经营分析☆ ◇688726 拉普拉斯 更新日期：2025-05-24◇ 通达信沪深京F10
★本栏包括【1.主营业务】【2.主营构成分析】【3.前5名客户营业收入表】【4.前5名供应商采购表】
【5.经营情况评述】
【1.主营业务】
光伏电池片制造所需高性能热制程、镀膜及配套自动化设备的研发、生产与销售。
【2.主营构成分析】
截止日期:2024-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
光伏行业(行业) 56.79亿 99.13 15.98亿 99.49 28.14
半导体行业(行业) 3903.19万 0.68 1186.55万 0.74 30.40
其他业务(行业) 1057.34万 0.18 -359.32万 -0.22 -33.98
─────────────────────────────────────────────────
光伏领域设备(产品) 54.34亿 94.87 15.28亿 95.14 28.12
配套产品及服务(产品) 2.44亿 4.27 6983.67万 4.35 28.58
半导体领域设备(产品) 3901.35万 0.68 1185.07万 0.74 30.38
其他业务(产品) 1057.34万 0.18 -359.32万 -0.22 -33.98
─────────────────────────────────────────────────
境内(地区) 49.95亿 87.20 13.60亿 84.66 27.23
境外(地区) 7.23亿 12.61 2.50亿 15.56 34.59
其他业务(地区) 1057.34万 0.18 -359.32万 -0.22 -33.98
─────────────────────────────────────────────────
直销(销售模式) 57.18亿 99.82 16.10亿 100.22 28.16
其他业务(销售模式) 1057.34万 0.18 -359.32万 -0.22 -33.98
─────────────────────────────────────────────────
截止日期:2024-06-30
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
光伏领域设备:光伏电池片设备-镀膜设 11.07亿 43.58 4.11亿 49.90 37.11
备(产品)
光伏领域设备:光伏电池片设备-热制程 10.01亿 39.38 3.17亿 38.48 31.67
设备(产品)
光伏领域设备:光伏电池片设备-自动化 3.29亿 12.95 6749.68万 8.20 20.52
及其他设备(产品)
配套产品及服务(产品) 7170.47万 2.82 2034.10万 2.47 28.37
半导体领域设备:热制程设备(产品) 2124.00万 0.84 393.75万 0.48 18.54
其他业务(产品) 944.09万 0.37 328.91万 0.40 34.84
光伏领域设备:其他光伏设备(产品) 178.76万 0.07 68.98万 0.08 38.59
─────────────────────────────────────────────────
境内(地区) 21.27亿 83.71 6.53亿 79.29 30.70
境外(地区) 4.04亿 15.91 1.67亿 20.31 41.35
其他业务(地区) 944.09万 0.37 328.91万 0.40 34.84
─────────────────────────────────────────────────
截止日期:2023-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
光伏领域设备:光伏电池片设备-镀膜设 16.40亿 55.28 5.13亿 56.86 31.30
备(产品)
光伏领域设备:光伏电池片设备-热制程 8.29亿 27.94 2.57亿 28.51 31.04
设备(产品)
光伏领域设备:光伏电池片设备-自动化 2.01亿 6.77 2531.21万 2.80 12.60
及其他设备(产品)
配套产品及服务(产品) 2.00亿 6.75 6871.34万 7.61 34.33
光伏领域设备:其他光伏设备(产品) 6468.06万 2.18 3179.05万 3.52 49.15
半导体领域设备:热制程设备(产品) 1577.67万 0.53 246.16万 0.27 15.60
其他业务(产品) 1499.08万 0.51 370.18万 0.41 24.69
半导体领域设备:镀膜设备(产品) 136.73万 0.05 2.49万 0.00 1.82
─────────────────────────────────────────────────
境内(地区) 29.23亿 98.54 8.89亿 98.51 30.41
境外(地区) 2844.60万 0.96 976.25万 1.08 34.32
其他业务(地区) 1499.08万 0.51 370.18万 0.41 24.69
─────────────────────────────────────────────────
截止日期:2022-12-31
项目名 营业收入(元) 收入比例(%) 营业利润(元) 利润比例(%) 毛利率(%)
─────────────────────────────────────────────────
光伏领域设备:光伏电池片设备-热制程 5.79亿 45.75 2.00亿 47.99 34.55
设备(产品)
光伏领域设备:光伏电池片设备-镀膜设 5.14亿 40.57 1.81亿 43.37 35.21
备(产品)
光伏领域设备:光伏电池片设备-自动化 1.24亿 9.82 1541.46万 3.70 12.40
及其他设备(产品)
光伏领域设备:其他光伏设备(产品) 2804.78万 2.22 1197.11万 2.87 42.68
配套产品及服务(产品) 1142.70万 0.90 598.47万 1.44 52.37
半导体领域设备:镀膜设备(产品) 385.84万 0.30 213.35万 0.51 55.29
其他业务(产品) 373.62万 0.30 46.22万 0.11 12.37
半导体领域设备:热制程设备(产品) 178.76万 0.14 8.08万 0.02 4.52
─────────────────────────────────────────────────
境内(地区) 11.03亿 87.15 3.89亿 93.25 35.25
境外(地区) 1.59亿 12.55 2767.59万 6.64 17.42
其他业务(地区) 373.62万 0.30 46.22万 0.11 12.37
─────────────────────────────────────────────────
【3.前5名客户营业收入表】
截止日期:2024-12-31
前5大客户共销售43.64亿元，占营业收入的76.18%
┌───────────────────────┬───────────┬───────────┐
│客户名称 │ 营收额(万元)│ 占比(%)│
├───────────────────────┼───────────┼───────────┤
│客户1 │ 202213.09│ 35.30│
│客户2 │ 110435.71│ 19.28│
│客户3 │ 46627.33│ 8.14│
│客户4 │ 42512.13│ 7.42│
│客户5 │ 34563.64│ 6.03│
│合计 │ 436351.89│ 76.18│
└───────────────────────┴───────────┴───────────┘
【4.前5名供应商采购表】
截止日期:2024-12-31
前5大供应商共采购2.76亿元，占总采购额的12.39%
┌───────────────────────┬───────────┬───────────┐
│供应商名称 │ 采购额(万元)│ 占比(%)│
├───────────────────────┼───────────┼───────────┤
│供应商1 │ 6928.85│ 3.10│
│供应商2 │ 5978.59│ 2.68│
│供应商3 │ 5396.34│ 2.42│
│供应商4 │ 4716.88│ 2.11│
│供应商5 │ 4627.09│ 2.07│
│合计 │ 27647.74│ 12.39│
└───────────────────────┴───────────┴───────────┘
【5.经营情况评述】
截止日期:2024-12-31
●发展回顾:
一、经营情况讨论与分析
2024年，是全球加速能源转型、光伏新增装机规模再创新高的发展之年，也是中国光伏产业努力化解产
业结构性矛盾，多元化技术不断涌现的创新深化之年。伴随光伏发电效率稳步提升和度电成本持续下降，20
24年全球光伏新增装机已达到530GW，同比增长36%，据中国光伏行业协会预测，2030年全球新增装机将有望
进一步攀升至881~1078GW，光伏长期需求空间广阔。但与此同时，伴随近年来各产业环节的规模扩张，光伏
行业也面临着阶段性供需失衡、产业链各环节竞争加剧、国际贸易环境复杂等短期挑战。
在机遇与挑战并存的环境下，光伏行业积极推动技术和产能更新迭代，低效落后的P型产线在市场竞争
压力下逐步退出市场，以TOPCon、BC等为代表的N型电池技术成为行业主流路线。与此同时，行业内企业持
续努力和探索TOPCon、BC技术的进一步升级迭代，激光辅助烧结、边缘钝化、PolyFinger、0BB等新一轮技
术升级逐步在量产端得到应用，钙钛矿及叠层电池等前沿技术的光电转换效率也在不断提升。下游技术的进
步对光伏设备的升级和创新需求迫切，具备技术竞争力的先进产能建设需求、存量产线技术升级需求（如PE
RC产线升级为TOPCon或XBC产线、TOPCon和XBC存量产线的进一步技术升级和优化等）、海外扩产需求成为当
前光伏设备企业发展的新机遇。
（一）报告期内经营业绩情况
报告期内，公司作为领先的高效光伏电池核心工艺设备及解决方案提供商，深入覆盖TOPCon、XBC等技
术路线的各类热制程、镀膜及配套自动化设备，产品在国内外客户端稳步实现交付和验收，经营业绩保持较
好增长。
2024年度，公司实现营业总收入572,813.03万元，较上年同期增长93.12%；营业利润85,686.61万元，
较上年同期增长87.34%；归属于母公司所有者的净利润72,932.18万元，较上年同期增长77.53%；基本每股
收益1.96元，较上年同期增长73.45%。报告期初，公司资产总额为1,122,404.55万元，负债总额为911,301.
08万元，资产负债率为81.19%；报告期末，公司资产总额为1,010,925.31万元，负债总额为656,918.34万元
，资产负债率为64.98%。
（二）报告期内重点工作开展情况
1、持续研发创新，加快新产品研发及产业化应用
公司坚持以行业技术发展和客户需求为导向，加大自主研发力度，深耕“热”、“电”、“气”、“光
”等高端装备底层技术，深入研究关键材料、核心零部件，不断进行技术革新和产品性能提升，增强产品竞
争力并扩大产品线覆盖范围。
在光伏设备领域，报告期内公司顺应下游光伏电池技术发展趋势，积极推动硼扩散、磷扩散、氧化退火
、LPCVD、PECVD等设备技术的优化和升级，成功开发并推出了ALD设备、EPD设备等一系列新产品，已通过行
业主流客户验证并取得规模化订单，助力TOPCon等电池技术进一步升级迭代。在深入覆盖了TOPCon、XBC等
技术路线的各类热制程、镀膜及配套自动化设备的基础上，公司持续推动对激光设备、磁控溅射物理气相沉
积平台、新一代核心CVD工艺设备、钙钛矿核心真空工艺设备等领域的前瞻研究和技术探索，持续丰富公司
的产品及技术储备。
在半导体分立器件设备领域，公司持续推动氧化、退火、镀膜设备等一系列半导体分立器件设备的开发
与优化，报告期内获得了行业主流客户的SiC基半导体器件用超高温退火炉等核心工艺设备批量化订单。除
此以外，公司积极开展集成电路领域所需设备的开发，努力实现在集成电路领域的突破，服务下游客户技术
升级需求。
2024年度，公司研发费用为29,570.18万元，较2023年度的23,192.38万元增长27.50%。研发投入占营业
收入的比重为5.16%，维持在较高水平，持续为研发创新提供充足的资金保障。公司新增专利申请471项，包
括发明专利127项，实用新型专利328项，外观设计专利16项。截至报告期末，公司已获得授权专利数量合计
731项，其中发明专利74项，实用新型专利605项，外观设计专利52项。
2、深入洞察客户需求，构建高效交付体系，积极开拓境内外市场
公司以客户为中心开展营销服务工作，深入洞察客户需求，除提供设备产品外，还为客户提供零部件、
设备维保、设备改造升级服务等。公司组建了专业化的营销团队，并借助CRM系统开启数字化营销管理，提
升客户响应速度，确保及时提供精准支持和优质服务。
公司持续致力于提升项目交付能力，报告期内通过整合项目交付团队、制定项目管理标准化流程、完善
项目考核指标体系及激励制度，有效提高项目从客户需求到交付验收等全流程的管理效率，高效推进项目交
付，持续提升客户满意度。
公司在深度挖掘现有客户需求的同时，继续加强对新客户的拓展。公司积极参加海内外行业展会和行业
交流会等，加强公司及产品的宣传力度，提升品牌知名度和影响力，及时掌握前沿信息，了解客户需求及市
场最新动态。报告期内，公司来自境外收入为72,251.85万元，占营业总收入的12.61%，较2023年度的2,844
.60万元有较大幅度增长。
3、推行精益运营，助力公司高质量发展
在激烈的市场竞争和复杂多变的行业环境下，提质增效是公司高质量发展的核心保障。公司大力推行精
益运营理念，将精益思想贯穿生产经营全流程，持续深化降本增效。报告期内，公司持续开展精益改善活动
，定期开展精益培训，提升精益管理能力，激发员工的积极性和创造力，促进持续改进与创新；公司推行模
块化生产等精益生产方式，构建全过程质量管控体系，提升产品生产效率及质量；实施全面数字化管理，完
善ERP、SRM、PLM等管理系统，优化生产流程，实现了生产计划排程、生产进度实时分析，生产资源有效分
配，产品质量可追溯等，有效降低了公司运营成本。
4、完善公司治理，积极保护投资者权益
公司高度重视内部治理体系建设，不断完善公司治理机制，强化风险管理和内部控制建设，持续开展各
项业务循环审计工作，推动业务流程标准化，为公司合规、稳健运营提供坚实基础。公司董事会一贯高度重
视推动公司规范运作，按照公司章程的规定进行决策，充分发挥各专门委员会及独立董事的专业优势与监督
制衡作用，推动公司整体治理水平的提升。
2024年10月，公司完成了首次公开发行股票并在上海证券交易所科创板上市。上市后，公司严格按照《
证券法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律法规以及监管机构的各项规定，真实、准确、完整
、及时、公平地履行信息披露义务，通过公告、投资者关系互动平台、投资者关系专线、邮件等渠道，加强
与投资者的沟通，保持公司运营的透明度和信息沟通的及时性，致力于塑造公司在资本市场的良好形象，积
极保护投资者权益。
二、报告期内公司所从事的主要业务、经营模式、行业情况及研发情况说明
(一)主要业务、主要产品或服务情况
1、主要业务
公司是一家领先的高效光伏电池片核心工艺设备及解决方案提供商，主营业务为光伏电池片制造所需高
性能热制程、镀膜及配套自动化设备等的研发、生产与销售，并可为客户提供半导体分立器件设备、所售设
备的配套零部件及服务。
2、主要产品及服务
公司热制程设备主要包括硼扩散、磷扩散、氧化及退火设备等，镀膜设备主要包括低压化学气相沉积（
LPCVD）设备、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备、原子层边缘钝化沉积
（EPD）设备等，自动化设备为可以有效提升工艺设备生产效率的配套上下料设备；除此之外，公司还可提
供电池间隙贴膜机、激光设备等其他光伏设备。
公司半导体分立器件设备主要包括氧化、退火、镀膜和钎焊炉设备等一系列具有比较优势的产品。
公司配套产品及服务是公司根据客户的需求为销售的设备提供相应零部件及提供改造服务，属于客户对
公司设备产品所产生的延伸需求。
(二)主要经营模式
1、盈利模式
公司作为一家面向全球、坚持自主创新的光伏和半导体设备企业，通过向客户提供专用设备以及工艺解
决方案、设备维护及改造升级服务等，获得相应的收入，形成公司的盈利。
2、研发模式
公司主要采取自主研发模式，产品研发及产业化流程主要包括立项阶段、设计开发阶段、样机制作阶段
、客户验证阶段和产业化应用阶段。研发人员背景涉及多个学科领域，能够有效支持工艺设计、产品、软件
、零部件及核心材料等研究和开发工作。公司坚持自主创新，构建了完善的知识产权体系，并通过数字化手
段不断提升研发管理水平和效率。
3、采购模式
公司主要采取“以销定产、以产定采”的模式。生产、研发等所用原材料的采购工作，由采购部门统一
负责。计划物控部门依据订单需求情况，并结合实际库存，编制物料需求计划。采购部门根据经审核的物料
需求计划适时采购，并进行采购过程管理。
4、生产模式
公司生产的设备属于专用设备，根据客户的差异化需求，相关产品具有一定的定制化属性，因此公司主
要根据销售订单情况进行生产，即采用“以销定产”的生产模式。
5、销售模式
公司的销售模式为直销，主要通过接受邀标和直接接洽两种方式获取订单。公司组建了专业的销售和服
务团队，负责市场推广、客户开发、销售及售后等服务。
(三)所处行业情况
1、行业的发展阶段、基本特点、主要技术门槛
（1）公司所属行业
根据《战略性新兴产业分类（2018）》，公司所处行业为太阳能设备和生产装备制造，属于新能源产业
，具体为：“6、新能源产业”中的“6.3太阳能产业”中的“6.3.1太阳能设备和生产装备制造”中的“382
5光伏设备及元器件制造”；
根据《国民经济行业分类与代码》（GB/T4754-2017），公司所处行业隶属于“电气机械和器材制造业
”下的“光伏设备及元器件制造（3825）”；
光伏设备一般指光伏制造企业用于生产原料、电池及电池组件、零部件等产品中使用的机器设备，主要
包括硅棒/硅锭制造设备、硅片制造设备、电池片制造设备、电池组件制造设备等。公司主营业务产品涵盖
电池片制造设备、电池组件制造设备及配套自动化设备，其下游应用领域为光伏行业。
（2）行业发展阶段及特点
①全球光伏市场需求成长空间广阔，中国光伏产业具备竞争优势
全球已有众多国家提出了“碳中和”气候目标，发展包括光伏在内的可再生能源已成为全球广泛共识。
同时，随着光伏技术的持续进步，光伏发电成本快速下降，全球光伏市场需求持续高速增长。
据中国光伏行业协会发布的《中国光伏产业发展路线图》，2024年全投资模型下地面光伏电站在1800小
时、1500小时、1200小时、1000小时等效利用小时数的LCOE（平准发电成本）已分别降至0.130、0.157、0.
205、0.246元/kWh，光伏发电相较于传统能源发电的经济性优势不断增强。据中国光伏行业协会统计及预测
，全球年度光伏新增装机规模已从2020年的130GW快速增长至2024年的530GW，2030年全球新增装机将有望进
一步攀升至881~1078GW，全球光伏市场需求有望保持持续增长，成长前景广阔。
近年来，中国光伏产业链具备显著的技术水平高、效率高、成本低和上下游配套齐全等优势，中国光伏
供应链对全球光伏产业发展具有重要的影响力，中国光伏企业持续领导全球产业技术创新和供应格局。
②供需两侧发力，化解产业结构性矛盾
2022年以来，受光伏行业需求旺盛、盈利提升等多重因素影响，各环节产能快速扩张，新增产能陆续释
放。报告期内，产业链面临阶段性供需失衡等短期困扰，主要环节产品市场价格下行，行业竞争加剧，硅料
、硅片、电池、组件等制造企业盈利承压。
2024年下半年开始，中国光伏行业协会多次召开会议传达落实中央有关“强化行业自律”，防止“内卷
式”恶性竞争的会议精神，维护光伏市场公平竞争秩序，引导行业高质量发展；2024年11月，工业和信息化
部对《光伏制造行业规范条件》和《光伏制造行业规范公告管理暂行办法》进行了修订，引导光伏企业减少
单纯扩大产能的光伏制造项目，加强技术创新、提高产品质量，推动产业加快转型升级和结构调整。
③TOPCon、XBC等新型技术加快对PERC的替代
近年来，光伏电池技术呈现出持续创新和变革趋势，随着PERC的量产效率已接近理论极限转换效率，以
TOPCon、XBC等为代表的新型高效光伏电池片技术进入规模化量产和快速发展阶段。
根据中国光伏行业协会发布的《中国光伏产业发展路线图》，2024年N型TOPCon电池片市场占比已达到7
1.1%，成为占比最高的电池技术路线；XBC电池片市场占比约为5.0%，相较2023年有较大幅度的提升。
④光伏设备持续创新，助力下游技术进步和降本增效
目前，我国光伏电池设备制造企业通过工艺与装备的创新融合，以提高产品光电转换效率、设备产能、
智能化程度等为目标，已完全具备了成套工艺设备及自动化设备的供应能力，实现了设备国产替代，并在全
球处于领先地位。在最新一轮N型电池量产技术变革进程中，以硼扩散设备和隧穿层钝化设备为代表的国产
设备首次主导了全球新技术路线电池设备的重大创新。
2024年，TOPCon、XBC等新型高效电池快速成为了下游市场的主要技术选择，并成为新建产线、存量PER
C电池技术改造升级的主要路线，在设备企业与下游企业的共同努力下，激光辅助烧结、边缘钝化、PolyFin
ger、0BB等新一代技术升级逐步在量产端得到应用，电池量产转换效率得到进一步提升。
（3）技术门槛
光伏设备制造行业属于技术密集型行业，对技术的先进性依赖程度比较高。公司聚焦高效光伏电池片核
心工艺，以设备为载体为客户提供热制程和镀膜等核心工艺解决方案。
光伏电池片制造过程中，需要经历扩散、镀膜等多个工艺环节，最终实现特定的结构。工艺解决方案的
设计，既需要对工艺环节的具体要求有深入理解（以镀膜为例，需要深入了解所镀薄膜的材质、厚度、均匀
度、致密度以及成本等），同时还要能够综合运用热、电、气或光等物理或化学原理，并结合材料特性、化
学反应特点、核心零部件参数特征，设计开发出实现特定工艺的设备。
工艺设备的开发，涉及到热力学（特别是高温相关的加热及热场控制）、流体力学、无机化学、材料学
、半导体物理学、电磁学、机械自动化设计、控制理论、统计学等多门学科，设备运行的过程中，设备内部
工艺环境具有“不可见”和“不可有形捕捉”等特点。设计团队需要在结构设计的基础上搭建相应的模拟测
试平台完成热场、电场、气场在预期工艺环境下的模拟仿真并通过材料选型、核心零部件以及精密加工完成
最终的产品开发设计。
2、公司所处的行业地位分析及其变化情况
公司自设立初期即聚焦高效光伏电池片的核心工艺设备，是新一代电池装备和解决方案的行业领先者。
公司深度参与下游客户的多种高效光伏电池片技术路线的研发和工艺验证，为客户提供系统化的解决方案。
公司核心工艺设备覆盖下游多个主流客户，并覆盖TOPCon、XBC多种新型高效光伏电池片技术路线，在产线
中占据重要的地位和价值，成为新型高效光伏电池片核心工艺设备的核心供应商。
3、报告期内新技术、新产业、新业态、新模式的发展情况和未来发展趋势
降本增效是推动光伏产业不断发展的动力源泉，其中以提升光电转换效率为目标的新一代光伏电池技术
变革是推动降本增效的关键举措之一。2024年，PERC电池的市场份额进一步被TOPCon为代表的新型高效电池
取代，PERC产线开工率快速下降，产能逐步出清。据中国光伏行业协会发布的《中国光伏产业发展路线图》
，2024年N型TOPCon电池的市场占比已从2023年的23.0%快速提升至71.1%，成为了下游市场的主流产品，并
成为新建产线、存量PERC电池产线改造升级的主要技术选择，同时，激光辅助烧结、边缘钝化、PolyFinger
、0BB等新一轮提效技术升级也逐步在TOPCon量产端得到应用。XBC电池凭借其高转换效率、美观性等优势，
逐渐在地面电站招标、分布式市场崭露头角，头部企业积极推动XBC技术持续的升级和优化，进一步提升量
产转换效率。HJT技术也在不断取得进步。
报告期内，公司积极通过设备创新推动下游高效光伏电池的技术迭代，在深入覆盖了TOPCon、XBC等技
术路线的各类热制程、镀膜及配套自动化设备的基础上，创新开发EPD（原子层边缘钝化沉积系统）等新产
品，助力下游企业实现TOPCon产线的技术升级和电池量产效率提升；公司LPCVD设备不仅在TOPCon电池工艺
中发挥了重要作用，在XBC电池工艺中亦凭借其镀膜均匀性好、致密度高、产能大等优势成为制备隧穿氧化
层和掺杂多晶硅层的主流量产技术。
未来，公司将继续拓深、拓宽底层技术，丰富技术储备，加强“热”、“电”、“气”、“光”等相关
的底层技术，深入研究关键材料、核心零部件，持续完善现有技术和产品，为下游客户提供更具性价比的核
心工艺解决方案。公司将凭借自身的技术积累，持续进行产品研发创新，积极布局TOPCon、XBC、HJT、钙钛
矿以及叠层电池等不同技术所需的核心工艺设备，努力为不同技术路线的光伏电池产业化应用做出贡献。
(四)核心技术与研发进展
1、核心技术及其先进性以及报告期内的变化情况
公司自成立之初就致力于深入研究底层技术，依靠自主研发，并在生产实践和验证中不断完善，形成了
一系列核心技术，并已应用于产业化阶段。
（1）创新低压水平硼扩散技术
硼原子相对于其拟扩散进入的衬底硅原子而言，原子质量较小，对硅原子的替代需要更高的能量，硼扩
散工艺相对于磷扩散需要的温度更高（由850℃上升至1050℃左右），且扩散时间长，工艺难度大，设备维
护费用高。行业内原有工艺采用三溴化硼作为扩散硼源，通过氮气携源的方式通入设备，其通入状态为小液
滴，在扩散过程中，容易造成硼源在硅片表面分布不均匀，导致形成的PN结不均匀，同时产生的副产物为粘
稠状物质，设备需要频繁维护，稼动率低，运营成本极高，难以实现大规模量产，主要用于研发。
公司创新开发低压水平硼扩散技术，很好地解决了前述技术瓶颈：①采用三氯化硼作为扩散硼源，在一
定温度下通过饱和蒸汽压的方式通入设备，通入状态为气态，扩散过程中硼源在硅片表面分布均匀，形成更
均匀的PN结，解决N型电池PN结制备均匀性较差的难题；②使用气态三氯化硼作为掺杂源，与传统三溴化硼
液态源硼扩散相比，在设备营造的特殊反应氛围下，副产物为粉末状的氧化硼，石英管寿命长、维护费用低
、运营成本低。
（2）光伏级大产能LPCVD技术
TOPCon及XBC电池片隧穿氧化及掺杂多晶硅层制备的技术路线分为LPCVD方案（LPCVD+磷扩散设备）、PE
CVD方案（PECVD+退火炉）、PVD方案，LPCVD凭借技术成熟、成膜质量高、产能大等优点成为下游客户最主
流的解决方案，在公司未将光伏级大产能LPCVD推向市场之前，主要行业痛点在于：①光伏对设备成本控制
要求高，隧穿氧化及掺杂多晶硅层对光伏电池片转换效率提升带来的收益与相应增加的工序成本相比较必须
具有经济性，对于结构构造、工艺设计提出了特殊的要求；②石英管损耗较高，增加了生产成本；③镀膜均
匀度较差。
公司凭借自身的技术积累，深入研究LPCVD的基本原理，以及光伏电池隧穿氧化及掺杂多晶硅层的工艺
要求，结合上述痛点创造性地进行了气流控制设计、载片设计、非对称热场设计、硅片载具的创新设计、自
适应串级温控设计、优化设备结构延长石英管寿命和提升产能，并自研新型石英管涂层技术进一步延长石英
寿命，为客户产品中隧穿氧化及掺杂多晶硅层制备提供成熟的LPCVD解决方案，
（3）加热及温度控制技术
热场是公司光伏电池片设备的重要组成，为工艺过程提供所需的温度环境。硅片在设备内进行各种工艺
处理时，要求受热尽量均匀，并且要求设备持续可靠运行，故热场的耐火材料材质、电炉丝的材质、炉丝绕
制方式、布局方式、加热控制尤为重要。原有成熟热场技术，存在较多工艺问题，如炉丝无法灵活布局、温
度难以精准控制，从而导致热场不同部位温度出现明显差异，无法满足更高的工艺要求。同时也存在热场无
法在高温下长时间可靠运行，寿命较短等问题。
公司发明的加热及温度控制技术有效地解决了前述关键技术问题：①该技术对热场进行分区，包括：炉
口辅热区、恒温区和炉尾辅热区，同时也对同一温区进行分区，并且对不同温区进行精准温度控制，采用自
适应串级温控技术，保证了炉内产品温度的均匀性，使硅片组处于优化的温度场，从而实现硅片组温度的均
匀控制，大幅提高了控温能力；②采用特殊耐火材料材质、特种炉丝，通过热场结构设计，以及先进加工工
艺，大幅提升热场在高温下运行的可靠性，大幅延长使用寿命。
（4）高温气相反应的硅片横置技术
传
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