光刻机概念股票|光刻机板块龙头股资金流向(实时)

东方嘉盛：2023年公司成功申请到深圳关区首家具有海关分送集报功能的寄售维修资质仓库，将打造半导体设备厂商保税寄售维修供应链行业标准，积极推进新型开放式的产业生态，为深圳打造半导体设备厂商良性的售后服务生态圈。半导体及集成电路方面，公司积极把握战略产业发展机遇，深化重点龙头客户服务合作，为华南片区集成电路制造企业提供全天候快速响应的半导体保税寄售维修供应链服务。公司持续扩大客户基础，加大供应链管理深度，基于客户和市场需要开发更加多元化精细化的供应链管理产品，打造半导体设备厂商保税寄售维修供应链行业标准，为深圳打造半导体设备厂商良性的售后服务生态圈。同时公司也凭借领先的供应链资源统筹配置与战略投资孵化能力，积极探索半导体产业链上下游业务延伸机会，发掘产业链中服务与贸易等环节的增量潜能。2023年10月16日公司在互动易平台披露：公司为光刻机龙头客户提供寄售维修保税仓库服务业务。

锐科激光：2026年1月15日公司在互动平台披露，锐科激光“全波段系列产品”围绕激光领域“全波长、全功率、全脉宽、全应用”目标，实现各层级基础技术、材料、器件、光源自主创新。其中，波长仅为213nm的深紫外纳秒光纤激光器最大平均功率达到150mW，单脉冲能量超过0.6μJ，在DUV激光检测、半导体光刻、FBG刻写、光谱分析等先进应用领域有着重要作用。公司高度重视光刻机光源国产化需求，积极布局光刻配套光源相关技术储备。

上海新阳：2025年5月9日公司在互动平台披露，EUV光刻胶是公司光刻胶布局的重要研发方向之一，现在还在研发的初期阶段，材料的研发周期比较长，同时产业需要时间成熟。研究EUV光刻胶不是一定需要光刻机，但是进入量产需要有光刻机的支持才能够比较稳定的供货。2023年5月9日公司在互动平台披露，公司买了四台光刻机，其中阿斯麦尔两台，型号为：1900型和1400型；尼康两台，型号为：205C型和i14。

智光电气：2025年12月24日公司在互动平台披露：公司目前间接持有粤芯约5.46%的权益。2019年5月公司在互动平台上表示，粤芯半导体采购的是荷兰ASML的光刻机，已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房，目前在做量产前的最后调试准备。光刻机等主设备的顺利进驻，为粤芯半导体量产计划提供了有力保障。2019年9月10日公司在互动平台披露：经了解，粤芯半导体联合中标工信部半导体、芯片、关键零部件等领域的产业技术基础公告服务平台建设项目，情况属实。此建设项目面向第三代半导体碳化硅芯片制造技术，开展“卡脖子”核心装备研制，重点解决高硬度材料的高平整度、低粗糙度高效加工技术等难题。粤芯半导体项目是国内第一座以虚拟IDM (irtuallDM)为营运策略的12英寸芯片厂，是广州第一条12英寸芯片生产线，已列为广东省、广州市重点建设项目。产品包括模拟芯片、图像传感器、电源管理芯片、功率分立器件等，满足物联网、汽车电子、工业控制、5G等应用的模拟芯片需求。

海立股份：2025年12月31日公司在互动平台披露，公司的控股子公司上海海立特种制冷设备有限公司为一家致力于工业设备冷却系统的研发及生产企业，其收入主要来源于冶金行业高温空调等领域。海立特冷有销售光刻机用冷却系统，该业务规模较小，近三年年销售额占海立股份年营业收入的比例均低于0.003%。

锐新科技：2023年10月12日公司在互动平台披露，公司光刻机相关产品为间接供货，占比较低。2023年9月20日公司在互动平台披露，公司的电子散热系统可用于光刻机，占比较低。

晶瑞电材：公司光刻胶在国内具有悠久声誉，稳定生产超三十年，是国内最具研发潜力和量产能力的光刻胶供应商。公司子公司瑞红苏州1993年开始光刻胶生产，承担并完成了国家02专项“i线光刻胶产品开发及产业化”项目。公司拥有紫外宽谱、g线、i线、KrF、ArF全系列光刻机以及配套测试实验设备，研发团队经验丰富且人员充足；紫外宽谱系列光刻胶多年来稳居国内市占率第一；i线光刻胶系列产品在完成国家重大科技项目02专项项目后规模化向中芯国际、长鑫存储、华虹集团、晶合集成等国内知名半导体企业供货；在DUV光刻胶方面和中国石化集团全面合作，多款KrF光刻胶已量产出货；ArF光刻胶斩获多家客户订单，多款产品已向客户送样并开展验证。

蓝英装备：公司旗下的精密清洗业务主要为医疗设备和高精密光学设备提供精密清洗系统。对于精密光学、医疗技术、精密机械、科学仪器以及机械电子等典型的清洁度要求最高的应用领域，公司在精密清洗业务板块的精密清洗系统可提供全套个性化的设备及解决方案，内容包括实验室测试、洗涤剂的选择、清洗/漂洗的阶段配置、以及超声波频率及功率的选择等，精密清洗技术全球领先，在欧洲占据该细分行业市场的主导地位。2021年9月3日公司在互动平台披露，公司的精密清洗设备面向的在芯片行业企业客户包括光刻机制造企业的合资（参股）公司，该等客户负责制造光刻机的核心光学系统。

鸿利智汇：2025年9月22日公司在互动平台披露：对于光刻机领域，公司参股公司广州市鸿利秉一光电科技有限公司生产的UV LED部分产品有应用于光刻机领域，产品占该公司营业收入比例较小。

电科数字：2023年12月1日公司在互动平台披露,公司为光刻机等半导体装备生产商提供国产化计算、控制模块和产品。

张江高科：据爱企查披露，公司全资子公司张江浩成持有上海芯上微装科技股份有限公司14.19679%股权。芯上微装官网披露，其成立于2025年2月，是一家专注于高端半导体装备研发、生产和服务的创新型科技企业。公司致力于为“超越摩尔”赛道的芯片制造、芯片先进封装、三代半导体和新型显示等核心领域提供高精度、高性能、高可靠性的设备解决方案。2025年8月8日，芯上微装举办了第500台步进光刻机交付仪式。

朗迪集团：公司还持有宁波燕创宸翊创业投资基金合伙企业（有限合伙）份额比例为28.44%；持有宁波燕创德鑫创业投资合伙企业（有限合伙）份额比例为5.95%。2025年8月25日，公司在互动平台表示，公司通过认购宁波燕创德鑫创业投资合伙企业(有限合伙)的8,000万元份额，间接获得了长鑫科技集团股份有限公司的股权，但持股比例极低。2025年7月11日公司在互动平台披露：公司通过宁波燕创宸翊创业投资基金合伙企业（有限合伙）间接持有上海微电子装备（集团）股份有限公司的股份，但持股比例极低。

安泰科技：2025年11月28日公司在互动平台披露，公司目前开发的光刻机用钨合金材料，但目前尚处于国内市场开发阶段。

赛微电子：2025年12月，公司全资子公司北京微芯科技合计以5,282.40万元购买芯东来10.20%股权。本次交易完成后，微芯科技持有芯东来10.20%股权，芯东来成为公司参股子公司。芯东来成立于2023年，是一家具有成熟工艺制程光刻机自研和量产能力的企业，专注于光刻机整机领域，业务分为光刻机再造业务和自研光刻机业务。芯东来能够提供整套成熟工艺制程光刻机再造、新光刻机安装调试和优质零配件供应业务。

新莱应材：2021年6月22日公司在互动平台披露：光刻机的相关工艺需要在超高真空以及特殊气体的条件下完成，公司真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中，公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商。

容大感光：2023年4月11日公司在互动易平台披露：目前公司已经购买i线投影步进式曝光机（i-linestepper），用于i线光刻胶的研发与生产检测。容大感光经过持续的投入，已经建立了完备的光刻胶研发与应用测试平台，其中主要测试设备包括：光刻机、涂胶显影一体机、扫描电子显微镜、膜厚仪、台阶仪、液体颗粒仪、痕量金属杂质测试仪器、色谱仪、紫外-可见分光仪、水分仪、粘度计、固含测试仪器等。

京华激光：光刻机是激光全息防伪技术落地应用的核心设备，其性能直接决定防伪产品的精度等级与光学效果。公司通过控股美国菲涅尔，整合其技术资源，不仅实现了光刻机（光学制版）的自主可控供应，还可根据客户需求开展定制化开发，快速响应市场对不同精度等级防伪产品的需求。此外，美国菲涅尔的光刻机（光学制版）在全球范围内仅独家供应本公司使用。目前，公司在微结构领域已构建起从技术研发、设备供应到产品生产的完整产业链，处于行业领先地位。

英唐智控：2025年8月15日公司在互动平台披露，公司全资子公司日本英唐微技术有限公司拥有5台光刻机作为其生产线设备，主要用于光电转换和图像处理的模拟IC和数字IC产品的研发生产，最小可支持0.35μm工艺。

华亚智能：2023年9月11日公司在互动平台披露：我公司是ASML的间接供应商，向直接客户少量供应应用于光刻机设备的精密金属结构件产品。

晶方科技：公司子公司苏州光电、荷兰Anteryon公司具备全球领先的微型光学设计、研发与制造等核心能力，其混合光学镜头、微型光学器件等产品可实现自由光学曲面、提高光效效能、微型化与高集成度等核心特点，相关产品广泛应用在半导体设备、汽车智能投射、工业自动化等市场领域。