光刻机概念股票|光刻机板块龙头股资金流向(实时)

芯碁微装：公司半导体功率器件设备MLF系列直写光刻机采用先进数字光刻技术，无需掩模版即可将版图信息直接转移至涂覆感光材料的衬底，可广泛应用于第三代半导体碳化硅、功率半导体（IGBT）、陶瓷基板等领域。MLF系列聚焦高精度、高效率的泛半导体封装场景，尤其适配绝缘栅双极型晶体管（IGBT）等功率器件的封装工艺。设备搭载高端EFEM设备前端模块，支持12英寸晶圆全自动化作业，有效提升生产效率与工艺一致性。

新莱应材：2021年6月22日公司在互动平台披露：光刻机的相关工艺需要在超高真空以及特殊气体的条件下完成，公司真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中，公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商。

容大感光：2023年4月11日公司在互动易平台披露：目前公司已经购买i线投影步进式曝光机（i-linestepper），用于i线光刻胶的研发与生产检测。容大感光经过持续的投入，已经建立了完备的光刻胶研发与应用测试平台，其中主要测试设备包括：光刻机、涂胶显影一体机、扫描电子显微镜、膜厚仪、台阶仪、液体颗粒仪、痕量金属杂质测试仪器、色谱仪、紫外-可见分光仪、水分仪、粘度计、固含测试仪器等。

长光华芯：2025年9月15日，公司在互动平台表示，公司的产品可应用于激光直写光刻。

炬光科技：公司在激光光学元器件领域技术优势明显。为世界顶级企业提供光刻机用光场匀化器，公司的光场匀化器基于光场匀化核心技术，能够实现对激光光束的高度匀化，以满足光刻机等高端应用需求，产品应用于国内主要光刻机研发项目和样机中，并供应给世界顶级光学公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。此外，公司为相干公司、创鑫激光等行业知名企业提供单（非）球面柱面透镜（快轴准直镜）等光束准直转换系列产品。另，公司是荷兰ASML光学设备核心供应商A公司的重要供应商。

旭光电子：公司电子管产品体系丰富，涵盖大功率广播发射管、充气放电管、米波及分米波电视发射管、微波通讯三/四极管、激光激励振荡用发射管、射频烘干振荡用发射管、高能加速器用大功率管、工业加热管等多个品类，主要应用于激光加工设备、广播电视、医疗、可控核聚变、光刻机等半导体加工设备领域。同时，依托数十年电真空器件领域的技术积淀，公司系统参与可控核聚变科技工程，加速布局直线型场反位形装置及Z箍缩装置电源系统开关产品线，定向开发真空触发管、伪火花放电管等脉冲功率开关器件及失超保护开关，全力推动相关关键技术的自主化突破。

同飞股份：主要应用于晶体生长、滚圆、切片、清洗、研磨、抛光、退火、涂胶、光刻、显影、刻蚀、物理气相沉积（PVD）/化学气相沉积（CVD）、离子注入、划片、键合、分选、封装等芯片制作环节的温度控制。公司产品种类覆盖半导体制造工艺流程中严苛的温控需求，包含氟化液为介质的制冷机组、控温±0.02℃的高精度制冷机组和耐温800℃高效换热器等先进的半导体行业用温控设备，助力国内半导体产业发展。公司历年来已逐步拓展了北方华创、芯碁微装、上海微电子、晶盛机电、华海清科、中国电子科技集团公司第四十八研究所、北京中电科电子装备有限公司、北京特思迪等。

茂莱光学：公司已完成光刻机照明系统高精度光学器件加工与检测工艺设计以及部分资源和能力建设，正在进行工艺可行性验证。

大族激光：2023年9月21日公司在互动平台披露，目前，公司光刻机项目主要应用在分立器件领域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻机已投入市场，步进式光刻机已启动用户优化，公司将根据市场需求及业务发展情况持续制定研发计划，并加大研发核心部件国产化。

晶方科技：公司子公司苏州光电、荷兰Anteryon公司具备全球领先的微型光学设计、研发与制造等核心能力，其混合光学镜头、微型光学器件等产品可实现自由光学曲面、提高光效效能、微型化与高集成度等核心特点，相关产品广泛应用在半导体设备、汽车智能投射、工业自动化等市场领域。

中润光学：2026年1月29日公司在互动平台披露，公司控股子公司戴斯光电研发生产的高端滤光片主要应用于光刻机、生物滤光片等高端场景，主要客户为NEWPORT、THROLABS、KLA、COHERENT、创鑫激光等。

洪田股份：2025年7月18日公司在互动平台披露：公司子公司深圳洪瑞微电子科技有限公司致力于半导体、光学、新能源等领域的智能视觉检测设备与工艺设备的研发应用，目前在研新产品进展及接单均呈现良好势头，已取得液晶行业头部客户、信利光电、南钢集团等优质客户批量订单。近日，其子公司洪镭光学赢得半导体掩模版资深制造厂商青睐，获得高解析直写光刻机采购订单。

波长光电：半导体及泛半导体领域作为公司核心战略赛道，2025年公司增购了离子束抛光机等高精度光学加工与检测设备，持续加大资源投入与市场布局，业务规模、产品覆盖范围与客户合作深度逐步提升。产品端，公司用于PCB精密微加工、高端显示面板的各类远心场镜、接近式掩膜光刻平行光源系统、半导体检测用微分干涉（DIC）显微镜、半导体芯片制造/封装/量检测设备相关高精度光学元器件等核心产品持续放量。

锐科激光：2026年1月15日公司在互动平台披露，锐科激光“全波段系列产品”围绕激光领域“全波长、全功率、全脉宽、全应用”目标，实现各层级基础技术、材料、器件、光源自主创新。其中，波长仅为213nm的深紫外纳秒光纤激光器最大平均功率达到150mW，单脉冲能量超过0.6μJ，在DUV激光检测、半导体光刻、FBG刻写、光谱分析等先进应用领域有着重要作用。公司高度重视光刻机光源国产化需求，积极布局光刻配套光源相关技术储备。

朗迪集团：公司还持有宁波燕创宸翊创业投资基金合伙企业（有限合伙）份额比例为28.44%；持有宁波燕创德鑫创业投资合伙企业（有限合伙）份额比例为5.95%。2025年8月25日，公司在互动平台表示，公司通过认购宁波燕创德鑫创业投资合伙企业(有限合伙)的8,000万元份额，间接获得了长鑫科技集团股份有限公司的股权，但持股比例极低。2025年7月11日公司在互动平台披露：公司通过宁波燕创宸翊创业投资基金合伙企业（有限合伙）间接持有上海微电子装备（集团）股份有限公司的股份，但持股比例极低。

安泰科技：2025年11月28日公司在互动平台披露，公司目前开发的光刻机用钨合金材料，但目前尚处于国内市场开发阶段。

晶瑞电材：公司光刻胶在国内具有悠久声誉，稳定生产超三十年，是国内最具研发潜力和量产能力的光刻胶供应商。公司子公司瑞红苏州1993年开始光刻胶生产，承担并完成了国家02专项“i线光刻胶产品开发及产业化”项目。公司拥有紫外宽谱、g线、i线、KrF、ArF全系列光刻机以及配套测试实验设备，研发团队经验丰富且人员充足；紫外宽谱系列光刻胶多年来稳居国内市占率第一；i线光刻胶系列产品在完成国家重大科技项目02专项项目后规模化向中芯国际、长鑫存储、华虹集团、晶合集成等国内知名半导体企业供货；在DUV光刻胶方面和中国石化集团全面合作，多款KrF光刻胶已量产出货；ArF光刻胶斩获多家客户订单，多款产品已向客户送样并开展验证。

赛微电子：2025年12月，公司全资子公司北京微芯科技合计以5,282.40万元购买芯东来10.20%股权。本次交易完成后，微芯科技持有芯东来10.20%股权，芯东来成为公司参股子公司。芯东来成立于2023年，是一家具有成熟工艺制程光刻机自研和量产能力的企业，专注于光刻机整机领域，业务分为光刻机再造业务和自研光刻机业务。芯东来能够提供整套成熟工艺制程光刻机再造、新光刻机安装调试和优质零配件供应业务。

英唐智控：2023年9月14日公司互动易披露：公司全资子公司日本英唐微拥有5台光刻机，主要用于其光电转换和图像处理的模拟IC和数字IC产品的研发生产。

鸿利智汇：2025年9月22日公司在互动平台披露：对于光刻机领域，公司参股公司广州市鸿利秉一光电科技有限公司生产的UV LED部分产品有应用于光刻机领域，产品占该公司营业收入比例较小。