光刻机概念股龙头股 光刻机概念解析 光刻机概念股有哪些?

张江高科：公司通过旗下全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司间接参股上海微电子装备(集团)股份有限公司（持股比例10.78%）。上海微电子装备(集团)股份有限公司(SMEE)主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务，设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。上海微电子旗下600系列光刻机可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求，该设备可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产。

新莱应材：公司2021年6月22日在互动平台表示，公司的半导体真空系统和气体系统可以服务于所有的半导体设备供应商和终端制造商。光刻机的相关工艺需要在超高真空以及特殊气体的条件下完成，公司真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中，公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商。

炬光科技：公司主要从事激光行业上游的高功率半导体激光元器件、激光光学元器件的研发、生产和销售。公司为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件光场匀化器，是荷兰ASML光学设备核心供应商A公司的重要供应商，同时也为多家行业知名半导体集成电路设备科研和生产机构提供相关产品。

蓝英装备：公司控股子公司UCM AG为荷兰光刻机制造商ASML公司提供精密清洗解决方案。

*ST金泰：公司与杜尔考特、自然人罗甸共同合作投资设立上海金杜新材料科技有限公司，公司持有上海金杜51%的股权。上海金杜的纳米陶瓷化表面处理技术可应用于光刻机零部件所需的铝合金黑色光学工艺表面处理。杜尔考特用于对合资公司进行出资的9台超微弧氧化电源设备为杜尔考特标准电源设备，超微弧氧化电源是超微弧氧化技术的核心设备，该技术所有工艺均依靠此设备实现稳定、批量生产。杜尔考特是上海微电子装备（集团）股份有限公司的合格供应商，超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理与其他半导体芯片集成电路的表面处理上。

晶方科技：公司2020年6月11日在互动平台回复称，荷兰光刻机制造商ASML为公司参与并购的荷兰Anteryon公司的最主要客户之一。Anteryon为全球同时拥有混合镜头、晶圆级微型光学器件工艺技术设计、特性材料及量产能力的技术创新公司，其产品可广泛应用于半导体精密设备、工业自动化、汽车、安防、3D传感器为代表的消费类电子等应用领域。

智光电气：公司通过广州誉芯众诚股权投资合伙企业（有限合伙）（持股比例30%）间接参股广州粤芯半导体技术有限公司80%股权，是粤芯的控股股东，粤芯项目是誉芯众诚的主要投资项目。粤芯半导体一期以90nm-180nm技术产品为主，二期以65nm-90nm技术产品为主。公司于2019年5月在互动平台透露，粤芯半导体采购的是荷兰ASML的光刻机，光刻机等主要设备已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房。

安泰科技：公司2021年6月18日在互动平台表示，公司一种钨合金产品用于国外某型号光刻机设备中，目前已形成了小批量订单。

苏大维格：公司光刻设备主要为紫外光刻直写设备，公司光刻机从设计、组装以及所用软件的开发，均由本公司自主完成，主要用于柔性电子、MEMS以及半导体上游器件等产品的研发与制造。其在满足自身需求的基础上，同时也已逐步面向国内外高校和研究所销售；2018年，公司精密光刻设备分别交付安徽大学、湖南大学、中科院病毒所等知名高校与研究所，进一步加大了公司在激光微纳加工领域的影响力。

东方中科：公司2020年5月28日在互动平台称，北京科益虹源光电技术有限公司确为公司客户。科益虹源是国家02重大专项“准分子激光技术”成果的产业化载体,开展浸没光刻光源的关键技术攻关以及产品开发。根据公司2019年报，北京科益虹源占公司2019年度销售额比例为1.42%。

胜利精密：公司旗下苏州胜利高捷智能科技有限公司光刻机产业化项目总投资85905.58万元，项目建设期2年。项目完成后，公司将形成年产光刻机成套装备10台（套）生产能力；全部达产后，预计可实现年销售收入15亿元，净利润40,841.35万元，税后投资回收期（含建设期）为6.16年。目前项目正在实施过程中。

福晶科技：公司2020年4月24日在业绩说明会上表示，公司有通过欧洲代理和ASML签署保密协议，公司已提供部分产品。

奥普光电：公司2020年5月25日在互动平台回复，90纳米光刻机曝光系统是长春光机所联合其他单位在国家专项资金的支持下开展的研发项目，2017年10月曝光光学系统在整机环境下通过验收测试。长春光机所是公司的实控人，公司是中国科学院长春光学精密机械与物理研究所控股下的唯一上市公司平台。

上海新阳：公司于2019年12月2日，上海新阳在互动平台表示，光刻胶技术的突破是公司的核心战略，公司已确定在未来5-10年，将集中各种资源，对国内尚属空白的各类高端半导体光刻胶和光刻胶配套材料进行研发，逐步形成公司第三大核心技术-电子光刻技术。目前，新引进的技术专家团队已到位，各品类研发在正常进行，各项关键技术均有突破。其中，KRF光刻胶配套的光刻机已完成厂内安装开始调试，预计明年上半年开始中试。另外，公司自身的存量业务也在稳步增长，特别是用于半导体晶圆制造的超纯化学品大幅放量，公司已开始了新一轮的产能布局和产品规划。

英唐智控：公司2020年3月3日公告，公司控股重孙公司科富香港控股拟以现金支付方式收购日本先锋微技术100%股权，预估价30亿日元，先锋微主要从事光电集成电路（OEIC）、LCD驱动电路、车载DTV(ISDB-T)解调电路的研发、制造及销售。公司2020年5月12日在互动平台称，对先锋微技术收购，包括其拥有的所有研发制造设备，包括5台光刻机。

晶瑞电材：公司2021年1月19日公告，公司顺利购得ASML XT 1900Gi型光刻机一台。该设备于2021年1月19日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室。下一步，公司将积极组织相关资源，尽快完成设备的安装调试工作。

芯碁微装：公司主要从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务，主要产品包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统等，功能涵盖微米到纳米的多领域光刻环节。在泛半导体领域，公司提供最小线宽在500nm-10μm的直写光刻设备，主要应用于下游IC掩膜版制版以及IC制造、OLED显示面板制造过程中的直写光刻工艺环节。公司服务客户包括深南电路、健鼎科技、胜宏科技、景旺电子、罗奇泰克、宏华胜（鸿海精密之合（联）营公司）、富仕电子、博敏电子、红板公司、相互股份、柏承科技、台湾软电、迅嘉电子、珠海元盛（中京电子下属公司）、普诺威及大连崇达（崇达技术下属公司）、矽迈微、国显光电（维信诺下属公司）、中国科学院半导体研究所、中国工程物理研究院激光聚变研究中心、中国电子科技集团公司第十一研究所、中国科学技术大学、华中科技大学等。