构、制定项目管理标准化流程、
完善项目考核指标体系及激励制度，有效提高项目从客户需求到交付验收等全流程的管理效率，持续有效提
升项目交付能力。公司积累了丰富的TOPCon、XBC等多种新型高效光伏电池技术路线交付经验，以及境内外
交付经验，能够有效满足不同客户的交付需求。
4、优质的客户结构
电池技术创新和工艺的导入需要经历多维度、长周期的验证，设备厂商和下游生产制造商需要密切的配
合，设备一旦验证通过并实际进入生产线不会被轻易更换，因此与下游客户具有较强的粘性。
公司在高效光伏电池片核心工艺解决方案方面具有先发优势，与隆基绿能（601012.SH）、晶科能源（6
88223.SH）、爱旭股份（600732.SH）、钧达股份（002865.SZ）、中来股份（300393.SZ）、横店东磁（002
056.SZ）、正泰新能、协鑫集成（002506.SZ）、林洋能源（601222.SH）、平煤隆基、英发德睿等众多光伏
行业领先企业建立了良好的业务关系。这些客户具有应对行业波动性的能力较强，业务规模扩张的需求较大
，在新技术、新工艺研发实力强等特点，有助于促进公司研发生产技术的不断创新和产品性能的持续提高。
此外，在巩固现有优质客户领先优势的基础上，公司持续开发与行业内其他领先企业的合作机会并推进合作
事宜。
通过和行业内领先企业的持续合作，公司可以更为及时地掌握行业动态、更深刻了解客户的深层次需求
，有助于公司制定更为合理的研发方向和增强客户粘性，保证公司的稳健经营和发展。
(三)核心技术与研发进展
1、核心技术及其先进性以及报告期内的变化情况
公司自成立之初就致力于深入研究底层技术，依靠自主研发，并在生产实践和验证中不断完善，形成了
一系列核心技术，并已应用于产业化阶段。
（1）创新低压水平硼扩散技术
硼原子相对于其拟扩散进入的衬底硅原子而言，原子半径较小，对硅原子的替代需要更高的能量，相对
于业内成熟的磷扩散，硼原子在扩散推进时，通常需要更高的温度（由850℃上升至1050℃左右），且扩散
时间长，工艺难度大，设备维护费用高。行业内原有工艺采用三溴化硼作为扩散硼源，通过氮气携源的方式
通入设备，在扩散过程中，容易造成硼源在硅片表面分布不均匀，导致形成的PN结不均匀。同时产生的副产
物为粘稠状物质，设备需要频繁维护，稼动率低，运营成本极高，难以实现大规模量产。
公司创新开发低压水平硼扩散技术，很好地解决了前述技术瓶颈：①采用三氯化硼作为扩散硼源，在一
定温度下通过饱和蒸汽压的方式通入设备，通入状态为气态，扩散过程中硼源在硅片表面分布均匀，形成更
均匀的PN结，解决N型电池PN结制备均匀性较差的难题；②使用气态三氯化硼作为掺杂源，与传统三溴化硼
液态源硼扩散相比，在设备营造的特殊反应氛围下，副产物为粉末状的氧化硼，石英管寿命长、维护费用低
、运营成本低。
（2）光伏级大产能LPCVD技术
TOPCon及XBC电池片隧穿氧化及掺杂多晶硅层制备的技术路线分为LPCVD方案（LPCVD+磷扩散设备）、PE
CVD方案（PECVD+退火炉）、PVD方案，LPCVD凭借技术成熟、成膜质量高、产能大等优点成为下游客户最主
流的解决方案。在公司未将光伏级大产能LPCVD推向市场之前，主要行业痛点在于：①光伏行业对设备成本
控制要求高，隧穿氧化及掺杂多晶硅层对光伏电池片转换效率提升带来的收益与相应增加的工序成本相比较
必须具有经济性，因此对设备结构、工艺设计等提出了更高要求；②石英器件损耗较高，增加了生产成本；
③镀膜均匀度较差。
公司凭借自身的技术积累，深入研究LPCVD的基本原理，以及光伏电池隧穿氧化及掺杂多晶硅层的工艺
要求，结合上述痛点创造性地进行了气流控制设计、载片设计、非对称热场设计、硅片载具的创新设计、自
适应串级温控设计、优化设备结构延长石英管寿命并有效提升产能，此外自研新型石英管涂层技术进一步延
长石英寿命，为客户产品中隧穿氧化及掺杂多晶硅层制备提供成熟的LPCVD解决方案。
（3）加热及温度控制技术
热场是光伏电池片设备的重要组成，为工艺过程提供所需的温度环境。硅片在设备内进行各种工艺处理
时，要求受热尽量均匀，并且要求设备持续可靠运行，故热场的耐火材料材质、电炉丝的材质、炉丝绕制方
式、布局方式、加热控制尤为重要。早期行业热场技术，存在较多工艺问题，如炉丝无法灵活布局、温度难
以精准控制，从而导致热场不同部位温度出现明显差异，无法满足更高的工艺要求。同时也存在热场无法在
高温下长时间可靠运行，寿命较短等问题。
公司发明的加热及温度控制技术有效地解决了前述关键技术问题：①该技术不仅将热场进行分区，同时
也对同一温区进行分区，并且对不同区域进行精准温度控制，配合自适应串级温控技术，保证了炉内产品温
度的均匀性，使硅片组处于优化的温度场，从而实现硅片组温度的均匀控制，大幅提高了控温能力；②采用
特殊耐火材料材质、特种炉丝，通过热场结构设计，以及先进加工工艺，大幅提升热场在高温下运行的可靠
性，有效延长使用寿命。
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