热点题材☆ ◇688147 微导纳米 更新日期：2025-04-04◇ 通达信沪深京F10
★本栏包括【1.所属板块】【2.主题投资】【3.事件驱动】【4.信息面面观】
【1.所属板块】
概念:光伏、OLED概念、芯片、三代半导、先进封装、TOPCon、钙钛矿、存储芯片、BC电池
风格:融资融券、回购计划、专精特新、专项贷款
指数:科创高装、科创成长、科创100
【2.主题投资】
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2024-11-07│OLED概念 │关联度：☆☆☆
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公司已陆续获得了如京东方、合肥视涯、浙江宏禧等新型显示硅基OLED厂商知名客户的订单
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2024-10-30│第三代半导体│关联度：☆☆☆
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公司半导体产品覆盖逻辑芯片、存储芯片、硅基 OLED 和第三代半导体等诸多半导体应用领
域
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2024-07-19│先进封装 │关联度：☆☆☆
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公司自主研发了“先进封装低温薄膜应用解决方案”，该方案针对半导体领域 2.5D 和 3D
先进封装技术的低温工艺特殊需求而设计，能够在 50~200°C的低温温度区间内实现高均匀性、
高质量、高可靠性的薄膜沉积效果
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2024-01-30│BC电池 │关联度：☆☆☆
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公司应用于BC类电池制造的AL D设备陆续获得来自隆基和爱旭的订单，并逐步发货。
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2023-07-14│存储芯片 │关联度：☆☆☆
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公司批量型 ALD 设备也已获得客户订单，且为行业首台批量型ALD设备在存储芯片制造领域
的应用。
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2023-02-02│钙钛矿电池 │关联度：☆☆☆
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公司积极响应下游厂商XBC电池结构的开发和优化需求，并根据下游厂商在HJT电池、钙钛矿
叠层电池等其他新型高效电池的量产节奏完善相关的技术储备和产品。截止目前，公司已取得了
XBC电池、钙钛矿异质结叠层电池订单。
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2023-01-03│TOPCon电池 │关联度：☆☆☆
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公司夸父（KF）系列设备在光伏领域PERC电池中的Al2O3工艺和SiNX工艺、TOPCon电池正面A
l2O3工艺均已实现产业化应用。公司2022年1-9月营业收入为38,505.25万元，较上年度同比增长
66.80%，主要系公司PERC电池设备销售收入取得增长、首批应用于光伏TOPCon电池的专用设备取
得客户验收。
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2022-12-23│光伏 │关联度：☆☆☆☆
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公司产品为先进微、纳米级薄膜沉积设备，率先用于光伏电池片生产过程中的薄膜沉积环节
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2022-12-23│芯片 │关联度：☆☆☆
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公司已实现了国产ALD设备在28nm集成电路制造关键工艺中的突破，并获得了国内多家知名
半导体公司的商业订单
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2025-04-02│回购计划 │关联度：☆☆☆
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公司拟回购不超过8000万元(187.09万股),回购期:2024-11-14至2025-11-13
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2024-11-15│专项贷款 │关联度：☆☆☆
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2024年11月15日公告，江苏微导纳米拟回购资金总额不低于人民币4,000万元且不超过人民
币8,000万元，回购价格不超过人民币42.76元/股，资金来源为自有资金和/或自筹资金（包括中
国民生银行无锡分行专项贷款）
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2022-12-23│专精特新 │关联度：☆☆☆
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公司已入选工信部国家级专精特新小巨人企业名单。
【3.事件驱动】
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2023-09-06│光伏巨头明确未来技术路线，BC电池或将成为绝对主流
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近日，BC电池（全背电极接触晶硅光伏电池）大获市场关注。BC电池将最大限度地利用入射
光，减少光学损失，带来更多有效发电面积，拥有高转换效率。BC作为平台型技术，可与P型、H
JT、TOPCON等技术结合形成HPBC、HBC、TBC等多种技术路线。隆基绿能在半年度业绩会上表示，
BC类电池在未来会逐步取代TOPCON电池，在接下来的5-6年，BC类电池会成为晶硅电池的绝对主
流，且未来公司大量产品都会走向BC技术路线。
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2023-07-04│新加坡科学家实现1平方厘米钙钛矿太阳能电池效率24.35%
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新加坡国立大学日前宣布，其科学家团队在有效面积为1平方厘米的钙钛矿太阳能电池上实
现了24.35%的转换效率，创世界纪录。在该团队破纪录之前，1平方厘米钙钛矿太阳能电池的转
换效率纪录为23.7%。
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2023-06-05│钙钛矿/晶硅太阳能电池转换效率新纪录诞生
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沙特阿拉伯的阿卜杜拉国王科技大学(KAUST)日前公布，其钙钛矿/晶硅串联太阳能电池光电
转换效率达33.7%。据《光伏杂志》(PVMagazine)报道，欧洲太阳能测试装置(ESTI)对该结果进
行了认证，证实了阿卜杜拉国王科技大学新型钙钛矿/晶硅串联太阳能电池的新成果，1平方厘米
电池器件开路电压为1.974V，短路电流密度为20.99mA/c㎡。
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2023-03-10│2022年以来全球各国强化本国半导体政策支持力度
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自2022年以来，全球各国强化本国半导体政策支持力度，美国、欧盟、日本、韩国、印度等
国家相继出台产业政策，通过基金支持、设备补贴、税收优惠等方式予以政策扶持。台积电、英
特尔、三星、美光等全球头部晶圆厂纷纷宣布扩产计划，长期看全球半导体资本开支仍有望高速
增长。券商认为，中美科技脱钩倒逼半导体设备及零部件国产化提速，国产化率提升有望超预期
。
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2023-02-06│多家上市公司公布投资计划，钙钛矿电池产业化进程提速
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日前，宝馨科技等多家上市公司宣布钙钛矿太阳能电池投资计划。今年以来，钙钛矿太阳能
电池产业化进程进一步提速。业内机构预测，钙钛矿太阳能电池未来发展前景良好，有望掀起光
伏领域新一轮技术革新，并有望于2024年实现GW（十亿瓦特）级产能。
【4.信息面面观】
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│栏目名称 │ 栏目内容 │
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│公司简介 │2019年12月3日，微导有限董事会通过决议，同意微导有限以2019年10月31 │
│ │日为基准日，将经天职国际审计的净资产59,597,806.03元按照1:0.7551的 │
│ │比例折合成股份公司股本4,500万元，每股面值1元，共计4,500万股，其余 │
│ │部分14,597,806.03元计入股份公司资本公积。同日，微导纳米的发起人股 │
│ │东签署《江苏微导纳米科技股份有限公司发起人协议》。2019年12月5日， │
│ │微导纳米全体发起人召开股份公司创立大会暨2019年第一次临时股东大会，│
│ │审议通过了《关于江苏微导纳米装备科技有限公司以账面净资产折股整体变│
│ │更为股份公司的议案》等议案。2019年12月5日，天职国际出具了《江苏微 │
│ │导纳米科技股份有限公司验资报告》（天职业字[2019]37647号），经审验 │
│ │，截至2019年12月5日，公司已收到全体股东以其拥有的微导有限净资产折 │
│ │合的实收资本4,500万元，余额14,597,806.03元计入资本公积。2019年12月│
│ │10日，微导纳米取得了无锡市市场监督管理局核发的《营业执照》。2019年│
│ │12月20日，微导纳米取得无锡市高新区（新吴区）商务局出具的《外商投资│
│ │企业变更备案回执》（锡高管商资备201900507)。统一社会信用代码为9132│
│ │0213MA1MDBFY36。 │
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│产品业务 │微导纳米是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形│
│ │成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多种真空薄│
│ │膜技术梯次发展的产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、│
│ │生产与销售。 │
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│经营模式 │1、盈利模式 │
│ │公司通过向客户销售专用设备，提供设备改造、备品备件等配套产品及服务│
│ │，获得相应的收入，扣除成本、费用等相关支出，形成公司的盈利。 │
│ │2、采购模式 │
│ │公司主要根据研发、生产、售后服务的需求计划和安全库存的需要等制定和│
│ │执行采购计划，在合理控制库存的同时，保证物料供应的及时性。 │
│ │3、生产模式 │
│ │公司采用定制化设计与生产。根据客户采购意向和需求进行产品定制化设计│
│ │与生产，以满足客户的差异化需求。公司在设备生产中存在外协加工的情况│
│ │，公司外协加工包括外购加工件和委外加工两种情形。 │
│ │4、销售模式 │
│ │公司的销售模式为直销，主要通过直接接洽和投标的方式获取客户。设备运│
│ │至客户指定的位置后，公司负责组织安装调试、配合客户生产工作，并提供│
│ │技术指导、售后跟踪和维修服务。 │
│ │5、研发模式 │
│ │公司的产品研发及产业化流程主要包括需求提出、立项和规划阶段、开发实│
│ │现阶段、产业验证阶段、产业化应用阶段。 │
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│行业地位 │实现了国产ALD设备在28nm集成电路制造工艺中的突破 │
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│核心竞争力 │1、先进技术路线优势 │
│ │公司以ALD技术为核心，专注于ALD工艺技术研发和应用场景拓展。ALD工艺 │
│ │可以在100%阶梯覆盖率的基础上实现原子层级（1个纳米约为10个原子）的 │
│ │薄膜厚度。随着制程技术节点的不断进步，ALD工艺优异的沉积均匀性和一 │
│ │致性使得其在微纳电子学和纳米材料等领域具有广泛的应用潜力，会越来越│
│ │受到青睐。 │
│ │此外，ALD技术作为一种具有普适意义的真空镀膜技术，在柔性电子等新型 │
│ │显示、MEMS、催化及光学器件等诸多高精尖领域均拥有良好的产业化前景。│
│ │上述任一领域的应用前景均体现了ALD的技术特点及优势，为公司的后续发 │
│ │展提供了广阔市场空间。 │
│ │2、优秀的研发团队和完善的产业化应用中心平台的优势 │
│ │公司创始团队、核心管理人员拥有丰富的国内外顶级半导体设备公司研发和│
│ │运营管理经验，并积极引入和培养一批经验丰富的电气、工艺、机械、软件│
│ │等领域工程师，形成了跨专业、多层次的人才梯队。公司的研发技术团队结│
│ │构合理，专业知识储备深厚，工艺开发、产线验证经验丰富，是奠定公司技│
│ │术实力的基石。 │
│ │同时，公司已建立的产业化应用中心以现有技术为基础，围绕国产化替代的│
│ │战略需求，结合行业内最前沿的技术发展趋势和市场需求，针对先进技术和│
│ │工艺性能，搭建了研发平台、高端研发人才培养平台以及未来新项目、新企│
│ │业发展孵化器。产业化应用中心使公司具有前瞻应用定制化能力，可为客户│
│ │提供全场景Demo设备线，从而能够及时响应客户的各类需求，为客户提供全│
│ │方位的解决方案。 │
│ │3、技术积累与研发创新能力优势 │
│ │公司坚持自主研发，已形成薄膜沉积反应器设计技术、高产能真空镀膜技术│
│ │、真空镀膜设备工艺反应气体控制技术等十项核心技术，上述核心技术成功│
│ │应用于公司各类产品。公司半导体iTomicHiK系列ALD设备和光伏KF系列ALD │
│ │设备均被评为江苏省首台（套）重大装备产品，半导体领域设备成为国产首│
│ │台成功应用于集成电路制造前道生产线的量产型High-k原子层沉积设备，其│
│ │他产品也已在半导体及泛半导体领域经过量产验证，并获得重复订单。 │
│ │4、平台化的产品矩阵布局优势 │
│ │公司的设备产品覆盖半导体、光伏、柔性电子等不同的下游应用市场，半导│
│ │体领域公司以ALD为核心正逐步拓展CVD等多种镀膜技术和产品，光伏领域公│
│ │司持续推进以ALD为核心的工艺整线策略和新一代高效光伏电池技术开发， │
│ │同时依托产业化应用中心平台探索先进薄膜沉积技术在其他新兴应用领域的│
│ │发展机会。多领域、多品类产品覆盖能够一定程度平抑各细分市场波动对公│
│ │司业绩带来的影响，同时不断拓宽公司市场规模和成长空间。 │
│ │5、优质客户资源优势 │
│ │在半导体领域内，公司率先攻克难度较高的逻辑电路栅氧层氧化铪工艺并获│
│ │得了客户的重复订单，为公司向全工艺段覆盖奠定客户基础。公司先后获得│
│ │逻辑、存储、化合物半导体和新型显示领域内多家国内知名半导体公司的商│
│ │业订单，并与多家国内主流半导体厂商及验证平台签署了保密协议并开展产│
│ │品技术验证等工作。光伏领域已覆盖包括通威、隆基、晶澳、晶科、阿特斯│
│ │、天合光能等在内的多家知名太阳能电池片生产商。 │
│ │6、高效客户服务优势 │
│ │公司主要产品为非标准化产品，通过将基础研发与行业应用紧密结合，以下│
│ │游企业的实际需求为研发导向，为客户定制化开发可量产的工艺及设备。公│
│ │司技术服务体系健全，为客户提供及时的驻厂技术服务支持，及时到达现场│
│ │排查故障、解决问题，保证快速响应客户的需求，缩短新产品导入的工艺磨│
│ │合时间。 │
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│经营指标 │公司2023年营业收入167,972.13万元，同比增长145.39%；2023年归属于上 │
│ │市公司股东的净利润27,039.19万元，同比增长399.33%；2023年扣除非经常│
│ │性损益后的归属于上市公司股东的净利润18,813.83万元，同比增长849.89%│
│ │；2023年末公司总资产758,200.60万元，同比增长98.47%；2023年末归属于│
│ │上市公司股东的净资产234,447.04万元，增长19.45%。 │
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│竞争对手 │无锡松煜、理想晶延、捷佳伟创、北方华创、红太阳、拉普拉斯、Centroth│
│ │erm、Lam、ASM、AMAT、TEL、KE、北方华创、拓荆科技、中微公司。 │
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│品牌/专利/经│专利：2023年度公司新增重点研发项目3项，新增申请专利146项，新增专利│
│营权 │授权35项。 │
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│投资逻辑 │在半导体领域内，公司已与国内多家头部半导体厂商建立了深度的合作关系│
│ │，ALD产业化应用迅速发展的同时，藉由现有的薄膜沉积类产品研发、推广 │
│ │和产业化的经验，开发了以CVD为代表的多种真空薄膜技术产品，相关产品 │
│ │涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、新型显示等细分应用领域，多项设备的│
│ │镀膜质量、产能水平、稳定运行能力等关键指标均已达到了国际先进水平。│
│ │高介电常数（High-k）栅氧薄膜工艺难度较大，公司是国内首家将其成功量│
│ │产应用于集成电路制造前道生产线的国产设备公司，也是国内少数成功将该│
│ │类设备应用于新型存储器制造生产线的国产设备厂商，并已获得客户重复订│
│ │单认可，填补了我国在该项半导体设备上的空白。 │
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│消费群体 │国内光伏电池生产的企业、国内头部光伏厂商、知名太阳能电池片生产商 │
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│消费市场 │境内、境外 │
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│行业竞争格局│在半导体领域，中国正处于全球半导体产业转移的历史机遇期，国内产业链│
│ │的景气度和成长性更加突显。依托庞大的终端应用市场需求和国家产业政策│
│ │的大力支持，中国集成电路产业发展迅速，国内芯片制造企业的产线建设数│
│ │量和投资规模也相应快速增长。同时随着国产半导体设备产品的技术性能不│
│ │断提升，加之国家针对半导体泛半导体产业整体战略布局，集成电路制造的│
│ │设备端国产替代趋势明显，半导体设备国产化进程加速。 │
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│行业发展趋势│伴随着国家鼓励类产业政策和产业投资基金不断的落实与实施，本土半导体│
│ │及其设备制造业迎来了前所未有的发展契机，而薄膜沉积设备作为半导体制│
│ │造的核心设备，将会迎来巨大的进口替代市场空间。目前，基于供应链安全│
│ │考虑，国内设备制造商正面临更多的机会。面对半导体设备向高精度化与高│
│ │集成化方向发展的趋势，以及国产化进程加快的背景下，国产半导体薄膜沉│
│ │积设备迎来前所未有的发展契机。 │
│ │在光伏领域，国内经过过去十多年快速发展，光伏技术不断突破，发电成本│
│ │快速下降，装机规模迅猛增长。随着全球《巴黎协定》的通过以及中国碳达│
│ │峰和碳中和目标的提出，意味着全球能源转型，有望驱动光伏装机规模继续│
│ │扩大。国内光伏装机和电池片产能已经连续多年位居全球首位，并保持着较│
│ │强的竞争力。根据中国光伏行业协会预测，十四五期间我国光伏市场将迎来│
│ │市场化建设高峰，预计国内年均光伏装机新增规模在70-90GW。 │
│ │在光伏行业降本增效的发展趋势推动下，新产品、新技术层出不穷，相应量│
│ │产和扩产需求催生更多的生产设备需求，在国内巨大市场需求拉动下，具备│
│ │相应技术研发和生产制造能力的光伏设备厂商收入预计将保持快速增长。目│
│ │前产业化前景最为明确的TOPCon电池对于薄膜沉积的需求更高，具备量产能│
│ │力的薄膜沉积设备厂商面临快速发展的市场机遇。 │
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│行业政策法规│《推动大规模设备更新和消费品以旧换新行动方案》、《巴黎协定》 │
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│公司发展战略│作为绿色家园的推动者，以及科技创新、自立自强的践行者，公司坚持全球│
│ │化布局与多元化发展，通过构建以原子层沉积（ALD）技术为核心，化学气 │
│ │相沉积（CVD）等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，依托于产业化应 │
│ │用中心，引领创新性应用，不断向各领域进行横向以及纵深发展。通过自主│
│ │创新，积极开发半导体、下一代光伏电池、柔性电子等领域具有市场竞争力│
│ │的产品。通过为客户提供一流技术、一流品质和一流服务，不断扩展市场占│
│ │有率，打造高端装备制造商的优质品牌，实现高端技术装备的国产化、产业│
│ │化，择机通过收购等方式，对核心技术上下游关键工艺进行技术整合，针对│
│ │新兴产业形成一整套技术解决方案，力争成为全球微纳制造装备领导者。 │
│ │在半导体领域内，公司将利用现有的先进技术，拓展市场空间，力争成为国│
│ │内市场半导体ALD设备的领军企业。公司将瞄准国内外半导体先进技术和工 │
│ │艺的发展方向，构建和完善ALD、CVD等多种先进真空技术平台，持续丰富产│
│ │品矩阵，为客户提供最先进的、集成化的真空技术工艺解决方案，覆盖逻辑│
│ │、存储、化合物半导体、新型显示等细分应用领域及各类氧化物、氮化物等│
│ │工艺，打通国内先进半导体下一代技术迭代的需求，从而占据技术的最前沿│
│ │，确立行业领导地位，引领行业创新发展。 │
│ │在光伏领域内，公司将紧跟下游行业电池技术迭代和扩产的发展趋势，充分│
│ │发挥ALD、CVD等多种先进真空技术平台的优势，横向拓宽产品线，提高市场│
│ │覆盖率，为客户提供ALD、PECVD、PEALD、扩散等配套产品，定位新型高效 │
│ │电池工艺整线设备供应商，引领行业TOPCon等新型高效电池量产导入，并积│
│ │极开发XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等下一代光伏高效电池技术，从而抓住│
│ │当前行业发展机遇，储备未来增长点。 │
│ │其他新兴行业如新能源、光学、显示、封装等领域内，依托公司产业化应用│
│ │中心行业拓展的战略部署，加快产品布局和规划，凭借在技术方面的领先优│
│ │势，持续进行新技术及新应用的开发，并进入新市场领域，不断推出引领行│
│ │业的创新型产品，推进产业化验证和应用，以及深化拓展核心技术在多领域│
│ │内的市场空间。通过多领域发展，降低了单一行业周期性波动带来的影响。│
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│公司日常经营│随着摩尔定律不断演化，逻辑制程不断缩小、器件3D化推进以及终端应用的│
│ │创新，集成电路的特征尺寸及结构不断微缩化、复杂化。在这种需求推动下│
│ │，ALD、CVD等尖端真空薄膜技术在半导体集成电路产业发展中扮演越来越重│
│ │要的角色。国内晶圆厂逆周期扩产和工艺迭代升级，加速了国内半导体芯片│
│ │制造客户对国产薄膜沉积设备的产业化验证。同期，在全球碳中和的背景下│
│ │，光伏行业快速发展，装机量持续增加。随着公司与行业多家头部客户共同│
│ │合作的PE-PolyTOPCon新型高效电池生产线实现规模化的量产，主流技术正 │
│ │快速从PERC过渡到TOPCon。 │
│ │2023年度，公司实现营业收入为167972.13万元，同比增长145.39%；实现归│
│ │属于母公司所有者的净利润为27039.19万元，同比增加399.33%。随着业务 │
│ │发展，公司科技成果转化也呈加速状态，2023年度公司新增重点研发项目3 │
│ │项，新增申请专利146项，新增专利授权35项。 │
│ │2023年度，公司新增订单总额约64.69亿元，是去年同期新增订单的2.96倍 │
│ │。截止至2024年3月31日，公司在手订单81.91亿元（含Demo订单），其中光│
│ │伏在手订单70.26亿元，半导体在手订单11.15亿元，产业化中心新兴应用领│
│ │域在手订单0.50亿元。 │
│ │（1）半导体领域：进入产业化验证阶段的ALD和CVD工艺种类不断增加，目 │
│ │前已开发工艺包括了HKMG技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽│
│ │比3DDRAM、TSV技术等，并还在持续开发客户需求的IGZO、Nb2O5等新工艺。│
│ │客户类型涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、硅基OLED等，其中超过75%的 │
│ │增量订单来自存储领域（新型存储、3DNAND和DRAM），行业重要客户需求表│
│ │现强劲，形成批量的重复订单合计已超过5亿元。 │
│ │除传统的逻辑、NAND/DRAM外，在新型存储和硅基OLED领域内，公司已取得 │
│ │开创性进展。目前诸如FeRAM等新型存储技术因具有不同于NAND/DRAM的存算│
│ │一体结构，具有非易失性、快速数据访问、较好数据保持和低功耗等特点，│
│ │在提升算力方面具有更高潜力。薄膜沉积技术是推动新型存储技术产业化实│
│ │现的关键技术之一。在该领域内，公司镀膜设备已进入行业重要客户端，处│
│ │于量产验证阶段。 │
│ │（2）光伏领域：年度新增订单是去年同期新增订单的2.92倍，约80%的增量│
│ │来自于行业前十大电池片厂商及上市公司客户，应用的技术路线覆盖了TOPC│
│ │on、XBC和钙钛矿电池，设备类型以ALD设备为主，poly设备订单增长显著。│
│ │截止2023年12月31日，公司预收合同款（合同负债）和存货中已发出商品金│
│ │额分别为19.58亿元和19.26亿元，与订单规模相匹配，现金流状况良好。 │
│ │（3）新兴应用领域：公司继续执行ALD+CVD等镀膜平台化战略，持续在新兴│
│ │领域进行前沿化开发，为公司未来发展创造更多收入增长极。目前，公司已│
│ │在新兴领域取得突破并逐步显现成果，在光学、柔性电子、车规级芯片等几│
│ │个极具市场潜力的薄膜沉积技术应用前沿领域开始获得客户订单。例如消费│
│ │电子光学摄像头、车载摄像头、安防仪器、超透镜、AR\VR等精密光学镜片 │
│ │行业已开始使用ALD替代传统镀膜技术。ALD镀膜工艺精确控制方式实现纳米│
│ │级的超薄薄膜沉积和良好的保形性特性，很好地解决光学镜片异形、大曲面│
│ │镀膜均匀性问题。用来制备高性能的超低减反膜，有助于减少镜头炫光和鬼│
│ │影等伪影，从而提高成像质量。虽目前订单量较小，但受益于技术提升和光│
│ │学镜片等精密光学器件市场需求的增加，该领域尖端的薄膜沉积技术的应用│
│ │前景十分广阔。 │
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│公司经营计划│1、技术研发计划 │
│ │公司将继续坚持以客户需求作为技术研发导向，持续增加研发投入，密切追│
│ │踪最新的技术及发展趋势，持续开展对新技术的研究，加快产品创新。不断│
│ │完善研发管理机制和创新激励机制，对在技术研发、产品创新、专利申请等│
│ │方面做出贡献的技术研发人员均给予相应的奖励，激发技术研发人员的工作│
│ │热情。持续加大研发投入力度，搭建更好的研发实验环境，为技术突破和产│
│ │品创新提供重要的基础和保障。 │
│ │2、市场营销和服务开展计划 │
│ │公司将继续密切关注客户需求，在满足现有客户设备需求的同时，深度挖掘│
│ │现有客户的其他需求，并积极拓展国内外其他知名客户，不断支持公司扩大│
│ │业务规模。在产品技术路线交流、销售、服务、信息反馈等环节为客户提供│
│ │专业化的服务和解决方案和增值服务。 │
│ │3、人力资源计划 │
│ │公司将根据未来技术发展规划和现有人才储备状况，不断加强人才队伍的建│
│ │设工作。公司根据业务发展需求，制定短期、中期和长期相结合的人力资源│
│ │规划及具体实施办法，建立、健全公司科学化、规范化的人力资源管理系统│
│ │，注重国内外高端专业技术人才的引进。 │
│ │4、产品开发规划 │
│ │公司将根据发展战略完善产品矩阵和产品线，并重点建设ALD、CVD技术高端│
│ │装备产业化研发中心。依靠公司核心技术加大研发力度，开发系列化高端集│
│ │成电路制造所需的ALD、CVD设备及团簇式集成平台等产品。与国内外顶尖半│
│ │导体及泛半导体制造商加深合作，大力开发量产化工艺技术，实现专有工艺│
│ │配合专用设备的配套，提升产品技术壁垒，增强产品在国际市场的竞争力。│
│ │5、知识产权发展规划 │
│ │报告期内，公司制定知识产权战略发展规划，根据工作目标和工作任务积极│
│ │推进以三年为基准的战略方案。报告期内以完善知识产权管理体系为主，加│
│ │大知识产权经费投入提升知识产权信息综合运用，开展关键产品专利技术分│
│ │析工作，辅助研发创新的同时，形成知识产权产出，完善关键产品专利海外│
│ │布局，积累知识产权优势；第二年以高价值专利培育为主，持续推进关键产│
│ │品专利技术分析工作，进一步完善关键产品专利布局，提高和加强纠纷应对│
│ │能力；第三年以自身技术为出发点开展运营，全面持续推进工作内容。 │
│ │6、市场拓展规划 │
│ │公司将加强和健全各事业部的专业化、国际化市场营销团队，提升营销团队│
│ │的专业技术能力，积极拓展国内外市场。同时密切关注市场动态，了解技术│
│ │趋势，加强信息反馈，快速有效地挖掘客户需求，围绕公司核心技术，积极│
│ │为客户提供具有竞争力的解决方案。同时，加强对客户技术服务和产品的质│
│ │量及品牌维护，通
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