特种气体概念股票|特种气体板块龙头股资金流向(实时)

蜀道装备：工业和特种气体业务方面:特种气体方面，内蒙古雅海提氦项目已进入设备安装阶段，预计2023年二季度正式投产，加快构建氨气业务全产业链体系，助力解决国家氨气依赖大量进口的“卡脖子”难题。清洁能源方面，公司与多地政府、企业达成了明确的合作意向，计划在氢能矿卡、氢能机车改造、LNG工厂等多个清洁能源项目方面论证扎实推进，并结合市场情况积极开展氢能源装备制造技术研发创新，探索延伸氢能源示范产业链。

华特气体：公司自主研发的氟碳类、光刻稀混气类、氢化物、氮氧化合物等系列产品主要应用在泛半导体制程工艺中的刻蚀、清洗、光刻、外延、沉积/成膜、离子注入等核心环节，对最终元器件的性能起到关键决定性作用。公司的拳头产品光刻气（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne）通过了荷兰ASML和日本GIGAPHOTON株式会社的认证，也是国内唯一一家通过两家认证的气体公司。2023年上半年，公司的准分子激光气体产品还通过Coherent（相干）德国公司ExciStar激光器的193nm测试，进一步提高公司在准分子激光气体领域内的认可度和知名度。公司累计实现了包括高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、光刻气、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯氨、高纯一氧化氮、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、锗烷、高纯乙烯、高纯甲烷、高纯六氟丁二烯等50余种产品的进口替代，数量在国内特气公司中居于领头位置。

和远气体：在新兴产业即电子特气及电子化学品、硅基功能性新材料业务领域，公司作为新进入者，尚处于导入阶段。公司将加快项目实施进度，依托宜昌、潜江两个电子特气及电子化学品产业园的产品投产，分销与直销并行，在集成电路、液晶面板、光伏、LED、第三代半导体行业全力拓展客户；与国内同行开展产品合作，提高产品销售种类，增加与客户的合作黏性；结合市场新需求，增加产品研发投入，以创新驱动市场，增加市场份额，形成在电子特气、电子化学品及新材料领域的核心竞争力。

中船特气：公司生产的高纯三氟化氮主要应用于大规模集成电路和显示面板等制造过程中的清洗、刻蚀工艺，已实现5N级三氟化氮的量产，同时已建成国内最大生产基地。公司生产的高纯六氟化钨主要应用于大规模集成电路化学气相沉积工艺，其沉积形成的钨导体膜可用作通孔和接触孔的互连线，已实现6N级六氟化钨的量产，同时拥有国内最大生产基地。公司生产的无机类气体主要包括氟化氢、氯化氢、四氟化硅、氘气等气体。其中， 氯化氢和氟化氢纯度分别可达5N5和5N，主要应用于大规模集成电路清洗、刻蚀工艺；四氟化硅纯度可达5N，主要应用于大规模集成电路制造中有机硅化合物的合成、离子注入工艺掺杂剂及化学气相沉积工艺；氘气纯度可达5N，氘同位素丰度2N8以上，主要用作集成电路热处理，以及在光纤制造领域抗老化退火处理，提高抗氢老化能力。公司混合气产品组分纯度可达6N， 目前已实现30余种电子混合气的量产供应。公司生产的碳氟类气体主要有六氟丁二烯、八氟环丁烷、八氟丙烷、六氟乙烷等气体。

凯美特气：凯美特电子特种气体公司产品为电子级高纯纯气、氯化氢基准分子激光混配气、氟基准分子激光混配气、动态激光混配气。凯美特电子特种气体公司采用深冷精馏、物理化学吸附等先进技术及设备，生产半导体、航天、医疗等领域急需的超高纯气体和多元混配气，有利于进一步扩充公司气体产品种类，树立公司在特种稀有气体行业的高品质形象，未来电子特种稀有气体正式投入市场将打破国外跨国公司在这一领域的垄断地位，实现芯片、半导体等高科技领域中电子特种稀有气体的“中国造”。

南大光电：公司氢类电子特气主要包括磷烷、砷烷等，是集成电路和LED制备中的主要支撑材料。磷烷和砷烷为高纯特气家族中技术门槛和开发难度最高的两个品种，作为半导体、LED、光伏、航天和国防事业的关键原材料，长期被海外技术封锁。其中磷烷是半导体器件制造中的重要N型掺杂源，其可用于多晶硅化学气相沉淀、外延GaP材料、离子注入工艺、MOCVD工艺、磷硅玻璃钝化膜制备等工艺中。砷烷主要用于外延硅的N型掺杂、硅中的N型扩散、离子注入、生长砷化镓和磷砷化镓。公司2013年承担国家02专项“高纯特种电子气体研发与产业化项目”，经过3年高强度的技术开发，成功实现了高纯砷烷、磷烷等特种电子气体的产业化，打破了国外技术封锁和垄断，为我国极大规模集成电路制造、民族工业振兴提供了核心电子原材料。

正帆科技：电子特气是泛半导体企业加工制造过程中的关键材料，其质量直接影响下游客户的良率和性能，正帆科技已具备合成、提纯、混配、充装、分析与检测等核心能力。电子特气产品中的砷烷、磷烷属于公司自研自产产品，已成功实现了国产替代，是国内为数不多能稳定量产电子级砷烷、磷烷的企业之一。

雅克科技：公司的电子特气业务主要通过全资子公司科美特进行，主要包括含氟类特种气体的研发、生产、提纯与销售，主要产品为六氟化硫和四氟化碳。2023年上半年，公司下属子公司科美特继续为台积电、三星电子、Intel、中芯国际、海力士、京东方等业内头部企业稳定批量供应产品。随着国内一系列超大型特高压输变电项目的推进，科美特工业用六氟化硫产品销量得到进一步提升。2023年上半年内，公司电子特气业务经营情况顺利，业绩稳中有升。

中巨芯：公司生产的高纯氯气、高纯氯化氢、高纯氟化氢、高纯六氟化钨、高纯氟碳类气体等是集成电路、显示面板、光纤等领域清洗、刻蚀、成膜、光纤脱水等工艺环节的关键材料。公司承担了多项国家科技部重点研发项目，目前已实现6N纯度高纯氯气、6N纯度高纯氯化氢、4N5纯度六氟丁二烯、5N纯度三氟甲烷、5N纯度八氟环丁烷、4N纯度八氟环戊烯和5N5纯度高纯六氟化钨量产，产品技术处于国内同类产品的领先水平，产品已在中芯国际、华润微电子、士兰微、厦门联芯、沪硅产业、河北普兴等多家主流客户通过认证并批量供货。公司高纯氯气、高纯氯化氢被浙江省经济和信息化厅认定达到“技术水平国内领先，打破国际垄断，实现重点领域降准替代且在知名用户应用”。

水发燃气：公司全资子公司鄂尔多斯水发在2021年底通过技改技术上马提氦项目，采用了目前国内先进技术手段，对LNG生产过程中产生的BOG中的排空的废气进行回收，产出纯度大于99.999%的高纯氦气，增加工厂经济效益。2022年产氦气16万方。

侨源股份：随着下游新能源、半导体、电子信息、生物医药、新材料等新兴产业发展迅速，下游客户用气需求尤其是特种气体的需求不断增长，高纯空分气体及其他特气市场迎来广阔的市场发展空间。基于此，公司未来将不断丰富产品品类，逐步着手布局新材料产业、半导体产业等所需特种气体，如高纯液氧、高纯液氨、烷类气体、氟碳类气体、其他浓度为ppm（10-6）甚至ppb（10-9）级的电子混合气等。此外，在现有医用氧、食品氮以及军工所需高纯氩、高纯氮基础上，拓展生产经营医疗、食品、军工及航空航天领域的其他特种气体，不断挖掘新的利润增长点，提升公司的综合实力。同时，公司将适时投入氢气清洁能源的生产与服务，通过煤制氢，LNG制氢，化工尾气提氢，电解水制氢等方式生产高品质氢气产品，以满足国内氢气市场的需求。

昊华科技：公司目前电子化学品业务主要集中在昊华气体，昊华气体具有较高的行业地位，是国内主要的电子特气研究生产基地之一。公司拥有自主知识产权的电子特气制备和纯化全套技术，开发了一系列国产替代急需的电子特气产品，形成了国内领先的产业规模。昊华气体业务类型主要有电子特气（蚀刻清洗气、离子注入/掺杂气、化学气相沉积/原子层沉积气、高纯混配气等）、电子大宗气体（超纯氮/氧/氢/氩/氦等）、电子产业含氟精细化学品、工业气体及标准气、工程服务及供气技术、分析检验服务等。核心产品有三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨、磷烷、砷烷、三氟化硼、绿色四氧化二氮、高纯硒化氢、高纯硫化氢、高纯氦气、VOCs标气、标准混合气体等，广泛应用于集成电路、显示面板、太阳能电池、光纤、电力设备制造、医疗健康、环保监测等领域。持续稳定供应国内外电子信息行业知名客户。目前，公司含氟电子气体现有产能位列国内前三，新建4600吨/年电子气体项目全部建成投产。

陕鼓动力：在运营管理方面，深挖用户需求，不断加强“减碳降碳”相关技术、系统技术、关键技术研发能力构建，保持气体运营技术领先，在运营项目不断实行技术改进、能效优化和安全管控等多方面的提升；探索进入稀有气体和特种气体领域，形成多元气体经营结构；公司不断加强运营项目管理，完善项目管控体系，提高运营管理能力，实现对不同阶段项目全覆盖和差异化精准管控。2022年6月10日公司在互动平台披露：公司的工业气体是使用空分装置对空气进行深冷分离后生产氧气、氮气及氩、氪、氙等稀有气体，公司的部分空分配套有氪、氙的粗提装置，已有项目开始生产销售氪氙原液。

金宏气体：电子特种气体作为半导体制造的关键材料，公司致力于电子半导体领域的特种气体国产化，已逐步实现了超纯氨、高纯氧化亚氮、电子级正硅酸乙酯、高纯二氧化碳等一系列产品的进口替代。报告期内，公司自主研发的超纯氨、高纯氧化亚氮等产品已正式供应了中芯国际、海力士、镁光、联芯集成、积塔等一批知名半导体客户。

杭氧股份：公司主要业务由设备制造、工程业务及气体业务组成。公司产品主要包括成套空气分离设备及部机、石化设备和各类气体产品。截至目前，公司生产的气体产品主要有：氧、氮、氩、氖、氦、氪、氙、高纯氧、高纯氮、医用氧、二氧化碳、能源气、电子气等。空气分离设备及其生产的气体产品广泛应用于能源、冶金、电子、化工、环保、航天航空、科学研究、保健、食品等领域。公司在氢气提纯、加氢以及新能源、节能储能、绿色低碳相关领域的拓展也取得重大进展。

广钢气体：未来，公司凭借客户资源优势，以及现场制气模式下与客户长达15年的深度绑定关系，可围绕客户需求精准开发包括电子特种气体在内的新产品，为客户提供一揽子气体产品解决方案。

联泓新科：公司是一家新材料产品和解决方案供应商，专注于新材料产品的研发、生产与销售，为国家级高新技术企业、国家级“绿色工厂”。公司持续聚焦新材料方向，坚持创新驱动发展战略和绿色、低碳、共享、高质量的发展理念，关注国家需要和市场紧缺的高端新材料领域，重点在新能源材料（如光伏材料、新能源电池材料等）、生物材料（如生物可降解材料、生物质材料等）和细分品类的特种材料（如特种精细材料、特种工程塑料等）等领域，进行高端化、差异化、精细化布局，旨在建设优秀的新材料平台型企业，打造在新材料若干细分领域领先的产业集群。经过十余年的砥砺前行，公司从一片绿地成长为一家现代化高端新材料企业，EVA光伏胶膜料、EVA电线电缆料、EVA高端鞋材料、PP薄壁注塑专用料、EOD特种表面活性剂、聚醚大单体及高性能减水剂等主营产品在细分市场领域均处于行业领先地位。公司正在建设的项目包括20万吨/年EVA、2万吨/年UHMWPE、9万吨/年VA、13万吨/年PLA、30万吨/年PO、5万吨/年PPC、1万吨/年高纯电子特气和3000吨/年锂电添加剂等。

九丰能源：2023年上半年内，公司通过整合和自主建设方式并行并进，加速推进氦气、氢气产业链及业务区域布局，并积极考虑向其他气体业务领域拓展的相关筹划工作。氦气业务方面，公司持续布局高纯度氦气业务直接终端客户，构建良性业务发展生态，2023年上半年内，实现高纯度氦气产销量约13万方，较上年同期增长51%。自建项目方面，公司以现有36万方/年BOG提氦项目为切入点，进一步提升BOG提氦的产能规模；另一方面，公司正在推进新提氦工厂的建设以提升产能，并积极布局液氦槽罐等资产以建立液氦进口业务全产业链，实现“国产气氦+进口液氦”的双资源保障，同时大力拓展直接终端应用市场。氢气业务方面，2023年上半年内，公司通过整合方式，完成对正拓气体重组并取得其70%股权，有效提升公司多种制氢技术实力和氢气运营管理能力，加速推进公司服务于工业、化工客户的现场制氢业务（并辐射周边加氢站用氢）落地。